Способ формирования мезаструктур при изготовлении кремниевых высоковольтных диодов
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1535272
Авторы: Бротиковский, Минков
Описание
0,1d < h < d - hp-n - a,
где h - глубина надрезания;
d - толщина структуры;
hp-n - глубина залегания p-n перехода со стороны р-слоя;
а - глубина нарушенного слоя полупроводникового материала, определяемая режимами надрезания.
Заявка
4373915/25, 01.02.1988
Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина
Минков Е. И, Бротиковский О. И
МПК / Метки
МПК: H01L 21/78
Метки: высоковольтных, диодов, изготовлении, кремниевых, мезаструктур, формирования
Опубликовано: 27.06.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1535272-sposob-formirovaniya-mezastruktur-pri-izgotovlenii-kremnievykh-vysokovoltnykh-diodov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ формирования мезаструктур при изготовлении кремниевых высоковольтных диодов</a>
Предыдущий патент: Параметрический усилитель
Следующий патент: Донорный раствор для диффузионного легирования кремния
Случайный патент: Реверсивный электромагнитный двигатель