Устройство ввода газа в реактор вертикального типа для осаждения слоев
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 592438
Автор: Сигалов
Текст
(45) Дата опубликования описания 25,01.7(51) М.Кл, В 01 осударстевнный комитет овета Министров СССР по делам изобретенийи открытий 3) УДК 621.315.592(54) УСТРОЙСТВО ВВОДА ГАЗА В РЕАКТОРТИКАЛЬНОГО ТИПА ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ С ОЕВ го диска, располосно нижнему флнал в центре длясоплами, наклонесительно вертикаснабженные на кния газовой полуНа чертежеустройство вводаго типа,На нижнем 10 фланце 1 реактора в центральной части выполнена плоская площадка 2, на которой расположен плоский диск 3 с каналом 4 в центре, соединенным с соплами 5. В нижнем фланце 1 имеется центральный:канал 6 и,каналы 7, расположенные по периферии площадки 2. Каждый канал 8 на конце снабжен жиклером 8. Диск 8 с каналом 4 и с соплами 5 образует коллектор, вращаемый на газовой подушке, создаваемой между площадкой 2 и нижним торцом диска 8. Сопла 5 наклонены в одну сторону относительно вертикали.Наряду с устройством ввода газа внутри 5 реактора расположен цилиндрический индукционно нагреваемый держатель 9 подложек 10, установленный на подставке 11. Для защиты от,перегрева диска 3 коллекторы, могут быть снабжены плоскими экранами 12, так как пло щадка 2 и нижний торец диска 8 выполнены 20 Изобретение относится к технике полупроводникового производства, а более конкретно х устройствам, используемым в установках осаждения слоев, например,полупроводниковых материалов, из газовой фазы.Известны устройства ввода газа в реактор для осаждения слоев, включающие подвижные сопла. Сопла совершают эллиптические или эпициклоидальные движения со скоростью полукруга в минуту.Известны также устройства ввода газа, содержащие коллектор с соплами, направленными вверх, установленный на нижнем фланце реактора с возможностью вращения, Устройство содержит трубчатый вал, который введен через нижний фланец и уплотнен в нем, например, резиновыми манжетами. Газ вводят в реактор по вращаемому трубчатому валу. Известное устройство не обеспечивает герметичности ввода таза в реактор из-за истирания резиновых манжет во время вращения вала (использовать смазку нельзя по условиям протекающего в реакторе процесса).Целью изобретения является обеспечение большей герметичности ввода газа в реактор.Согласно изобретению в известном устройстве ввода газа, содержащем коллектор с соплами, направленными вверх, установленный на нижнем фланце реактора с возможностью вращения, коллектор выполнен в виде плоскооженного параллельно и со анцу, в котором имеются ка подачи газа, соединенный с ннымп в одну сторону отно аи, и каналы,по периферии онцах жиклерами для созда шки.изображено предложенное газа в реактор вертикальношлифованными и поводка их от нагрева мо.жет привести к заклиниванию вращения.Устройство работает следующим образом.периферийные каналы 7 подают водород, который, выходя из жиклеров 8 с высокой скоростью, создает в зазоре над площадкой 2 газовую подушку, Реакционный газ подают по каналу 6, далее он попадает в канал 4 коллектора и выходит через сопла 5 в реакционную зону, пде расположены обрабатываемые подложки 10, Реактивные силы струй газа, выходящих из сопел б, приводят коллектор во вращение благодаря наклону сопел относительно вертикали.Поскольку вращение происходит за счет реактивных сил, трение, между вращающимися деталями устройства отсутствует, Таким образом обеспечивается более герметичный ввод газа в реактор.Формула изобретения 5 Устройство ввода газа в реактор верти.а примеркального типа для осаждения слоев на полупроводниковых материалов, содержащее коллектор с соплами, направленными вверх, установленный на нижнем фланце реактора с 10 возможностью вращения, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью обеспечения большей герметичности ввода газа в реактор, коллекто выполнен в виде плоского диска, расположенного параллельно и соосно нижнему фланцуланцу, в 15 котором имеются канал в центре для подачигаза, соединенный с соплами, наклоненными в одну сторону относительно вертикали, и каналы по периферии, снабженные на концах жиклерами для создания газовой подушки.
СмотретьЗаявка
2165116, 01.08.1975
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8495
СИГАЛОВ ЭДУАРД БОРИСОВИЧ
МПК / Метки
МПК: B01J 17/32
Метки: ввода, вертикального, газа, осаждения, реактор, слоев, типа
Опубликовано: 15.02.1978
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-592438-ustrojjstvo-vvoda-gaza-v-reaktor-vertikalnogo-tipa-dlya-osazhdeniya-sloev.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство ввода газа в реактор вертикального типа для осаждения слоев</a>
Способ очистки газов, содержащих конденсируемые компоненты, и циркуляционный реактор для его осуществления
Номер патента: 1639434
Опубликовано: 30.03.1991
Автор: Серпо
МПК: C10K 1/04
Метки: газов, компоненты, конденсируемые, реактор, содержащих, циркуляционный
...соединенийсмОлы кОнденсируется на твердых час 2 Отицах, уже имеющихся в смесительнойкамере 1,Количество твердых частиц, протекающих через псевдоожиженный слойр еактора, р егулируется путем изменения потока твердых частиц, подаваемыхчерез трубу 6 и выпускаемых через трубу 7 посредством вращающихся питателей 1 О и 11. Задвижки или другие блокирующие средства в трубе 5 возвратаоссутствуют, Воздушные сопла могутбъгь установлены в трубе, таким образом, обратный поток может регулироваться. Температура и время пребывания в реакторе выбираются из условияобеспечения максимальной очистки.С помощью добавок, т,е. твердыхчастиц, вводимых через трубу 5, изменения размера зерна и качества добавок (например, плотности частиц) 40можно улучшить...
Реактор
Номер патента: 623572
Опубликовано: 15.09.1978
Авторы: Базакин, Видман, Задорский, Солодовников
МПК: B01J 1/00
Метки: реактор
...трубе 14 укрепленым ассообменные противоточные кольцевые тарелки 16, а между нижней массообменной тарелкой 16 и глухой тарелкой 13 размещен подогреватель 17 и штуцер 18 для отвода реакционной воды. Верхняя часть 5 реактора выполнена в виде трубчатого теплообменника 19 и снабжена штуцерами 20 и 21 для отвода-подвода хладоагента и 22 - для отвода паров диметиламнна.Реактор работает следующим образом. 10 Газообразный диметиламин подается через штуцер 2 в цилиндрическую обечайку 7 (зону синтеза). На первую тарелку 8 через штуцер 3 подается муравьиная кислота. При прямоточном перемещении через та релки 8 диметиламин и муравьиная кислота взаимодействуют с образованием формиатдиметиламина. В связи с тем, что реакция протекает с выделением...
Способ физико-химической очистки внутренних стенок химического реактора
Номер патента: 1048993
Опубликовано: 15.10.1983
Автор: Мишель
МПК: F28G 13/00
Метки: внутренних, реактора, стенок, физико-химической, химического
...или жид.кие вещества.Предлагаемый способ касается очистки реакторов, в которых осуществляются реакции между газами, между газом и жидкостью, меж. ду газом и твердым телом, в случае необходи. мости в присутствии по крайней мере одного стороннего по отношению к реакции газа.П р и м е р 1. В вертикальный охлаждае. мый реактор, образованный трубой из монель 10 металла с диаметром 80 мм и высотой 1000 мм, с помощью подходящего устройства через верхний конец непрерывно вводят реактивы, состо. ящие иэ смеси О 02 и продуктов деления и иэ, причем во время реакции стенки реактора подцерживаются при - 12 С.Под продуктами деления подразумевается смесь имитированных продуктов деления.Твердый наполнитель, состоящий нз смеси О 02 и продуктов деления,...
Способ регенерации дейтерий-тритиевой топливной смеси термоядерного реактора и устройство для его осуществления
Номер патента: 1619492
Опубликовано: 30.05.1994
Авторы: Гордон, Пельменев, Пугачев, Хмеленко
МПК: B01D 59/00, C01B 4/00
Метки: дейтерий-тритиевой, реактора, регенерации, смеси, термоядерного, топливной
1. Способ регенерации дейтерий-тритиевой топливной смеси термоядерного реактора, включающий конденсацию топливной смеси на холодной поверхности и разделение изотопов, отличающийся тем, что, с целью снижения энергозатрат и упрощения технологического процесса отделения протия, предварительно в топливную смесь вводят газообразный йод, сконденсированную смесь выдерживают при 8-9 К для связывания избыточного протия атомами йода, а разделение изотопов проводят в два этапа, на первом этапе конденсат нагревают до 26 - 77 К и отделяют очищенную от избытка протия топливную смесь, на втором этапе смесь нагревают до 240 - 300 К, удаляя соединения йода с протием.2. Устройство для регенерации дейтерий-тритиевой топливной смеси термоядерного...
Реактор с насадкой для высокоскоростного пиролиза углеводородного сырья
Номер патента: 134800
Опубликовано: 01.01.1961
МПК: C10B 55/02
Метки: высокоскоростного, насадкой, пиролиза, реактор, сырья, углеводородного
...блоках и, продолжаясь в расположенцых под нцмц каналах насадки 6, разогревает ее до высокой температуры (температура пламени на подогретом до 150 воздухе состав ляет 1650).Из средней части реактора дымовые газы поступают в сектор 12 нижней крышки реактора, зацимяюцНй по окружностц 180, откуда через канал 13 вьводятся ца обогрев трубчатого подогревателя. Сырьевой газ, поступа:ощцй ца пцролцз, подводится через канал 14 в нижнюю крышку реактора ц далее через распределительную решетку 15 сектора 16, занимяЕОщего ПО Окру 2 кцОстц 174", В кацясы кольцеВОЙ ц(садки б среднеЙ части печи, На выходе из насадки 6 контактный газ попадает в сектор 17 (180) верхней крышки реактора, откуда через канал 18 отводится ца дальнейшую переработку. Для...
Предыдущий патент: Способ управления гидродинамическим режимом в реакторе с кипящем слоем
Следующий патент: Аппарат для глубокой очистки веществ
Случайный патент: Способ контроля герметичности изделий и устройство для его осуществления