Электродуговой испаритель

О П И С А Н И Е щ зееео 7ИЗОБРЕТЕН ИЯ Сотоз Советских СоциалистическихРеспублик1) Дополнительно вт,(21) 1484027/22-0 10.7 аявле 1)М,К п исоединен зая Государственный комитет Совета Нннистрое СССР ео деяак изобретений и открытий(4 Я Дата опубликования описания 29.05,53) УДК 621,79 ,1 4.002.51 (088,8)(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАР бласти н может бы еских ксималькатодовнахооле, что ение потоков мот каждого икатоды 1 должныом магнитном тобы напринтенсивнос совпадали, всться в однор ем З Изобретение относится к о анесения покрытий в вакууме и тьприменено для получения металлич пленок на металлах и диэлектриках,Известен электродуговой испаритель металлсе, содержащий катод из испаряемогометалла, размещенный в корпусе из немагиитного материала, снаружи которого расположен соленоид, поджигающий электроди анод, Однако известный испаритель позволяет получать только однокомпонентныепленки. Для получения многокомпонентныхпокрытий требуется установка несколькихиспарителей, катоды которых должны бытьизготовлены из разных металлов, что необеспечивает достаточной однородности покрытия,Пель изобретения - получение многокомпонентных однородных покрытий и устойчивого горении дуги,Это достигается тем, что в корпусе укреплены дополнительные катоды из металлов, входящих в состав многокомпонентногопокрытия, и магнитный экран, охватыващий боковую поверхность катодов, прич катоды выполнены в видеса с углом при вершине а.бочей поверхностью кот ршеоснование.На чертеже представлен электродугсеойиспаритель, общий вид,Электродуговой испаритель состоит изкатодов 1, корпуса 2 из немагнитного материала, соленоида 3, поджигающего влеко трода 4, анода 5, магниптого экрана 6 иизоляторов 7. В датптом электродуговомнспарителе анодом 5 является внутренняя лаверность вакуумной камеры, катоды 1 расположены в корпусе 2 из немагнитного ма- И териала и изолированы от него изоляторамк 7. Соленоид 3 установлен снаружи корпуса. Поджигающий электрод 4 электрически связан с анодом 5. Направление потокаиспаряемого материала максимальной иытенсиь р ности перпендикулярно рабочей поверхностикатодов 1.достигается установкой магнитного экрана 6. На катодах 1, помещенных в однородное магнитное лойе, наблюдается горение дуги на боковой поверхносж катода, твк квк в таком поле отсутствуют силй, воэврашающие квтодное пятно на рабочую поверхность катода. Катодиое пятно, попадая на боковую поверхность катода, совершает :вращательное движение, Чтобы создать силу, вынуждаюцую катодное пятно вернуться о на рабочую поверхность, катоду 1 придается форма усеченного конуса. Рабочей поверх ностью является меньшее основание конуса. Оптимальным является конус с углом прио 4вращении не менее 14 . При.такой форме И катода линии магнитного поля образуют острый угол с боковой поверхностью катода и; по принципу максимального поля, катодное пятно стремится вернуться на рабочую поверхность.Электродугавой испаритель работает следующим образом,Кратковременным прикосновением поджигвкнцего электроде 4, электрически связанного с анодом 8, к поверхности катодов 125 зажигается электрическая дуга. Дуга горит в парах металла катода между рабочей поверхностью катода и внутренней.поверхностно каМеры-анода 5 при низком давлении остаточных газов в вакуумной камереа Квтодное36 пятно хаотически передвигается по рабочей.поверхности катода. При попадания катод- ного пятна нв боковую поверхность катода электрическое поле дуги взаимодействуетс магнитным полем соленоида 3, силовыелинии которого образуют острый угол с боковой поверхностью катода, твк как катодвыполнен в виде конуса. Силы взаимодействия возвращают катодное пятно на рабочуюповерхность катода, Для предохранении катодов от расплавления оии охлаждаются водой. Металлы катодов 1 испарюотся; парыосаждаются на напыляемый объект, Твк квккатоды расположены близко друг к другу инаходятся в равномерном магнитном поле,то направления потоков максимальной интенсивности от каждого из катодов 1 совпадают, обеспечивая равномерное напыление,формула изобретения Электродуговой испаритель метвллм, содержащий катод из испаряемого металла, . размещенный в корпусе из немвгнитиого материала, снаружи которого:расположен соленоид, поджигающий электрод и анод, о т л и ч а ю щ и й с я тем,. что, с целью получения: многокомноненчных однородных покрытий и устойчивого горенйя дуги, в корпусе укреплены дополнительные като- ь. ды из металлов, входящих в состав мног- компонентного покрытия, и магнитный экран, охватывающий боковую поверхность катодов, причеь. катоды выполнены в виде усеченного конуса с углом при вершине не менее 14, рабочей поверхностью которого слуожит меньшее основание.368807 Составитель Л. АнисимоваТекред Л. Алферова Корректор И, Гокси едактор Е. Месропова 22/49БНИИПИ Гос Зак 13035, Москва ПП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 фи Тираж 1176венного комитетаи изобретений иЖ 35, Раушская ПодписноеСовета Министров СССРоткрытийаб., д. 4/5