Патенты с меткой «нагретую»

Номер патента: 817092

Опубликовано: 30.03.1981

Авторы: Гаврилов, Смирнов, Шулов, Янчур

МПК: C23C 11/00

Метки: изниобия, нагретую, нанесения, подложку, покрытий

...способе хлорида вольфрама вместо пентахлорида ниобия в известном способе в качестве транспортирующего реагента позволяет снизить температуру на подложке на 250-450 С и получать покрытие с преимущественной текстурой (110). Присутствие небольших количеств хлорида вольфрама в зоне осаждения оказывает катализицующее действие на процесс термического разложения хлоридов ниобия, так как в известном способе при температурах подложки 1350 - 1550 С наблюдается разъедание осаждаемого слоя ниобия.Выбранный интервал температур подложки (1350 - 1550 С) позволяет также снизить уро вень газовыхпримесей в получаемых материалах, так как понижение температуры приводит к уменьшению растворимости кислорода и азота в ниобии,При дальнейшем снижении...