Способ изготовления полупроводниковой структуры

Номер патента: 385536

Авторы: Романов, Серяпин, Серяпина, Смирнов

Описание

Способ изготовления полупроводниковой структуры путем легирования полупроводника примесями с последующим облучением его потоком быстрых электронов, отличающийся тем, что, с целью локального направленного перераспределения примесей, выбранные участки полупроводника облучают потоком электронов, энергия которых по крайней мере в два раза больше пороговой энергии образования радиационных дефектов полупроводниковой структуры.

Заявка

1670563/25, 29.06.1971

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Смирнов Л. С, Серяпин В. Г, Серяпина Н. В, Романов С. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/26

Метки: полупроводниковой, структуры

Опубликовано: 20.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-385536-sposob-izgotovleniya-poluprovodnikovojj-struktury.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления полупроводниковой структуры</a>

Похожие патенты