Номер патента: 1511228

Авторы: Золотухин, Павлов

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСоааЛИСТИЧЕСНИХ С 03 С 15/О г, Л 1",1-11 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ ЬСТ 1 3-33ин СР1984,ехнике исполь вильном раст ер 2,Втржащем в сво Изобретентравления ст тносится к технике и может быть испольвлении рисунка на составе,оре, соас,%:Н 1 зовано при ИНд1 П 10коро с увеличение глуние неравномервля кла со травления дложках иза ионно-плаза рисунуемыйчинаететом пленку тан одом фотол ок, через ко чение 3 минмас,%: глу иска 0,5 8,0 ор чьном раоставе,10,518,014,057,5кла составляет ИН РН 110 3Н,Оорость тра ния сте ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ С(57) Изобретение относится ктравления стекла и может быт подложках из стеклаЦель изобретениябины травления и снижености края рисунка,Пр имер 1, Напонатрий-кальциевого стек.менным методом напыляютла толщиной 0,5 мкм, Метографии формируют рисунторый стекло травят в тв растворе, содержащем,НР (45%-ный Д 1 РН 110 (65%-ньраствор)Глубина вставила 12ния равна 40,5 мкме 61,0ытравленной структуры сомкм, т,е, скорость травлемкм/мин, Неровность края зовано при вытравливании рисунка наподложках из стекла, С целью увеличения глубины травления и снижения не"равномерности края рисунка травильный раствор включает, мас,%: НР 1010,5; НЮз 10 14; 11 НдР 17 фб 181 НгОостальное, После формирования покрытия из тантала или титана стекло тра"вят в растворе, Глубина вытравленногорисунка составляет 7 мкм; неравномерность края 1-1,6 мкм; шероховатостьО, 1-0,3 мкм,3,5 мкм/мин, шероховатость рав0,3 ьпм, неравномерность краяка не превышает 1 мкм, использв качестве маски фоторезист наотслаиваться через 120 с, С учприведенных даннь 1 х максимальнабина вытравленного рисунка безжений составляет 7 мкмП р и м е р 3, В травиворе, содержащем в своем смас,%:1511228 лено значительно более высокими адгезией металлических пленок к стеклу и устойчивостью пленок тантала и титана к используемому травильному раствору,Формула изобретения Составитель О,СамохинаТехред М.Дидык Корректор В,Кабаций Редактор Т,Лазоренко Заказ 5858/26 Тираж 418 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 4 мкм/мнн, шероховатость равна 0,1 мкм,неравномерность края рисунка не превышает 1,6 мкм, Используемый в качестве маски фоторезист начинает отсла 5иваться через 80 "с, т,е, максимальнаяглубина вытравленного рисунка составляет 5 мкм,Таким образом, введение в составтравильного раствора азотной кислоты 10способствует увеличению скороститравления до 3,5-4,0 мкм/мин, в первую очередь вследствие улучшениярастворимости фторидов кальция и магния, Использование в качестве маски 15пленок тантала или титана позволяетулучшить качество формируемого рисунка за счет уменьшения подтрава покраю рисунка и уменьшения количествадефектов типа "прокол", что обусловТравипьный раствор, включающий НР, НИОз, НО, о т л и ч а ю щ и й - с я тем, что,. с, целью увеличения глубины травления и снижения неравномерности края рисунка, он дополнительно содержит МН Р при следующем соотношении компонентов, мас,Е:НГ 10-10,5НЧО 10-1417 ь 6 18 ф 0 Остальное

Смотреть

Заявка

4284199, 13.07.1987

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8071

ПАВЛОВ СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ, ЗОЛОТУХИН КОНСТАНТИН СЕМЕНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C03C 15/00

Метки: раствор, травильный

Опубликовано: 30.09.1989

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1511228-travilnyjj-rastvor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травильный раствор</a>

Похожие патенты