Патенты с меткой «180770»

Номер патента: 180770

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Гаман, Прелнов, Сироткин

МПК: C03C 3/064, C03C 3/091

Метки: 180770

...для защиты поверхности планарных и других полупроводниковых кремниевых структур.Известны стекла, содержащие ЫОз, В. Оз, ХазО и АзОзОписываемое стекло отличается от известных тем, что его коэффициент термического расширения близок к коэффициенту термиче ского расширения кремния.Достигается это введением в стекло следующих компонентов (вес. %): йу 1 Озз 34,65 - 49,35; ВзОз 42,18 - 46,66; ХаО 5,8 - 6,4; А 1 зОз 2,38 - 2,63.Коэффициент термического расширения стекла в диапазоне температур от - 60 до +200 С лежит в пределах от 46 10 1/град до 49 10 1/град.Защитную пленку любой толщины цз стекла получают осаждением ца поверхности кремниевых структур тоцко измельченного порошка из взвеси его в спирте цлц ацетоне с последующим отжцгом прц 850...