Способ получения матированных рисунков на поверхности стекла

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 27 5 С 03 С 15/00 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) НТНОЕ АФХц,/1 )ДфЕ ИЗС)БРЕТЕНИЗОБРЕТЕНИЮ ОПИС ВТОРСКОЧ поверхности и адгезионцессом элекотопластины, ном, смоченритом "КРО- я, Высохший ым тампоном олярита с пола после очи 11141-90 нанных лучах м фоне под ого на поверемную никеОбразец ным давленит до темперамаски выобеспечи(71) Черкасский филиал Киевского политехнического института им. 50 -летия ВеликойОктябрьской социалистической революции(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МАТИРОВАННЫХРИСУНКОВ НА ПОВЕРХНОСТИ СТЕКЛА(57) Изобретение относится к способам обработки изделий из неорганических стекол Изобретение относится к способам обработки изделий из неорганических стекол и может быть использовано в стекольной, оптической промышленностях, приборостроении, микроэлектронике,Целью изобретения является снижение трудоемкости процесса.Поставленная цель достигается тем, что поверхность стекла маскируют любым, применяемым в вакуумной технологии температуростойким и электропроводным материалом, например, Я, Мо. Поверхность нагревают в вакууме 10 -10 мм рт,ст. до температуры-4 -5400 - 520 С, обрабатывают электронным лучом с Руд = 0,5 10 - 10 Вт/см травят в рас 2 3 2творе, содержащем плавиковую кислоту; в течение 1,5-15 мин, Скорость обработки электронным лучом составляет 0,1 - 5 см/сек,Материал бирается таким образом, чтобы ть дополнительный и может быть использовано в стекольной. оптической промышленностях, приборостроении, микроэлектронике. Сущность изобретения состоит в том, что поверхность стекла маскируют любым, применяемым в вакуумной технологии температуростойким и электропроводным материалом, например, В, Мо, После этого поверхность стекла нагревают в вакууме до температуры 400- 520 С, обрабатывают электронным лучом с Руд, = 5 ф 10 - 10 Вт/см и скоростью 0,1-5 см/с, травят в растворе, содержащем плавиковую кислоту, в течение 1,5-15 мин.1 табл. отбор отрицательного заряда с стекла при допустимой степе ной загрязненности стекла про тронно-лучевой обработки (ЭЛП р и м е р. Берут стекло ф протирают его ватным тампо ным в этиловом спирте с поля КУС" и оставляют до высыхани образец вытирают сухим ватн до полного удаления частиц и верхности стекла.Качество поверхности стек стки проверяют согласно ГОСТ блюдением в косоотраже поверхности стекла на черно микроскопом МБС. После эт хность стекла накладывают съ левую маску с рисунком помещаю 4 Т в вакууме, с остаточ ем Р = 10 мм рт.ст., нагреваю1827367 15 Формула изобретения Марка стекла Температура предварительного на. грева, ССкорость перемещения луча по поверхности,см/с Удельнаямощностьэлектронно.го луча,Вт/см Время травлений, слаге пп Полученный результат Стекло фото- пластин 1,0 1,0 0,1 0,5 2.0 1.5 5.0 2,0 1,5 1,0 1,0 0,05 2,0390 СОО 450 450 490 510 520 520 510 530 520 520 500 5,0 5,0 5,0 5,0 5,0 1,5 4,0 10,0 15,0 О.о о 20,0 Рисунок не контрастный Контрастный рисунок5 6 у 9 9 1 О Залипание маски на поверхности после ЭЛО л 11 12 13 Залипание маски на поверхности после ЭЛО Растравливание необработанной лучом поверхности с со хранением контрастности рисунка Рисунок не контрастный5 102 0,5 1 О 14 15 450 510 1,0 В,О 1.0 4.0 Составитель Г, ДубровскаяТехред М,Моргентал Корректор Н, Король Редактор Заказ 2344 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 туры Т = 520"С и обрабатывают электронным лучом ленточной формы с Руд = 104 Вт/см и скоростью = т см/с.Получают следующей результат, Обработанная 3 ЛС яогверхность (незащищенная маской) оплавляется с проявлением прозрачного рисунка, ограниченного краям маски. После этого образец опускают в РаствоР, содеРжащий 407 о НР,400 Ой глицерина, остальное вода, Выдерживают в течение 5 мин, Образец вынимают, промывают в проточной воде с содой.В результате на поверхности стекла наблюдают матированный рисунок, края которого повторяют рисунок маски. Матированной является поверхность, обработанная электронным лучом. Наблюдением поверхности под микроскопами МБС.9 и МИИустановлено, что матированный рисунок имеет мелкозернистую поверхность, границы рисунка повторяют границы маски. Области поверхности стекла, обработанные электронным лучом подвергаются более интенсивному растворению.Другие примеры конкретного выполне 44 ия сведены в таблицу. Аналогичные результаты получаем приобработке других марок стекол, например К, К, К, Травят их после ЭЛО в растворах, содержащих плавиковую кисло ту и глицерин.Из сопоставительного анализа технических показателей предлагаемого решения и прототипа следует, что при этом уменьшаются трудозатраты как минимум в два раза, 10 т.е. имеет место достижение цели изобретения. Следовательно, предлагаемое техническое решение при использовании обеспечит получение положительного эффекта. Способ получения матированных рисунков на поверхности стекла путем маскирования и травления плавиковой кислотой, 20 о т л и ч а ю щ и й с я тем, что. с цельюснижения трудоемкости процесса, после маскирования стекло нагревают в вакууме до температуры 400 - 520 С, обрабатывают электронным лучом с удельной мощностью 25 5 102 - 10 з Вт/см 2 и скоростью 0,1 - 5 см/с итравят в течение 1,5 - 15 мин.