Путенин

Номер патента: 1403764

Опубликовано: 15.01.1994

Авторы: Блинов, Гузеева, Казарян, Путенин, Сорокин, Чикин

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчиков, матричных

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЧНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ, при котором формируют пакет скрепленных между собой металлизированных диэлектрических пленок, выполняющих роль чувствительных элементов, и экранов, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов, повышения эксплуатационной надежности и расширения диапазона измерения в сторону малых давлений, пакет скрепленных между собой металлизированных диэлектрических пленок формируют последовательным нанесением нескольких слоев полиамидокислотного лака осаждением на металлическую подложку металлизированной пленки, после нанесения каждого слоя пленку подвергают термической обработке последовательно в течение 5 - 20 мин при 80 - 100oС, 5 - 10 мин при 140 - 160oС, 5 - 10 мин при...