Саблев

Номер патента: 745189

Опубликовано: 15.10.1981

Авторы: Гольдинер, Саблев, Ступак

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...погасание дуги на Ьтыке ее с катодом. Обечайку 6 целесообразно изготавливать из лйстовоГо материала толщиной 1-2 мм. Для исключения загрязнения металлического покрытия металл обечайки должен быть "идентичен металлу испаряемого катода 2Катод с обечайкой горит стабильнои может быть испарен,практически полностью. Толщина 1-2 мм неиспаренного катода определяется креплением обе-. чайки 6,Применение обечайки позволило значительно увеличить коэффициент исйоль Зованйя испаряемого .металла. Например, в испарителе катод с диаметром 100 мм, толщиной 60 мм из Т.беэ обечайки прекращает стабильноработать при толщине 20-25 мм, т,е,используется 60 запаса металла, приналичии обечайки шиРиной 25 мм толщина неиспаренного катода 2 мм,...

Номер патента: 740068

Опубликовано: 23.06.1981

Авторы: Ключко, Саблев, Ступак

МПК: H01J 41/20

Метки: высоковакуумныйнасос, плазменный, сорбционный

...конденсатора на сорбирующей поверхности одиникова, Этим достигается высокая экономичность и эффективность работы насоса,В изобретении решена задача увеличения запаса титана, В экспериментальном насосе с диаметром камеры. 100 см,120 кг,. что обеспечивает огромный Ресурс работы насоса,Формула изобретения3, Плазменный сорбционный высоко- вакуумный насос, содержащий цилиндрическую вакуумную камеру, в которой 3 740068Это достигается тем, что катод вы-, 1 ду анодом и катодом 10 см, Снаружиполнен в,виде полого цилиндра, охватывающего коаксиально расположенный цилиндрический анод, а снаружи камеры,по всей длине катода, расположен проводник, выполненный в форме змеевикаспостоянным шагом намотки и перехлестом концов только. в одной точке,...

Номер патента: 268122

Опубликовано: 30.03.1981

Авторы: Атаманский, Горбунов, Долотов, Лунев, Луценко, Саблев, Усов

МПК: C23C 13/08

Метки: испаритель, металла, электродуговой

...испаритель, общий Испаритель состоит из катода 1, анода 2, выполненного в виде металлической оболочки произвольной Формы, обхватывающей рабочую поверх ность катода и поджигающего электрода 3. Анод 2 в виде металлической оболочки служит одновременно внутренней поверхностью вакуумной камеры 4.Дуга возбуждения кратковременным касанием поверхности катода 1 поджигающим электродом 3 горит в парах материала катода между рабочей поверхностью катода 1 и внутренней поверхностью оболочки анода 2 при любом низком давлении остаточных газов в вакуумной камере 4.Так как металлическая оболочка анода 2 со всех сторон обхватывает рабочую поверхность катода 1, то потоки металлической плазмы, образованные в катодной области дугового разряда,...

Номер патента: 711787

Опубликовано: 07.10.1980

Авторы: Саблев, Ступак

МПК: C23C 15/00

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...к регулируемому источнику 5 постоянного тока в10 А с напряжением 220 В.Для равномерного распределениякатодцых пятен на образующей катода 20необходимо, чтобы магнитное поле соленоида было равномерным по всейдлине образуюцесс.Это достигается установкой катода внутри солецоида так, что ось 6катода перпендикулярна оси 7 соленоида и установкой пластин 8 из магнитомягкого металла (сталь Ст 20 толщиной3 мм) ца внутренних поверхностях прямоугольного соленоида со стороны торцов катода. На Фиг, 1 обозначены силовые линии 9 магнитного поля, поджигаю.ий электрод 10, соединенный свысоковольным источником 11 питания,обрабатываемые изделия 12.Катод 2 имеет токопроводы, расположенные ца оси, на которых черезизоляторы 13 и подшипники 14 укреплен...

Номер патента: 597246

Опубликовано: 25.01.1979

Авторы: Ключко, Саблев, Ступак

МПК: C23C 13/08

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...(ВО 5. СОЛЕКОИД 3 ПОДКЛЮ- чают ис, Ояк,кся(аня, создающем Б ма: кнтксм псле соле(сида катсдкоепятке Д 1 Г вра:;.=ется Б Награвлекин нс 5 омалькс. склсвьз( пкккям поля, т,е,скружкс, т (,. Цсн (5 опу"к анки пс ши не Й тока в 5 б 200 Й на пОверхности като:а вблизи чсн(ы появляется составляющая поля. Нс,мапьная полю ссле- К- = Г пЗ. Ьта Е СКПОБЫЕ ПИКНИполя в Гайск - п,свод(нка с током кр(яв.(:-ются(: ка-Огксе пятно ; ещает597246 инФормации принятые Ваэкспертизе ни ание паи15 дед Р 3694691 р д 70 1,. Патентс 1 108,Составитель О.БогомоловТехред С,Кигай Корректор 14.Демч Редактор Т.Коладцева/1 Тираж 1119 ЦНИИПИ Государственного кампа делам изобретений и о 113035, Иосква, Ж, Раушск Заказ 7870 Подпитета СССРкрытийя наб д,4/ Филиал ППП...

Номер патента: 307666

Опубликовано: 05.01.1979

Авторы: Атаманский, Горбунов, Долотов, Лунев, Луценко, Саблев, Усов

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...ваней в вакууме.лектродуговой испарительержаший корпус, катод, подктрод и анод.Овышения стабильности горепуса, внутри которого коаксивл ршен катод.На чертеже представлен предлагаемый испвритель, общий вид,Испаритель содержит выполненный изнемагнитного материала корпус 1,. внутрикоторого коаксиально размещен катод 2,поджигающий электрод 3, анод 4 и соленоид 5, расположенный снаружи корпуса.Дуга возбуждается кратковременнымприкосновением поджигающего электрода3 к поверхности катода 2 и горит в парах 2 Ометалла катода между рабочей поверхностью катода (той, с которой происходит испарение металла) и внутренней поверхнос. Атаманский, В. 11. ГорбуновН. Луценко, В. М. ЛуневВ. В. Усов Через столб плазм, звклю ду квтодной областью дуги и...

Номер патента: 363375

Опубликовано: 05.01.1979

Авторы: Горбунов, Долотов, Саблев, Усов

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...общий вид,Испаритель состоит иэ катода 1,анода 2, являющегося внутренней поверхностью вакуумной камеры, поджигающего приспособления 3 и магнита4, расположенного с обратной сторонырабочей поверхности катода. Магнит4 снабжен устройством 5 для его перемещения.Устройство работает следующим обт При низком давлении остаточных гов в вакуумной камере (ниже 110 мм рт.ст) . зажигают дугу. Зажигание дуги производят кратковременнымприкосновением поджигающего приспособления 3, электрически связаннымс анодом, к поверхности катода 1.Кроме того, дуга горит в парах металла катода. Так как катодное пятно вакуумной дуги стремится находиться научастках катода с максимальной индукцией магнитного поля, то оно перемещается в район катода, находящийсяпод...

Номер патента: 636266

Опубликовано: 05.12.1978

Авторы: Гетман, Гольдинер, Долотов, Саблев

МПК: C23C 13/08

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...на фиг. 1; на фиг. 6 дано поперечное сечение катода на фиг. 5.Злектродуговой испаритель высоковакуумного насоса (фнг. 1) содержит анод 1, служащий одновременно камерой испарителя; катод 2 в виде цилиндра диаметром 250 мм, выполненный из титана и размещенный симметрично относительно оси камеры- анода на конце токоподвода 3, представ. яющего собой медный стержень диаметром 25 мм, изогнутый под прямым углом. Второй конец токоподвода выведен нз камеры-анода через вакуумноплотпый изолятор 4 и электри.чески соединен с отрицательным полюсом источника питания 5. Положительный полюс источника электрически соединен с камерой. анодом. Экран Б, изготовленный из магнит. ного материала, охватывает нерабочую поверхность катода, На поверхности...

Номер патента: 368807

Опубликовано: 05.07.1978

Авторы: Атаманский, Гетман, Долотов, Луценко, Саблев, Ступак, Усов

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, электродуговой

...1.достигается установкой магнитного экрана 6. На катодах 1, помещенных в однородное магнитное лойе, наблюдается горение дуги на боковой поверхносж катода, твк квк в таком поле отсутствуют силй, воэврашающие квтодное пятно на рабочую поверхность катода. Катодиое пятно, попадая на боковую поверхность катода, совершает :вращательное движение, Чтобы создать силу, вынуждаюцую катодное пятно вернуться о на рабочую поверхность, катоду 1 придается форма усеченного конуса. Рабочей поверх ностью является меньшее основание конуса. Оптимальным является конус с углом прио 4вращении не менее 14 . При.такой форме И катода линии магнитного поля образуют острый угол с боковой поверхностью катода и; по принципу максимального поля, катодное...

Номер патента: 349326

Опубликовано: 30.03.1978

Авторы: Гетман, Гольдинер, Горбунов, Долотов, Киршфельд, Саблев, Усов

МПК: C23C 15/00

Метки: испарения, металлов, электродугового

...его определенной направленности.Предложенный способ стабилизирует катодное пятно дуги на рабочей поверхности катода. Способ отличается тем, что процесс осуществляют в пульсирующем магнитном поле,величина которого минимальна в момент нахождения катодного пятна на рабочей поверхности катода и максимальна в момент нахождения катодного пятна на боковой нерабочей поверхности кагода,Элсктродуговое испарение металлов ведутв пульсирующем магнитном поле, силовыелинии которого образуют острый угол с боковой поверхностью катода, с величиной минимальной в момент нахождения катодного пятна на рабочей поверхности катода и максимальной в момент нахождения катодного пятна на боковой нерабочей поверхности катода, 5 Отсутствие магнитного поля в момент...

Номер патента: 349325

Опубликовано: 30.03.1978

Авторы: Гетман, Гольдинер, Горбунов, Долотов, Киршфельд, Саблев, Усов

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...а дру- ЗО- с камерой-анодом 1, Между корпусом и камерои-анодом установлена электроизоляционная прокладка 6.При давлении в вакуумной камере ниже 110 втор. кратковременным прикосновением поджигающего электрода к поверхности катода зажигается дуга. Дуга горит в парах металла при сколь угодно низком давлении остаточных газов в вакуумной камере. Для стабильного горения дуги необходимо, чтобы катодное пятно дуги находилось на рабочей поверхности катода. При нахождении катодного пятна на рабочей поверхности катода поток металлической плазмы направлен на стенки вакуумной камеры, являющейся анодом. Как только катодное пятно переходит на боковую поверхность катода, поток металлической плазмы направляется в сторону корпуса испарителя, электрически...

Номер патента: 563826

Опубликовано: 05.03.1978

Авторы: Осипов, Саблев, Ступак

МПК: C23C 15/00

Метки: нанесения, пленок, тонких

...на фиг. 2 конфигурация магнитных полей в камеУстройство длпленок работаетНапыляемые изваются на крышкумакрочастиц от кпрямолинейно, неПитание соленоидется от разных иВоздух из вакчивается до давл10 мм рт,ст. Черется ток, создающ50-200 Э, достаткатодного пятна 5 р 72) Авторы изобретения л,п. я нанесения тонкихследующим образом.делия 9 устанавли 2 так, чтобы потокатода 4, движущийсямог попасть на них,ов б и 7 осуществлясточников,уумной камеры 1 откаения порядкаез соленоид б усий магнитноеочное для удерна торце катодЧерез соленоид 7 пропускается ток, создающий магнитное поле 20-50 Э. На камеру 1 подается напряжение 40-80 В относительно катода 4, на крышку 2-30 В. При этих параметрах конфигурация магнитных полей имеет 5 вид, показанный...

Номер патента: 337603

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Бирюков, Вишневецкий, Гутник, Долотов, Саблев, Усов

МПК: F16K 3/02

Метки: __биьлио_, гг, лтгртгп, ургд, •••ьлии

...стальной ленты, наматываемой на барабая привода и прижимаемой к уплотнительному кольцу седла при помощи жесткого подпружиненного кольца. В проходном сечении задвижки установлено неподвижно решетчатое седло, на которое опирается упругий ленточный затвор при закрытом,положении задвижки.Для упрощения эксплуатации устройства решетчатое седло установлено на оси механизма поворота, например червяч 1 ного, и фиксируется в рабочехт;положении электромагнитными защелка ми,На фиг. 1 схематически изображена предлагаемая задвижка; на фиг. 2 - разрез по А - А на фиг. 1,В корпусе 1 задвижки размещено решетчатое седло 2, закрепленное на оси 3, вокруг которой оно может, поворачиваться с помощью любого, например червячного, механизма поворота, Для...

Номер патента: 211981

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Бирюков, Долотов, Жуков, Романов, Саблев, Усов, Физико

МПК: F16K 3/02

Метки: вакуумных, задвижка, систем

...15 го к ущи же чаюиса номер чении 20 ло, назатвор Известны задвижки для вакуумных коммуникаций, в которых затвор выполнен в виде гибкой стальной ленты, наматываемой на барабан. Уплотнение затвора осуществляется поджатием ленты по периметру упругого седла подпружиненным металлическим кольцом,Предложенная задвижка отличается от известных тем, что,в ее проходном сечении установлено опорное решетчатое седло, на которое опирается упругий ленточный затвор, при закрытом положении задвижки, Такое выполнение задвижки обеспечивает равномерную нагрузку затвора.На чертеже схематически изображена задвижка для вакуумных систем.В корпусе 1 задвижки установлен барабанпривода 2. Затвор 3 задвижки выполнен, например, в виде гибкой стальной ленты,...

Номер патента: 171501

Опубликовано: 01.01.1965

Авторы: Козлов, Романов, Саблев

МПК: F04B 37/04, F04F 11/00

Метки: вакуумный, насос, сорбционный

...ем, сильфон зак , а камера вып например стек сос по авт. св, с активированотличающийся ия откачки пуедственно в отлючен в гермеолнена из хрупла, и окружена Подписная группа Л 12 рисоединением заявкиИзвестен сорбционный вакуумный насос (авт. св.158042), содержащий камеру с активированным поглотителем, сильфон и устройство для разгерметизации камеры.Цель изобретения - осуществлять откачку 5 путем помещения насоса непосредственно и откачиваемый объем, Для этого сильфон заключен в герметичную коробку, а камера выполнена из хрупкого материала, например стекла, и окружена защитной сеткой. 10На чертеже изображен предложенный сорбционный насос, продольный разрез.Он содержит камеру 1 с активированным поглотителем, выполненную из хрупкого...

Номер патента: 158042

Опубликовано: 01.01.1963

Авторы: Изобретерги, Козлов, Саблев

МПК: F04B 37/02, F04F 11/00

Метки: efth-jli1w, вакуулный, насосecec(h)3, плт, сорбционный

...позволяет длительное время хранить насос до его использования. Сорбционный вакуумный насос, солержа 1 ций закрыту 10 крьшкой кахеру с актпвироваццым поглотителем и переходный патрубок для подключения камеры к откачпваемому объему, о т л и ч а о ц 1 и й с я тем, что, с целью Обеспечения герметизации и цалежностп откачк;1, патрубок соедццсч с камерой прп похощп сцльфона и снабжен помещенными цад крьппкой ножамп с тем, чтобы прп включении 1 асоса вскрьв 1 ь крышке д;я Осуцтествлецпя откачки. насосактивир Вакуумныполненнуюи переходнь и патр) ка мерь 1 сверх соединен размещПОДКЛЮЧЕНИ му. Камера Патрубок 3 сильфона 5 Известны сорбционные вакуумные насосы, содержащие камеру, заполненную активпрованным поглотителем и закрываюцуос крышкой....