Многоточечный датчик давления

ОСПАТЕНТ СССР)НИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ВУ СОгОЗ СОВЕТСКИХсоциллистггческих РесггувликГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР (Г К АВТОРСКОМУ СВИДЕТ(54) МНОГОТОЧЕЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность и чувствительность устройства. С двух сторон перфорированнойдиэлектрической пленки размещены сплошныедиэлектрические пленки. На внутренней поверхности каждой сплошной пленки нанесены металлизированные экраны 7 с зазором вокруг обкпадок 2(51) 5 6013 9 И и выводных проводников 4. Перфорированная пленка имеет более высокую диэлектрическую проницаемость и меньший модуль упругости, чем сплошные пленки. Нижняя сплошная пленка в 2- Э раза толще верхней. Изменение давления приводит к колебанию толщины чувствительного элемента под обкладками 7, вызывающему соответствующее изменение электрической емкости Экраны 7 обеспечивают защиту чувствительного элемента от внешних электромагнитных помех и способствует снижению паразитных емкостных связей между обкладками 2 соседних датчиков. 3 иа1356680 МНОГОТОЧЕЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий перфорированную диэлектрическую пленку, соединенную с расположенными с двух ее сторон сплош ными диэлектрическими пленками с метал- лизированными обкладками и выводными проводниками, а также два металлизиро"ванных экрана, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и чувствитель ности, в нем металлизированные экраны Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления при аэродинамических испытаниях.Целью изобретения является повышение точности и чувствительности.На фиг,1 изображен датчик, общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг,З - разрез Б-Б на фиг,1.Датчик содержит пленку 1, обкладки 2 и 3, выводы 4 и 5, перемычки 6, экраны 7 и 8, изоляционный перфорированный слой 9 из диэлектрической пленки, токосъемные выводы 10 и слой клея между пленками 11.На первую пленку 1 методом термического испарения через маски нанесены верхние обкладки 2, выводные проводники 4, перемычки 6 и вокруг них защитный экран 7. Нижние обкладки 3, вывод 5 и второй защитный экран 8 металлизированы на верхней поверхности второй пленки, Введенные экраны 7 и 8 позволяют снизить паразитные емкостные связи между обкладками соседних датчиков, а также между обкладчиками и землей. Экраны 7 и 8 также обеспечивают защиту от внешних электромагнитных помех и исключают накопление электрического заряда, обусловленного трибозлектрическим эффектом при аэродинамическом обтекании, Кроме того, такое расположение верхних и нижних обкладок одна относительно другой обеспечивает дополнительную экранировку обкладок от внешних помех и защиту металлизированных экранов 7 и 8 от истирания при воздей-. ствии газового потока. П ри этом напряжение поляризации датчиков подаетФормула изобретения 5 10 15 20 25 30 ся на вывод 5 через перемычки 6. Смещение вывода 4 относительно вывода 5 позволяет ликвидировать их влияние на результаты измерения, Расстояние д между обкладками 2 и 3 и экранами 7 и 8, а также между выводами 4 и 5 и экранами 7 и 8 выбирается минимальным, исходя из технологических возможностей напыления,Между первым и вторым слоями пленки вставляется третья перфорированная пленка 9. Перфорированию подвергается часть пленки, находящаяся под обкладками датчика. Перфорируемый диэлектрик по своему содержанию отличается от пленки первого слоя так как имеет более высокую диэлектрическую проницаемость и меньший модуль упругости. Толщина третьей пленки выбрана больше, чем толщина остальных пленок. Минимальная толщина перфорированной пленки обеспечивает высокую чувствительность, а минимальная толщина первой пленки - более низкий предел измеряемого давления,Датчик давления по принципу работы представляет собой преобразователь емкостного типа. При изменении давления изменяется толщина чувствительного элемента под обкладками 2 и 3, что приводит к соответству.ощему изменению электрической емкости.(56) Приборы и техника эксперимента, М 4, 1983, с, 220 - 221.М.РОЯТаТ ес М.СНАТАМ 1 ЕВ 1.,ЕЗ САРТЕОРЗ РЕШСО 1 А 1 ВЕО ОЕ РВЕЯ 510 И ЕТ 1 ЕОЯЗ АРР 11 САТ 101 чЯ, Аппе с. 1982, п.З, р, 177-186. расположены со стороны внутренней поверхности каждой сплошной диэлектрической пленки и нанесены на поверхность пленок с зазором вокруг обкладок и выводных проводников, при этом перфорированная пленка выполнена из материала с модулем упругости меньшим и с коэффициентом диэлектрической проницаемости большим, чем у материала верхней и нижней пленок, а толщина нижней пленки больше толщины верхней пленки в 2 - 3 раза.1356680 Составитель В, КазаковТехред М,Моргентал орректор М, Керецла едактор Т. Лошкарева аз 3351 Тираж одписное НПО "Поиск" Росоатента13035, Москва, Ж, Раушская наб