Патенты с меткой «двухуровневых»

Номер патента: 1358777

Опубликовано: 20.06.1996

Авторы: Гусев, Киселев, Пересветов, Плеханов, Прокофьев, Рябинкина

МПК: H05K 3/46

Метки: двухуровневых, коммутационных, плат, тонкопленочных

Способ изготовления двухуровневых тонкопленочных коммутационных плат, включающий нанесение на диэлектрическую подложку проводящей пленки первого уровня, формирование рисунка проводников первого уровня, нанесение диэлектрической пленки, нанесение проводников второго уровня, формирование защитной маски, выполнение переходных окон к проводящей пленке первого уровня травлением нижележащих слоев, обслуживание и формирование рисунка проводников второго уровня, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных, защитную маску формируют после формирования рисунка проводников первого уровня, после формирования переходных окон к проводящей пленке первого уровня проводят предварительное обслуживание, а обслуживание проводят после нанесения...