ZIP архив

Текст

Согоз Советских Социалистических Республик.ЧПК С 03 сУДК 666.112.7666,117,3 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытиЯ при Совете Министров СССР1А, А, Сироткин, В. И, Гаман и В. А, Пре нов С": .з 1 АМ Авторыизобретения Сибирский физико-технический научно-исслеаоеателай й институт при Томском государственном университете им. В уЯЯНИ 6 ва .ЛН Заявитель%ВИВАТС Э СТЕКЛО Предмет изобретения 10 Изобретение относится к стеклам, которые могут быть применены для защиты поверхности планарных и других полупроводниковых кремниевых структур.Известны стекла, содержащие ЫОз, В. Оз, ХазО и АзОзОписываемое стекло отличается от известных тем, что его коэффициент термического расширения близок к коэффициенту термиче ского расширения кремния.Достигается это введением в стекло следующих компонентов (вес. %): йу 1 Озз 34,65 - 49,35; ВзОз 42,18 - 46,66; ХаО 5,8 - 6,4; А 1 зОз 2,38 - 2,63.Коэффициент термического расширения стекла в диапазоне температур от - 60 до +200 С лежит в пределах от 46 10 1/град до 49 10 1/град.Защитную пленку любой толщины цз стекла получают осаждением ца поверхности кремниевых структур тоцко измельченного порошка из взвеси его в спирте цлц ацетоне с последующим отжцгом прц 850 С в течение 10 лшн. Пленка выдерживает мгновенный перепад температур от +850 С до комнатной ц от - 160 до +300"С,Стекло, содержащее ЯО., ВзОз ХаззО,АОс, от,гисгагоагееся тем, что, с целью обеспечения получения стекла с коэффициентомтермического расширения, близким коэффц 15 циенту термического расширения кречмггия,указанные компоненты входят в следующих количествах (в вес. %): 810 з 34,65 - 49,35;В.Оз 42,18 - 46,66; МаззО 5,8 - 6,4; А 1 Оз 2,38 -2,63,

Смотреть

Заявка

844829

Сибирский физико технический научно исследовательйЛй инстй тут при Томском государственном университете В. уйаьниёва

А. А. Сироткин, В. И. Гаман, В. А. ПреЛнов ВСЕС

МПК / Метки

МПК: C03C 3/064, C03C 3/091

Метки: 180770

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-180770-180770.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">180770</a>

Похожие патенты