Травильный раствор
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 51 С 03 ГОСУДАРСТВЕННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР ИТЕТ РИТИ ИЗОБРЕТЕНИЯ 3-33 ь 84,хник спольа на зобрет и э убл авна 3,8 мкм/мин ть поверхности в О, 15 мкм,е р 2, В травил травления шероховато ниях равна р авленияовано пртеклянныогр афин ах методом Фотолином о Примворе состаН,80,П Р сео е ие ка- ичения чет ув равном честна глубин ННО,НОост сти риаз ЬФ ор ь5 мкм/ьаевышает ках из нно плазку тантаФотоличерез ко и е честве м слаивать унок,течени масная иск ин бе Прие, соджН 8 Сныо,12,0 235 таве,13,24,11,52,(21) 4284200/2(57) Изобретение относится к ттравления стекла и может бытьзовгнс при вытравливании рисун ние относится к техникетекла и может быть испольвытравливании рисунка на Цель изобретения - повыштравления за сй и снижения некрая рисунка,Пример 1, Наподлнатрий-кальциевого стекламенным методом нгпыляют плла толщиной 0,5 мкм, МетодтограФии Формируют ристорый стекло травят вв растворе, содержащемНЯО (987-ныйраствор)1 Н,РИ 10 (657-ныйраствор) 1Н ОГлубина .всоставила 11 53,5ытравленной структур,4 мкм, т,е, скорост ЯО 151122 2стеклянных подложках методом Фотолитографии С целью повышения качества травления за счет увеличения глубины и снижения неравномерности края рисунка травильный раствор включает, мас;Е: Н 80,1 12-13; НАВОЗ 0-11; БНР 23,5-24; Н 0 - остальное. Применение раствора обеспечивает максимапьную глубину рисунка беэ искажений при использовании в качестве маски тантала или титана 8, мкм; неравн.ерность края рисунка 1-1,3 мкм и величину шероховатости 0,1) О, 5 мкм,12,03 аа23.5С10,054,.5травления стекла с:ставляетн, шероховатость края не1 мкм, используемый в ка-,ски Фоторезист начинает от- Фся через 140 с, т,е, максилубина вытравленного рисункаений составляет 8,1 мкм,м е .р 3, В травичьном раст",ержащем в своем сос скорость травления, стекла составляе1511229 в целом, соотношения компонентов подобраны таким образом, что поверхность стекла в, вытравленных углубленияхимеет вышеуказанную шероховатость,Формула изобретения Составитель О,Самохина Редактор Т,Лазоренко Техред И.Дидык КоРРектоР ОКравцоваЗаказ 5858/26 Тираж 418 Подписное БНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Иосква, Ж, Рауйская наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 4,0 мкм/мин, шероховатость равна0,15 мкм, неравномерность краев рисунка не превышает 1,3 мкм,Используемый в качестве маски фоторезист начинает отслаиваться через90 с, т,е максимапьная глубина выть .равленного рисунка составляет 6.мкм,Применение в качестве маски пленоктантала или титана способствует улучшению качества формируемого рисунказа счет уменьшения величины подтраваи количества дефектов типа "прокол",что обусловпено значительно болеевысокими адгезией металлических пленок к стеклу и устойчивостью этих пленок к используемому травильному раствору,Введение в состав травильного растовора азотной кислоты предотвращает об-.разование плохорастворимых сульфатов Травипьный раствор включающий НЯО, НЮз НО, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения качества травления за счет увеличения глубины и снижения неравномерности края рисунка, он дополнительно содержит ИН Р при следующем соотношении компонентов, мас,3:НБО, 12-13НЮэ 10-11ИН Р 23,5-24,0 Н О Остальное
СмотретьЗаявка
4284200, 13.07.1987
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8071
ЗОЛОТУХИН КОНСТАНТИН СЕМЕНОВИЧ, ПАВЛОВ СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C03C 15/00
Метки: раствор, травильный
Опубликовано: 30.09.1989
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1511229-travilnyjj-rastvor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травильный раствор</a>
Олигодезоксирибонуклеотид в качестве универсального праймера для определения первичной структуры днк по методу сенгера
Номер патента: 1700004
Опубликовано: 23.12.1991
Авторы: Ажикина, Бородин, Данилкович, Ростапшов, Чернов
МПК: C07H 21/04, C12Q 1/68
Метки: днк, качестве, методу, олигодезоксирибонуклеотид, первичной, праймера, сенгера, структуры, универсального
...ч/ч, 0,5 мл, 0,5 мин); окисление - 1 о -ный раствор йода в смеси уксусной кислоты с пиридином (1/9, ч/ч, 0,7 мл, 0,5 мин). После окончания синтеза проводят удаление защитных групп. Сначала удаляется диметокситритильная группа обработкой 0,2 М раствором трифтороуксусной кислоты в дихлорэтане непосредственно в реакционной колонке. Затем полимер обрабатывают смесью тиофе 5 -б(6 Т А А А А С 0 А С 0 О С С А 6 Т)-3 (2) 40проводят в растворе общим объемом 5 мкл, содзержащем 2 - 3 пМ праймера, 3 пМ(а- Р-АТР (уд, активность 3000Ки/мМ), 50 мМ трис-НС (рН 8,3), 35 мМ МдС 2 и 0,1 - 1 ед, активности полинуклеотидкиназы (37 С, 30 ми н.), После добавления 7 мкл (2 мкг) фага М 13 гпр 10 с клонированным фрагментом - интерферона быка и 1 мкл...
Способ получения матированных рисунков на поверхности стекла
Номер патента: 1827367
Опубликовано: 15.07.1993
Авторы: Веретельник, Дубровская, Канашевич
МПК: C03C 15/00
Метки: матированных, поверхности, рисунков, стекла
...согласно ГОСТ блюдением в косоотраже поверхности стекла на черно микроскопом МБС. После эт хность стекла накладывают съ левую маску с рисунком помещаю 4 Т в вакууме, с остаточ ем Р = 10 мм рт.ст., нагреваю1827367 15 Формула изобретения Марка стекла Температура предварительного на. грева, ССкорость перемещения луча по поверхности,см/с Удельнаямощностьэлектронно.го луча,Вт/см Время травлений, слаге пп Полученный результат Стекло фото- пластин 1,0 1,0 0,1 0,5 2.0 1.5 5.0 2,0 1,5 1,0 1,0 0,05 2,0390 СОО 450 450 490 510 520 520 510 530 520 520 500 5,0 5,0 5,0 5,0 5,0 1,5 4,0 10,0 15,0 О.о о 20,0 Рисунок не контрастный Контрастный рисунок5 6 у 9 9 1 О Залипание маски на поверхности после ЭЛО л 11 12 13 Залипание маски на поверхности после...
Клещи для обжатия краев втулок, армированных стеклом
Номер патента: 1662825
Опубликовано: 15.07.1991
Автор: Степанов
МПК: B25B 7/00
Метки: армированных, втулок, клещи, краев, обжатия, стеклом
...7 выполненырезьбовые отверстия 9.При этом в прикиме 7 до места разрезавыполнена заточка 10 для установки поскользящей посадке пуансона 11 со сквозным продольным пазом 12,Пуансон 11 выполнен в виде трубы,один торец которой имеет внутренюю фаску13, другой торец 14 предназначен для последовательно выполняемого двойного обжатия кромки 15 в обжимаемой втулке 16,Пуансон 11 имеет фланец 17 в среднейчасти с двумя продольными отверстиями 18,выполненными соосно с резьбовыми отверстиями 9 прижима 7.В отверстия 9 и 18 установлены винты19 с увеличенным диаметром накатаннойголовки 20 для создания наибольшего крутящего момента при ввертывании от руки.В прижиме 7 на свободном торце имеется профилированное отверстие 21. При завальцовке охватывают...
Способ закалки стекла и устройство для его осуществления
Номер патента: 906952
Опубликовано: 23.02.1982
Авторы: Бутаев, Горбань, Келина, Ковалева, Коваленко, Липовцев, Попов, Трошин
МПК: C03B 27/02
...на режим закалочной печи 13 и фиксируется фиксатором 1 б. Далее стекло выдерживается из расчеъа 40-60,с на 1 мм толщины и печь 13 посредством своего привода 12 поворачивается на 180 со скоростью свободного поворота. В конце поворота фиксатор 16 отключается и стекло падает в ванну 6 50 охлаждения, в которой верхние слои жидкости нагреты на 100-200 С выше нижних. Затем печи 1 и 13 возвращаются в исходное положение, и в печь 13 поступает новое стеклоизделие. 35После выдержки 30-60 мин стекла в ванне 6 включается привод перемещения тележки 5 и ванна 6 перемещается на позицию разгрузки,. где стекло вынимается из ванны автоматическим 40 захватом 18. Далее ванна 6 возвращается в исходное положение, а захват 18, закрепленный на...
Способ изготовления двухуровневых тонкопленочных коммутационных плат
Номер патента: 1358777
Опубликовано: 20.06.1996
Авторы: Гусев, Киселев, Пересветов, Плеханов, Прокофьев, Рябинкина
МПК: H05K 3/46
Метки: двухуровневых, коммутационных, плат, тонкопленочных
Способ изготовления двухуровневых тонкопленочных коммутационных плат, включающий нанесение на диэлектрическую подложку проводящей пленки первого уровня, формирование рисунка проводников первого уровня, нанесение диэлектрической пленки, нанесение проводников второго уровня, формирование защитной маски, выполнение переходных окон к проводящей пленке первого уровня травлением нижележащих слоев, обслуживание и формирование рисунка проводников второго уровня, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных, защитную маску формируют после формирования рисунка проводников первого уровня, после формирования переходных окон к проводящей пленке первого уровня проводят предварительное обслуживание, а обслуживание проводят после нанесения...
Предыдущий патент: Травильный раствор
Следующий патент: Способ получения гипсового вяжущего
Случайный патент: Ходоуменьшитель для самоходной машины