Способ изготовления диодов шоттки
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 818372
Авторы: Данилов, Игнатенко, Радионов, Снитовский
Описание
Способ изготовления диодов Шоттки, включающий выращивание высокоомной монокристаллической эпитаксиальной пленки n-типа проводимости на низкоомной кремниевой подложке n+-типа проводимости, создание на поверхности эпитаксиальной пленки р-слоя и формирование в нем охранного кольца, вытравление канавок на глубину большую, чем глубина р-слоя, термическое окисление пластины, вскрытие в окисле контактного окна, формирование металлического электрода, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности металлизации путем улучшения планарности поверхности и снижения величины времени восстановления обратного сопротивления диода Шоттки путем уменьшения площади р-n перехода, на поверхности эпитаксиальной пленки предварительно выращивают слой термического окисла, фотолитографией вскрывают кольцеобразные области, окружающие будущие контактные области, во вскрытых областях создают р-слой, вытравливают канавки в этих областях плазмохимическим травлением или методом распыления и заполняют канавки изолирующим материалом.
Заявка
2839378/25, 13.11.1979
Снитовский Ю. П, Данилов В. Ф, Радионов Ю. А, Игнатенко А. С
МПК / Метки
МПК: H01L 21/18
Опубликовано: 20.03.2012
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-818372-sposob-izgotovleniya-diodov-shottki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления диодов шоттки</a>
Предыдущий патент: Способ создания диэлектрической изоляции элементов полупроводниковых приборов
Следующий патент: Способ изготовления транзисторов
Случайный патент: Синхронный двоичный счетчик