279598

Союз Советских Социалистических РеспубликОП ИГРАНИ.ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУЗаз;поимое от авт. свидетельства Ъц -Заявл о 19.т 1111. 1968 ( 1263839/22-1) присоединением заязки Л Комитет по деламобретений и открытийн Совете МинистровСССР у 1 ПК В 011 1710 иге 111.1970. Бюллетень Ло 27669,046:621.365 я пуоликова ВСЕ"ОЮЭНАЯ АТЕ. ЖЧт:"А"., опуолнкования описания 25.1.1971 Да Авто,рыизобретеггия Н, В. Дегтярик, А. М. Киселев, И. И. Лежебоков, С. С. Наройчяк,А. Николаев, М. О. Осовский, П. Я. Селиванов и В. К. Шкляревский аявител УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАН ДИАМЕТРА РАСТУЩЕГО КРИСТАЛЛА В ПРОЦЕССЕ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности к процессу получе. ния полупроводниковых материалов на установках бестигельной зонной плавки.Известно устройство для автоматического регулирования диаметра растуцего кристалла в процессе бсстигельной зонной плавки, состоящее из оптической системы с фотоприемником контроля диаметра кристалла, измерительного прибора и регулятора. Однако такое устройство не дает достаточно точного измерения диаметра кристалла.Целью предлагаемого изобретения является повышение точности регулирования процессов выращивания полупроводниковых кристаллов.Это достигается тем, что оптическая система снабжена приводом слежения за фронтом кристаллизации. Привод слежения включает фотоприсмник фронта кристаллизации, расположенный на проекционном экране, электронный усилитель и реверсивный двигатель, вал которого сочленен с двумя зеркалами, ось которых перпендикулярна линии плоскостей зеркал,Для устранения влияния загрязнения смотрового стекла на точность регулирования на проекционном экране дополнительно установлен корректирующий фотоприемник, визированный на разогретую часть кристалла и включенный противоположно фотоприемнику конт. роля диаметра растущего кристалла. 40На чертеже представлена принципиальнаясхема предлагаемого устройства,Устройство состоит из расплавленной зоны 1,.части слитка 2, фронта кристаллизации 8,.5 смотрового стекла 4, зеркала 5, линз 6, зеркал7, индуктора 8, проекционного экрана 9, фотоприемника контроля 10, фотоприемника 11фронта кристаллизации, корректирутощего фотоприемника 12, измерительного прибора 18,регулятора 14, дигаеля 15 схсатпя-растяхсения, задатчика 16, электронного усилителя 17,реверсивного двигателя 18 и кпнематичсскойсистемы 19.Устройство работает. следующим образом.15 Расплавленная зона 1 создается на небольшомучастке слитка 2 токами высокой частоты, протекающими по индуктору 8. Сжатие-растяхсенис зоны осуществляется двигателем 15 черезкипематичсскую систему 19, Посредством оп 20 тической системы, состоящей пз лпнз 6, зеркал5 и 7, через смотровое стекло 4 на проекционном экране 9 с фотоприемниками 10, 11 и 12проецируется перевернутое двойное изображение части слитка 2 вблизи фронта крпсталли 25 зацип 8, На фотоприемник 10 проецируютсяоба края профиля зоны 1, Изменение профилязоны регистрируется измерительным прибором18 с задатчиком 16. Выходной сигнал прибора13 поступает в регулятор 14, который управля 30 ет двигателем 15 сжатия-растяжения зоны до279598 Состаапт.ль Лтрос 5 пм 05Тс: род 3, И, Таранеяко Корр,ктор аедактор Т. Фаее О Тае 1 Ярак 480о;,е,:а., 55 зобретеппи я открыт:": прп СсаеМосква, Ж, Ратгпская яаб., и. 1/0т аказ 0810111 ИИПИ Ком:тета ПО,ЛПС .ОЕМ 5 истроп СССР. баастт ппораяпя Ксс"ОтСкОГО ,праппс;Пя по пе а 5 компенсации входного сигнала. На фотоприем-ник 11 проецируется фронт кристаллизации 3.-При изменении положения фронта кристаллизации изменяется освещенность фотоприемника 11. Сигнал с .фотоприемника поступает на вход усилителя 17 с реверсивным двигателем 18 на выходе. Реверсивный двигатель изменяст угол наклона зеркал 7 в вертикальной плоскости до компенсации рассогласования, т. е, возвращает проекцию фронта кристаллизации в первоначальное положение.Фотоприемник 12 применяется для уменьшения влияния загрязнения смотрового стекла в схемах контроля диаметра слитка и системы слежения. При изменении освещенности, что имееТ 3 есто Тщи загрязнении стекла, изменяется сиал, который снимается с фотоприемника 12 и поступает, как корректирующий, в схему регулирования диаметра. Предмет изобретения Л, Устройство для автоматического регули рования диаметра растущего кристалла в процессе бестигельной зонной плавки, состоящее из оптической системы с фотоприемником контроля диаметра, измерительного прибора и ре гулятора, отличающееся тем, что, с целью повышения точности регулирования, оптическая система снабжена приводом слежения за фронтом кристаллизации, причем привод слежения включает фотоприемник фронта кри сталлизации, расположенный на проекционномэкране, электронный усилитель и реверсивный двигатель, вал которого сочленен с двумя зеркалами, ось вращения которых перпендикулярна линии пересечения плоскостей зеркал.18 2, Устройство по п. 1, отличающееся тем,что, с целью устранения влияния загрязнения смотрового стекла на точность регулирования, на проекционном экране дополнительно установлен корректирующий фотоприемник, визн рованный на разогретую часть кристалла ивключенный противоположно фотоприемнику контроля диаметра растущего кристалла.