Способ автол1атического регулирования процесса бестигельной зонной плавкивсесоюзнаяпа; -тно-тх«гес1библиотека
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 338247
Авторы: Булаев, Государственный, Збарский, Каратаев, Кулагин, Проектный, Смирнов, Шендерович
Текст
О П И С А Н И Е 338247ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 09.111.1970 ( 1412723/23-26)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 15.Ч,1972. Бюллетень16Дата опубликования описания 7,Ч 1.1972 М. Кл. В 011 17/101-1 05 Ь 5104С 051 23/00 Комитет по делак изобретений и открытий при Совете Министров СССРУДК 669:621,785,545.4; :66.045.2 (088.8) Авторыизобретения В. В. Каратаев, Р. С. Кулагин, Н, П, Смирнов, А. С, Булаев,И. Л. Шендерович и А. Я, Збарский Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленностиЗаявитель СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА БЕСТИГЕЛЬНОЙ 3 Предмет изобретен и я Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов,В известных способах автоматического регулирования процесса бестигельной зоннойплавки в качестве регулируемого параметраиспользуется ток или напряжение на плавильном индукторе с воздействием на управляющий орган лампового генератора с точностью.+0,2%. При этом колебания температуры врасплавленной зоне составляют -+.5 С. Такаяточность поддержания температуры не удовлетворяет требованиям производства монокристаллов с заданными свойствами,Целью изобретения является повышениеточности поддержания техгпературы расплавленной зоны.Это достигается тем, что в качестве стабилизируемого параметра используют температуру индикатора, отражатощего изменениетемпературы расплавленной зоны. Чертежпоясняет предлагаемый способ,На токоведущем проводе 1 плавильного ипдуктора 2 устанавливают индикатор 3, отражающий изменение температуры расплавленной зоны 4, и стабилизируют температуру индикатора,В стержне полупроводникового материалаБ создается расплавленная зона, при этом токами высокой частоты разогревается рабочеетело индикатора 3. Термоэлектродвижущая сила, возникающая в горячем спае одной из термопар б поступает на показывающий прибор 7 для измерения абсолютного значения температуры индикатора 3, Термоэлектродвп жущая сила, возникающая в горячем спаедругой термопары 8 является регулирующим сигналом и поступает в систему 9 автоматического регулирования лампового генератора 10. С изменением температуры нагрева ин днкатора 3 изменяется режим работы лампового генератора 10, а, следовательно, и температура нагрева расплавленной зоны 4.При использовании предлагаемого способарегулирования удается стабилизировать тем пер атуру индикатора, отраж ающего темпер атуру расплавленной зоны в процессе бестигельной зонной плавки арсенида галлия с точностью +.0,5 С. При этом колебания температуры в расплавленной зоне не превышали 20 +.0,1 С. 25 Способ автоматического регулирования процесса бестигельной зонной плавки с индукционным нагревом расплавленной зоны путем стабилизации режима работы генератора, отличатощайсл тем, что, с целью повышен гя 30 тоиОсти поддержания ех 11 ерату 1 ты расЛыв338247 отражающую изменение температуры расплавленной зоны. Составитель В. Лейбович Техред Е. БорисоваРедактор Е. Левина Заказ 1639/11 Изд.714 Тираж 448 Г 1 одпи сносЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раугпская паб., д. 4,5 Типография, пр. Сапунова, 2 ленной зоны, в качестве стабилизируемого параметра используют температуру индикатора,Корректоры: В. Петрова и Е. Ласточкина
СмотретьЗаявка
1412723
В. В. Каратаев, Р. С. Кулагин, Н. П. Смирнов, А. С. Булаев, И. Л. Шендерович, А. Я. Збарский, Государственный научно исследовательский, проектный институт редкометаллической промышленности
МПК / Метки
МПК: C30B 13/30
Метки: автол1атического, бестигельной, зонной, плавкивсесоюзнаяпа, процесса, тно-тх«гес1библиотека
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-338247-sposob-avtol1aticheskogo-regulirovaniya-processa-bestigelnojj-zonnojj-plavkivsesoyuznayapa-tno-tkhges1biblioteka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ автол1атического регулирования процесса бестигельной зонной плавкивсесоюзнаяпа; -тно-тх«гес1библиотека</a>
Способ измерения температуры поверхности подложки в процессе вакуумного напыления тонких пленок
Номер патента: 477317
Опубликовано: 15.07.1975
Автор: Жаравин
МПК: G01K 17/06
Метки: вакуумного, напыления, пленок, поверхности, подложки, процессе, температуры, тонких
...измерения по предлагаемому способу один конец подложки нагревают до температуры испарения напыляемого вещества, а другой ее конец - до температуры в два раза меньшей, затем производят три последовательных напыления с заданной плотностью парообразного теплового носителя с определением после каждого напыления положения границы пленки и чистой поверхности подложки.Измерение температуры подложки производят следующим образом.На исследуемую подложку напыляют в виде тонкой пленки парообразный теплоноситель, зависимость скорости С осаждения атомов которого от температуры поверхностного слоя подложки имеет вид ется конденсация атомов тепло- поверхности подложки вследстя напыляемого вещества. Поревания одного из концов подпературы Тр, а другого...
Индикатор температуры
Номер патента: 513273
Опубликовано: 05.05.1976
Автор: Завьялов
МПК: G01K 11/06
Метки: индикатор, температуры
...схема индик 4 На чертеже ра температуьнеишего примео рачивают на 180 оконтакты и ндика тора ни Изобретение относится к приборам теплового контроля и может быть применено дляавтоматизации технологических процессов вразличных областях промышленности,Известны индикаторы температурысодержашие плавкое вещество с электроконтактами, подключенными к потенциометру. Однако в результате расплавления плавкогювещества теряется материал, идущий на егоизгоювление. Повторное использование это Ого материала невозможно в связи со значительным выгоранием легкоплавких вешестви окислением остальных элементов сплава,изобретения - создание индикатораго для многократного применения,о плавкий элемент с электроконтакполагают в герметичной прозрачнойна...
Индикатор температуры
Номер патента: 697842
Опубликовано: 15.11.1979
Автор: Завьялов
МПК: G01K 11/06
Метки: индикатор, температуры
...например кварца, и в зависимое. тп от применяемого плавкого вещества заполнена пнертцыл газом цлц вакуумирована.Плавкое вещество 1 имеет каплевидную форму, причеь замкнутые электрокоцтакты 3 расподдсжецы в основании концевого участка 5. Каплевицдая форма плавкого вещества достигается предварпальным нагревом индикатора до критической температуры и выдержкой его при этой температуре до образования тре. бусмой формы с последующим охлаждением.женин снова нагревают до придания ллавкому веществу каплевидной формы. После затвер. девания ллавкого вещества индикатор темпе. ратуры вновь пригоден для помещения в рабо. чую среду.Предлагаемый индикатор темперагуры имеет значительно более высокое быстродействие по сравнению с известным. Индикатор...
Способ контроля качества соединения в процессе контактной сварки
Номер патента: 791493
Опубликовано: 30.12.1980
Авторы: Владимирова, Калинина, Митяев
МПК: B23K 11/10
Метки: качества, контактной, процессе, сварки, соединения
...4поступают на передающий ультразвуковой датчик 2, встроенный в один иэ электродов свароч.ной машины 1. Колебания передающим ультразвуковым датчиком 2 преобразуются в упругиепродольные колебания, поступающие через водув сварочный электрод. На конусном дне электрода ультразвуковые колебания при переходе 4 Оиз воды в медь трансформируются из продоль.ных в поперечные. Изменение акустической про.водимости при расплавлении вызывает затухание поперечных ультразвуковых колебаний всоединении, Высокая скорость расплавления сва.риваемых материалов и большая их теплопроводность обеспечивают зону затухания поперечныхультразвуковых колебаний, достаточную длябыстрого их исчезновения,В процессе интенсивного охлаждения сварнойточки путем отвода...
Индикатор температуры
Номер патента: 970137
Опубликовано: 30.10.1982
Авторы: Варский, Вильчинская, Задвинская, Казакова, Чебур
МПК: G01K 11/16
Метки: индикатор, температуры
...в водном растворе поливинилового спирта, слой 3, представ ляющий собой прозрачный слой эмульсиижидких кристаллов в водном раствореполивинилового спирта, слой 4 - черный защитный слой.Устройство изготавливают следующим 10образом.На прозрачную полимерную пленку(подложку) методом трафаретной печатинаносят черную маску с прозрачнымизонами числовых или буквенных символов. Черная маска представляет собойэмульсию, изготовленную путем смешения следующих компонентов, вес.ч.:Поливиниловый спирт 8-10Сажа 8-10Дистиллированная вода 81-85После высыхания черной маски напрозрачные эоны числовых или буквенных символов наносят специальным аппликатором дополнительный слой эмульсии антиоксидантов в водном раствореполивинилового спирта при...