Способ полировки и травления монокристаллов вольфрама

Номер патента: 473513

Авторы: Макарова, Рагозин

ZIP архив

Текст

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯН АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сооз Советских Соци(алистических Республикс ири(оед С 3. сударственный комитеавета Министров СССРпо делам изоЬретенийИ От(РЫТ) 1 р ООГ". Е. :крова и Ю. И. Рзгози Пермский политехнический ииститу 71) За Витсль 54) СПОСОБ ПОЛИР )10 НОКР ИСТЛЛЛ 1 И ТРЛВЛЕНИОЛЬфРЛМЛ ск, ьк.; (ск кй рти)рй аСр М С .(3ом. Вэг:1 лскс Г 53.(, и;)ГсС К РИЧССКОО ИОГЯ 3 Ролировки 1. 27 А/сБ, тсскиды дляОГ 10 КОВ и субгрзииц, (.ооткой в Н 0, 1, 0 к)0,5- 2 миц МИО,Р. Р)СТ 1 О,О, С ЦСЛИО 1) ИР 01 к с) бгрйиц 3 С ДР 1 1 Р(К 1 М.; и 20 - травлеиия редвар) 1 Л/см зоб(зстс 133 с ОтиосцГС 5 к Обгаси Воливки И ТРЗВЛЕИИ 51 МОИОКРИСТЗ;1;1013 ВОЛЬфРЗМ 1 И МО)КСТ ИРИМСИ 51 ЬС 51 В МЕТЛЛОВСДЕИ 311Извсстшя сиосоо электролитисскго трйВ- лсиия крисгалль вольфрама и растворе фс фОРИОЕЦСЛ 010 ИЗТРИЯ Ц СЦОС(И) 13 Ы 5 В(1 СИИ 51 ДИСЛ О К а Ц 13 й В К 13 М И СС 3(О М 1 Р 3 Г И тел (, СД( Р )К йщем К 01-1, КГе(СХ) 61 и воду.11 сдостаткймц известны.; сиосоооВ 3,3 рВ.ки и 1 РВВлсци 5 МОиОк 1 ист 11;101) ВО 1 ь(1)Р 3 0 ЯВ:51 ОТСЯ ЗЦЗИС;1 ЬИЬС ЗЗТРЗ) Ы ВРЕ.(СИИ Ий ВолиОВку 1 восле;УОПсе рй 351 сиис, исОб.(О;имост 1 иримсцсии 5 рази 11 х )й(.3 ВО)ОВ и рсжмо 3. Крмс того, травлсиис дислокаций ГДСТ ИС И ВСС . ИГОСОСТ 51 Х, 3 ТЗК)1(С Зй ГР 310. 1;Э ИО ВЛИ 51 ИИС ГРЗЦИЦ 0(1 КОВ И РЗЦИЦ СМОЗСРСИ.Цс;ь изобрстс 31351 - мскореицс и ир 013 сис ИРОЦССС(:13 :ОГ)ИРС)ВК 1 МОИОКРИСТЗЛЛО 3 И Р(илси 51 д 1 с 10 кац 11 й, рации ОЛОК 01 и )ии субзсрсц цй раз;Цчи 1.; 1 лОскосГ 53:) ;1 си О гастся тем, что процесс Ведут ри шЛО)кении ЭЛСКТРИЧССКОГО ИОЛ 51 ИРИ РС)КИ.х ДЛ 51 ЭГСК- троиолировкц 1 2,0 - 70 А/см-, 1 2025 С, Г 5 - 7 В, т - секуцды, для травления дислокаций, блоков 1 с бграииц, с ирсдвари Голии)й -) обработкой в Н 0)ь 1 0.5 - 1 А/см, 1 20 -Сиособ прост В 1 римсисииц, удобси и рйоотс, так как созволяет одиоврсмециг) Оиогиро 3 т иоверхиостч образца и быст)и) (От исид д 2 и.) иол) чиь иг)киО

Смотреть

Заявка

1903637, 02.04.1973

ПЕРМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

МАКАРОВА ЛУИЗА ЕВГЕНЬЕВНА, РАГОЗИН ЮРИЙ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B01J 17/00

Метки: вольфрама, монокристаллов, полировки, травления

Опубликовано: 15.06.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-473513-sposob-polirovki-i-travleniya-monokristallov-volframa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ полировки и травления монокристаллов вольфрама</a>

Похожие патенты