ZIP архив

Текст

Подписная группа М 109 В. В. Новиков и В. В. Русаков ЩЕЛОЧНОЙ ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯАцетат калияТрилон Б 1,5 - 2,5 0,2 - 0,7 Предмет изобретения Известны кислые травители для травления кремния - смеси на основе плавиковой и азотной кислот. Известно также травление в кипящем 20 - 30/,-ном растворе едкого калия. Для травления поверхности кремниевых элементов с облуженными контактами или припаянных к кристаллодержателю применение кислых травителей неудобно из-за необходимости защиты всех металлических поверхностей.Предложен щелочной травитель для травления облуженных или припаянных к кристаллодержателю кремниевых рабочих элементов следующего состава (в О/,):Едкий калий, . 20 - 30 Фосфорнокислый калий0,8 - 1,5 Щелочной травитель для химического травления, например, облуженных или припаянных к кристаллизатору кремниевых элементов, отл и ч а ющий ся тем, что, с целью получения равномерного и качественного травления, в состав травителя вводят (в О/,):Едкий калий . . . . . . 20 - 30 Фосфорнокислый калий ., 0,8 - 1,5 Лцетат калия, 1,5 - 2,5 Трилон Б, 0,2 - 0,7

Смотреть

Заявка

779406

МПК / Метки

МПК: C23F 1/40

Метки: 160063

Опубликовано: 01.01.1964

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-160063-160063.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">160063</a>

Похожие патенты