Способ изготовления межсоединений интегральных микросхем

Номер патента: 866451

Опубликовано: 23.09.1981

Авторы: Макарова, Рагозин

МПК: G01N 1/32

Метки: алюминия, реактив, сплавов, травления

...чно активен прн комнатной температуре1 н при травлении в нем на поверхности образца образуется трудно устраняемая пленка, затрудняющая контрольмакроструктуры.Цель изобретения " повЫшение качества выявления макроструктуры алюминия и его сплавов при увеличении .скорости травления. 2Поставленная цель достигается тем,что в реактив дпя травления впавтиияи его сплавов, сддержащий соляную иплавиковую кйслоты, дополнительновведетвк серная кислота и этиловцйспирт при следующем соотновтении компонентов, об,йт Для опробования предлагаемого реактива были приготовленыследующие составы, Травление в опробованных составах предлагаемого реактива щлнфов сплава Д 16 происходит с больщой скоростью не приводя при этом к существенному разогреву алифа,...

Номер патента: 905328

Опубликовано: 15.02.1982

Авторы: Алексеева, Богданов, Борисова, Гербер, Проценко

МПК: C23F 1/00

Метки: металлов, раствор, сплавов, травления, химического

...как железо, никель,кобальт, хром и их сплавов.Наиболее близким к предлагаемому по отехнической сущности и достигаемому результату является раствор оля травления,содержащий хлорное же лезо и органический растворитель (спирт), например, этиоловый, бутиловый. Данный раствор пригоден оля травления меди и железа 2 .Однако скорость травления этих ьеталлов очень мала (0,4 и 0,2 кг/м соответственно для меди и железа). Такие же металлы, как кобальт, никель, хром и коррозионная сталь травятся с пренебрежительно малой скоростью.Цель изобретения - повышение универсальности раствора и скорости травления.Указанная цель достигается тем, что раствор для химического травления металлов и сплавов, содержащий хлористое же. лезо и бутиловый спирт,...

Номер патента: 1071666

Опубликовано: 07.02.1984

Авторы: Варепо, Дриц, Мастрюкова, Наумов, Рохлин, Семина, Сороколетова

МПК: C23F 1/00

Метки: высокой, магниевых, печати, раствор, сплавов, травления, форм

...натрий 70Нитрат аммония 40Процесс ведут при 22 С и скоростивращения роторов 7,6 с . Скоростьтравления составляет ,1 мкм/с. Угол 60наклона грани печатающего элементалежит в пределах 20-25 П р и м е р 2. Состав раствора,г/л: . Азотная кислота 60 Дву замещенный фосФорнокислый калий 40 Нитрат аммония 25 Травление копии осуществляют при 22 фС и скорости вращения роторов 5,83 с" . В этих условиях скорость травления составляет 0,83 мкм/с, а угол наклона грани печатающего элемента 25-35 фП р,и м е р 3. Состав раствора, г/л:Азотная кислота 90 Двузамещенный фосфорнокислый натрий 50 Нитрат аммония, 30 Процесс ведут при 22 С и скорости вращения роторов 7,6 с . При этом скорость травления составляет 1,2 мкм/с при величине профильного угла...

Номер патента: 593110

Опубликовано: 15.02.1978

Авторы: Аваев, Журавлев, Сапожников

МПК: G01N 3/08

Метки: наклепом, поверхностного, слоя, толщины, упрочненного

...осуществлен визуально или с помощью микроскопа.Травление полированной поверхности образцов перед деформированием приводит к стовышенной последующей двформируемости областей с высоким градиентом накопленной в результате пластической деформации внутренней энергией,изо б етения Способ оп го наклепом493696, целью повы ний, полиров ред деформи ределени поверхно отлича шения чув анную п рованием(45) Дата опубликовани Изобретение относится к области испытательной техники, в частности к контролюкачества технологии упрочнения металлических деталей поверхностным наклепом.Из основного авт. св,493696 известен способ определения толщины упрочненного наклепом поверхностного слоя, заключающийсяв том, что из исследуемой детали, вырезаютплоский образец,...

Номер патента: 1422081

Опубликовано: 07.09.1988

Автор: Журавлев

МПК: G01N 3/00

Метки: наклепом, поверхностного, слоя, толщины, упрочненного

...для определения толщины поверхностного упрочненного слоя, полученного по различным технологиям, и является усовершенствованием способа по авт. св.493696.Цель изобретения - повышение точности определения толщины упрочненного слоя.На фиг. 1 изображены два образца, вырезанные из упрочненной детали; на фиг. 2 - то же, в совмещенном состоянии и скрепленные фиксатором.Способ осуществляют следующим образом.Из исследуемой детали, которая подвергалась наклепу для создания упрочненного поверхностного слоя, вырезают два образца 1 и 2, так, чтобы плоскости 3 и 4 реза были перпендикулярны поверхностному слою 5. Образцы 1 и 2 совмещают по поверхностям 6 и 7 упрочненного слоя 5 так, что п,1 оскости 3 и 4 реза лежали в одной плоскости....