Раствор для травления алюминия

Номер патента: 511386

Опубликовано: 25.04.1976

Авторы: Ганина, Густарева, Дьякова, Жукова, Смирнова

МПК: C23F 1/00

Метки: алюминия, раствор, сплавов, травления, химического

...качество получаемой поверхности и скорости травления. Роданистый калий О, 01- 0,5Алюминий 1;. 120Указанное отличие обеспечит повышение :корости травления до О, 05-0, 0; мм,чвс, равномерность травления (величина микр: - неровностей снижается с 8-9 мкм до 5 мкм ) и чистоту обрво атанио. д лвархности на 2 класса. Раствор стабилен в работе длительное время без снижения трввяшей способности и качества получаемой поверхн ости.Для приготовления растюрв химически чистые или технические реактивы смешива ют в любой последовательности. Процесс травления осушествляют при 70-90 оС.Раствор может быть использован в машиностроении для травления, например, сплавов алюминия В 95, Д 16, Д 19, АМг 6, 1201, 1201 пч, 01420 на глубину да 6 мм и выше с...

Номер патента: 270629

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Джон, Иностранна, Иностранцы

МПК: C08G 73/10

Метки: водных, иамидокислот, пол, растворов

...добавляют диангидрид пиромеллитовой кислоты дотех пор, пока вязкость раствора не достигнетмаксимальной величины (бЗОО спз), после чего вносят еще 19,2 г (0,088 моль) пиромеллитового диангидрида. Этот раствор разбавляют350 г безводного тетрагидрофурана и разбавленный раствор делят на пять приблизительноравных частей. Каждую из этих частей вливают в 450 лл безводного диэтилового эфирав быстроходной мешалке для осаждения по 65 лимера. Осажденный полимер промывают вэтой же мешалке эфиром, затем сушат при 30 С под вакуумом. Выделенный полимер, получающийся с количественным выходом, имеет характеристическую вязкость 2,27.Часть полиамидокислоты (4,18 г) растворяют, перемешивая, в разбавленном водном триэтцламцне (83,6,11 л 0,26 н,...

Номер патента: 348645

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Белевич, Колмакова, Раснецова, Сорокина

МПК: C23F 1/02, C23F 1/20

Метки: алюминия, избирательного, раствор, травления

...вещество) 0,1 - 5 Соль кадмия 20 - 40 Вода Остальное Раствор приготавливают путем растворения хромового ангидрида, фторида и соли кадмия в воде и введения в приготовленный раствор коллоида, После приготовления раствор необходимо выдержать в течение суток в закрытом фторопластовом сосуде прц комнатной температуре, после чего раствор готов к работе.В качестве фторида могут применять фторнды натрия, калия и аммония. В качестве кол лоида используют раствор жидкого стекла(ТУ- 62), декстрин или крахмал, Соль кадмия добавляют в раствор для повышения стойкости используемых фоторезистов в травителе, Для этой же цели можцо использовать 10 соли кобальта. В качестве солей кадмия плцкобальта могут быть применены ацетаты илц бромнды. прн комнатной...

Номер патента: 566866

Опубликовано: 30.07.1977

Авторы: Жора, Камбурьян, Кидалюк, Масенко

МПК: C09K 13/00

Метки: алюминия, раствор, травления

...Тирак 850 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 ется стойкость маскирующих покрытий при селективном травлении. Кроме того, в результате введения указанных добавок значительно снижается вязкость травящего раствора, вследствие чего улучшаются условия для эвакуации пузырьков водорода из дорожек травления, облегчается доступ травителя к металлу, что в конечном итоге приводит к улучшению равномерности травления, уменьшению неровностей края и количества непротравленных участков, Присутствие ортофосфорной кислоты в растворе улучшает смачиваемость поверхности алюминия, но увеличивает вязкость травителя, чем затрудняется...

Номер патента: 968098

Опубликовано: 23.10.1982

Авторы: Казанцев, Калинина

МПК: C23F 1/00

Метки: алюминий, раствор, структуры, титан, тонкопленочной, травления

...травления по примеру 2 для граничных и средних значений концентраций компонентов, входящих в раствор, сведены в таблицу (изменение скорости и состояние качества травления структуры титан- алюминий от содержания компонентов в растворе). 35 Скорость травления, НАВОЗ (МН) 5 Ге мкм/мин Содержание компонентов Рас тПримечание вор 0,22 50 300 3,0 0,36 4,0 0,4 80 400 5,0 0,41 405 0,41 410 90 5,5 0,41 415 95 0,41 420 100 6,0 0,38 ч 80 120 7,0 0,38 140 8,0 500 0,36 160600 10,0 10 алюминий на топологическом рисунке микросхем наблюдаются перетравы, неровности края элементов составляют более 5 мкм,Вследствие большого содержания хромового ангидрида раствор имеет интенсивную окраску, что значительно затрудняет визуальный контроль за процессом...