Янчур

Номер патента: 817092

Опубликовано: 30.03.1981

Авторы: Гаврилов, Смирнов, Шулов, Янчур

МПК: C23C 11/00

Метки: изниобия, нагретую, нанесения, подложку, покрытий

...способе хлорида вольфрама вместо пентахлорида ниобия в известном способе в качестве транспортирующего реагента позволяет снизить температуру на подложке на 250-450 С и получать покрытие с преимущественной текстурой (110). Присутствие небольших количеств хлорида вольфрама в зоне осаждения оказывает катализицующее действие на процесс термического разложения хлоридов ниобия, так как в известном способе при температурах подложки 1350 - 1550 С наблюдается разъедание осаждаемого слоя ниобия.Выбранный интервал температур подложки (1350 - 1550 С) позволяет также снизить уро вень газовыхпримесей в получаемых материалах, так как понижение температуры приводит к уменьшению растворимости кислорода и азота в ниобии,При дальнейшем снижении...

Номер патента: 590370

Опубликовано: 30.01.1978

Авторы: Кишмахов, Королев, Николаев, Рябенко, Соловьев, Янчур

МПК: C23C 11/02

Метки: вольфрамовых, покрытий

...покрытия при сохранении высокой производительности и возможности получения толсгых покрытий предлагается способ, отличительной особенностью которого является проведение осаждения на монокристаллцческую подложку из металла с ОЦК-решеткой и отжцга полученного покрытия при 1600 - 1900 С в течение 30 - 60 ч в вакууме,Согласно предлагаемому способу нанесение вольфрамового покрытия на монокристалличсскую подлохкку осуществляют при атмосферном давлении из смеси водорода ц гексафторида вольфрама с соотношением, равным 0,1 - 9,0 (парциальное давление гексафторцда 0,1 - 0,9 атм) прц температуре подложки 500 - 800 С и любой скорости газового потока, после чего с целью превращения полцкрнсталли- соОЙ стр 1 етрь Покртця в 10 цокрцстллп;акал...

Номер патента: 378557

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Андриевский, Кузнецова, Ротанов, Янчур

МПК: C23C 8/20

Метки: внедрения, диффузионного, металлов, насыщения, переходных, сплавов, элементами

...температуры ее насыщен температур Полученныйтеризовалсядефектов. Дальнеиш лялось при 2150 - 3 час. териал хараке азотом осуществ 1900 С - 1 час н таким образом маотсутствием трещин,П редм ет из о бр етени Изобретение относится е материаловеделию и может быть ислольэовано в электронной технике.Известен способ диффузионного насыщения порошковой смеси чистых, переходных металлов, выключающий напрев в среде углерода, азота или бора при температуре образования тулоллавких фаз внедрения (1000 С - 2500 С).Цель изобретения - получение,многослойного изделия из туголлавких фаз внедрения.Предлагаемый способ отличается тем, что диффузионному насыщению подвергают комлактные сллавы переходных металлов, содер. кащие от 1 до 40 ат. о/о легирующего...