Способ формирования мезаструктур при изготовлении кремниевых высоковольтных диодов

Номер патента: 1535272

Авторы: Бротиковский, Минков

Описание

Способ формирования мезаструктур при изготовлении кремниевых высоковольтных диодов, включающий изготовление на полупроводниковой пластине диффузионной структуры с р-n переходом контактов, нанесение защитной маски, формирование мезаструктур путем надрезания пластины алмазным диском с последующим химическим травлением по образованным надрезам, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных приборов с повышенными значениями обратных пробивных напряжений, надрезание осуществляется со стороны n-слоя структуры с частотой вращения диска от 20 до 50 тыс.об/мин со скоростью подачи от 1 до 30 мм/с при толщине алмазной режущей кромки от 150 до 400 мкм и величине алмазного зерна от 0,5 до 20 мкм на глубину, которую устанавливают исходя из условия
0,1d < h < d - hp-n - a,
где h - глубина надрезания;
d - толщина структуры;
hp-n - глубина залегания p-n перехода со стороны р-слоя;
а - глубина нарушенного слоя полупроводникового материала, определяемая режимами надрезания.

Заявка

4373915/25, 01.02.1988

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Минков Е. И, Бротиковский О. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/78

Метки: высоковольтных, диодов, изготовлении, кремниевых, мезаструктур, формирования

Опубликовано: 27.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1535272-sposob-formirovaniya-mezastruktur-pri-izgotovlenii-kremnievykh-vysokovoltnykh-diodov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ формирования мезаструктур при изготовлении кремниевых высоковольтных диодов</a>

Похожие патенты