Способ изготовления диодов шоттки

Номер патента: 818372

Авторы: Данилов, Игнатенко, Радионов, Снитовский

ZIP архив

Описание

Способ изготовления диодов Шоттки, включающий выращивание высокоомной монокристаллической эпитаксиальной пленки n-типа проводимости на низкоомной кремниевой подложке n+-типа проводимости, создание на поверхности эпитаксиальной пленки р-слоя и формирование в нем охранного кольца, вытравление канавок на глубину большую, чем глубина р-слоя, термическое окисление пластины, вскрытие в окисле контактного окна, формирование металлического электрода, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности металлизации путем улучшения планарности поверхности и снижения величины времени восстановления обратного сопротивления диода Шоттки путем уменьшения площади р-n перехода, на поверхности эпитаксиальной пленки предварительно выращивают слой термического окисла, фотолитографией вскрывают кольцеобразные области, окружающие будущие контактные области, во вскрытых областях создают р-слой, вытравливают канавки в этих областях плазмохимическим травлением или методом распыления и заполняют канавки изолирующим материалом.

Заявка

2839378/25, 13.11.1979

Снитовский Ю. П, Данилов В. Ф, Радионов Ю. А, Игнатенко А. С

МПК / Метки

МПК: H01L 21/18

Метки: диодов, шоттки

Опубликовано: 20.03.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-818372-sposob-izgotovleniya-diodov-shottki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления диодов шоттки</a>

Похожие патенты