C30B 13/30 — стабилизация или управление формой расплавленной зоны, например с помощью концентраторов, с помощью электромагнитных полей; регулирование сечения кристалла

Номер патента: 134430

Опубликовано: 01.01.1960

Авторы: Волпянский, Голуб

МПК: C30B 13/30

Метки: зонной, зоны, плавки, полупроводниковых, процессе, расплавленной, ширины

...при этом фотоэлектрические импульсы усиливаются усилителем 5. Между отверстиями 3 в диске 2 находятся магниты 6, которые, проходя в поле катушки 7, индуцируют магнитные импульсы, распределяющиеся по врмени между фотоэлектрическими импульсами. Магнитные импульсы, будучи усилены усилителем 8, подаются на вибропреобразователь Фотоэлектрические импульсы из усилителя 5 попадают на ограничитель амгГлитуды по нижнему уровню 10, затем в усилитель 11 и далее на логаригрмический амплитудо-временной преобразователь 12, Вибропреобразователь 9, замыкаясь попеременно на контакты 13 и 14, снимает поочередно фотоэлектрические и экспоненциальные магнитные импульсы. С вибропреобразователя 9 импульсы поступают на ограничитель амплитуды 15, принимая...

Номер патента: 136888

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Добровенский, Ловцов, Малинин

МПК: C30B 13/30

Метки: бестигельной, зонной, плавки, процесса

...полученного путем сравнения степени поглощения расплавленной зоной радиоизлучения со степенью излучения на эталон, Способ позволяет стабилизировать процесс вертикальной зонной плавки,На чертеже показана схема автоматического регулироцесса вертикальной бестигельной зонной плавки,Радиоактивный источник 1 ",-излучения размещается в свинцовом контейнере 2, из которого т-лучи Баправляются на расплавленную зону 3 обрабатываемой заготовки 4. Пройдя через защитную кварцевую трубку 5, индуктор б и расплавленную зону Зпучок; -излучения попадает на люминесцентный кристалл 7 фотоэлектронного умножптеля 8.Поглощение, -излучения в кварцевой трубке 5 и индукторе б является величиной постоянной, а поглощение в расплавленной зоне 3 изменяется в...

Номер патента: 209412

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Вольп, Воронов, Забелышенский, Каморин, Лагутин, Макеев, Миттельштейн, Чистов, Щипунов

МПК: C30B 13/30

Метки: диаметра, кристалла

...линейный масштаб.5 Преобразованное изображение проецируется на полупрозрачный проекционный экран 10, за плоскостью которого установлен фогоприемник 11, снабженный приводом 2, вращения его в горизонтальной плоскости, в,на правлении,продольной оси проецируемогоизображения. Скорость вращения фотоприемника должна быть больше скорости вращения кристалла с тем, чтобы изменение скорости вращения кристалла не влияло на точность 15 измерения диаметра.Фотоприемник 11 вырабатывает имгпульсыпрямоугольной формы, длительность которых зависит от изменений размера изображения диаметра расплавленной зоны, соответствую щего заданному диаметру кристалла. Импульсы поступают в преобразователь 13 с время-импульсной схемой измерения, вырабатывающий эталонный...

Номер патента: 210844

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Бындин, Всесоюзный

МПК: C30B 13/30

Метки: бестигельной, диаметра, зонной, плавки, процессе, регулироваииу, стержня

...света, снабженного щелевой диафрагмой 8, щель которой расположена под щелью диафрагмы 5.Отклоняющая система 9 телевизионнойтрубки установлена таким образом, чтобы 10 строчная развертка осуществлялась вдоль образующей перекристаллизуемого стержня и перпендикулярно щелям диафрагм, Питание отклоняющая система получает от генератора 10 строчной развертки и генератора 11 раз вертки кадров, работа которых синхронизируется синхрогенератором 12. Сигнал с види- кона поступает на видеоусилитель 1 т и в схему разделения сигнала, содержащую киппреле 14, линию задержки 15 и кипп-реле 1 б;20 освещенность эталонного изображения, создаваемого источником света, выбирается в два раза больше максимальной освещенности изображения расплавленной зоны, в...

Номер патента: 276016

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Дегт, Киселев, Лежебоков, Наройчик, Николаев, Осовский, Селиванов, Шкл

МПК: C30B 13/30

Метки: бвстигельной, зонной, плавки, процесса

...состоит в том, что профиль расплавленной зоны на определенном узком участке около фронта кристаллизации поддерживается системой автоматического регулирования постоянным путем воздействия на механизм сжатия - растяжения зоны или на изменение мощности в зоне по сигналу,деиствия контроля На чер для реал гулирова плавки,На чер расплавл кристалл и 6, зерк экран 11,ный при задатчик гатель 22Расплавленная зона 1 создается на небольшом участке слитка 2 то 1.ами высокой частоты. протекающими по индуктору 23. Сжатие - растяжение зоны осуществляется двигателем 19 через кинематическую систему 10.Посредством оптическо 11 системы, состоящей из линз 6 - 6 и зеркал 7 - 9, через смотровое стекло 4 иа экран 11 проектируется исревер нутое двойиос...

Номер патента: 279598

Опубликовано: 01.01.1970

МПК: C30B 13/30

Метки: 279598

...12, измерительного прибора 18,регулятора 14, дигаеля 15 схсатпя-растяхсения, задатчика 16, электронного усилителя 17,реверсивного двигателя 18 и кпнематичсскойсистемы 19.Устройство работает. следующим образом.15 Расплавленная зона 1 создается на небольшомучастке слитка 2 токами высокой частоты, протекающими по индуктору 8. Сжатие-растяхсенис зоны осуществляется двигателем 15 черезкипематичсскую систему 19, Посредством оп 20 тической системы, состоящей пз лпнз 6, зеркал5 и 7, через смотровое стекло 4 на проекционном экране 9 с фотоприемниками 10, 11 и 12проецируется перевернутое двойное изображение части слитка 2 вблизи фронта крпсталли 25 зацип 8, На фотоприемник 10 проецируютсяоба края профиля зоны 1, Изменение профилязоны...

Номер патента: 293633

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Соловьев, Центральный

МПК: C30B 13/30

Метки: бесконтактного, датчик

...катушки и имеющих в сумме равное с ней число витков,Иа фиг. 1 дана схема устройства для бссконтактного контроля границы раздела двух электропроводпых сред при кристаллизации цил ндрического слитка; на фиг. 2 дана схема устройства для бесконтактного контроля границы раздела двух электропроводных сред при кристаллизации прямоугольного слитка,Датчик имеет измерительную катушку, состоящую из двоих секций 1 и 2, измерительную катушку 3, токовую катушку 4. При контроле длины зоны кристаллизации, например олова, измерительную катушку 3 размещают против границы 5 кристаллизации, при этом 5 секции 1 и 2 другой измерительной кагушкинаходятся над расплавленной зоной 6 и твердой зоной 7Секции 1 и 2 соединены между собой согласно и...

Номер патента: 327942

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C30B 13/30

Метки: 327942

...к индуктору, и положением механизма рас тяжения-сжатия зоны соответственно черезрег зяторьт 7 и 8 измерение волизпв узкой се части энергии, подводижением механизма ПрСпособ20 процесса кртельной зонцие поперечся тем, что,гулпрованпя25 заданного дсечения зоньсталлизацицмощностьюи положение30 зоны. Изобретение касается области полупроводникового производства и может быть использовано при выращивании кристаллов методом бестигельной зонной плавки.Известен способ автоматического регулирования процессом кристаллизации методом бсстигельцой зоццой плавкц, осиоватшый па измерении поперечного сечения зоны. Однако известный способ обладает тем недостатком, что при регулировании це учитывается информация о состоянии зоны в наиболее узкой ее...

Номер патента: 338247

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Булаев, Государственный, Збарский, Каратаев, Кулагин, Проектный, Смирнов, Шендерович

МПК: C30B 13/30

Метки: автол1атического, бестигельной, зонной, плавкивсесоюзнаяпа, процесса, тно-тх«гес1библиотека

...техгпературы расплавленной зоны.Это достигается тем, что в качестве стабилизируемого параметра используют температуру индикатора, отражатощего изменениетемпературы расплавленной зоны. Чертежпоясняет предлагаемый способ,На токоведущем проводе 1 плавильного ипдуктора 2 устанавливают индикатор 3, отражающий изменение температуры расплавленной зоны 4, и стабилизируют температуру индикатора,В стержне полупроводникового материалаБ создается расплавленная зона, при этом токами высокой частоты разогревается рабочеетело индикатора 3. Термоэлектродвижущая сила, возникающая в горячем спае одной из термопар б поступает на показывающий прибор 7 для измерения абсолютного значения температуры индикатора 3, Термоэлектродвп жущая сила, возникающая в...

Номер патента: 430878

Опубликовано: 05.06.1974

Авторы: Бындин, Новиков, Ратников

МПК: C30B 13/30

Метки: бестигельнойзонной, мощности, плавки

Номер патента: 1587082

Опубликовано: 23.08.1990

Авторы: Александров, Варганов, Калманович, Семенов, Степанов, Юшкевич

МПК: C30B 13/30

Метки: зонной, плавки

...вращение контейнера 6 с помощью зубчатой передачи 22. Осевое перемещение контейнера 6 (рабочий ход) происходит за счет взаимодействия установленного на плите 2 пальца 23 и кулачкового механизма 24 в форме спирали Архимеда, насаженного на ось привода 25, с помощью которого можно менять скорость поступательного движения контейнера 6. Для быстрого возврата последнего в исходное положение служит пружина (не показана). Нагреватели 9 электрически соединены с системами регулирования мощности (не показаны), с которыми также соединены фотоприемники-фо.тодиоды 18.Устройство работает следующим образом,Устанавливают угол наклона плиты 2 относительно горизонтальной оси с помощью стопорного винта 20. Кварцевый контейнер 6 с очищаемым веществом...