ZIP архив

Текст

(51) М. Кл. С 231 1/О Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийи открытий(54) Т Травильный 0,5 - 1 мин сни из германия и м поверхности под 5 участков с испо зиста, при этом верхность стекл ницы заданного ного покрытия,10в течение покрытия ак со всей отдельных з фоторееская поеткие гра- тонкослойпозволяет кослойные кремнияак и с ее см маски ются опп дложек ирисунка раствормать тононоокисиложки, ттьзованисохраняянных поконтура и, в частослойных кремния, товлении а такжс в вой техствор, содерястоводородную спокрытв этом ественно дляния и моноцентрировантрированнуюводу, отл ио повышенияельно содередчощем со овышен соде м со жит но 20- 20- 1,2- 49,5.ществляютледующейстиллиро 5 10 - 20 0,5 - 1,218,8 - 49,5 Изобретение относится к технологи ности к составам для травления тонк покрытий из германия и моноокиси и может быть использовано при изго оптических тонкослойных покрытий, радиоэлектронике и полупроводнико нике.Известен травильный ра концентрированную фтори лоту, азотную кислоту и воду.Однако скорость травления германия и моноокиси кремния воре недостаточная.Целью изобретения является п скорости травления.Для этого раствор дополнительно азотнокислое серебро при следующе шении компонентов, вес. %:азотная кислота (концентрированная) 40фтористоводородная кислота (концентрированная) 10азотнокислое серебро 0,5вода 18,8Травление в данном растворе осу при комнатной температуре с пос промывкой обработанных деталей ди ванной водой. Дедюхин, М, А. Гисин, Ои Н. С. Санчугова П р едм е т изобретен и Травильный раствор, преимущ тонкослойных покрытий из герма окиси кремния, вклочающий кон ную азотную кислоту, кон цен фтористоводородную кислоту и чающийся тем, что, с целы скорости травления, он дополнит жит азотнокислое серебро при сл отношении компонентов, вес. ,о:азотная кислота (концентрированная) 40фтористоводородная кислота (концентрированная)азотнокислое серебровода

Смотреть

Заявка

1887879, 02.03.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4671

АХМАДЕЕВ МАРСЕЛЬ ХАРИСОВИЧ, ДЕДЮХИН ЕВГЕНИЙ ФЕДОРОВИЧ, ГИСИН МИХАИЛ АБРАМОВИЧ, КАРАУЛОВА ОЛЬГА ДМИТРИЕВНА, САНЧУГОВА НАТАЛЬЯ СЕРГЕЕВНА

МПК / Метки

МПК: C23F 1/00

Метки: раствор, травильный

Опубликовано: 25.05.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-471402-travilnyjj-rastvor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травильный раствор</a>

Похожие патенты