327942
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 327942
Текст
О П И С А Н И Е 327942ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистичесннх РесоублииКл. В 011 17( явлено 12.Х 11,1968 ( 1289042/22 с присосдшшцисм зПриоритетОпублшсовацо 02.1 5 т втс Комитет ио дел изобретений и открытий УДК 669.782,4:621,039. .337.531,717 (088.8 1972, Бюллетень М 6 лри Совете Министров СССРта опубликования описация 22.111.1972 Авторыизобретен ит Н. И. Аутеншлюс, В. В. Добров и И, Л, Шенде осударственный научно-исследо л редкометаллической иром енский, А. Я. Збарскийровичский и проектный институтности ГИРЕДМЕТ вате ышл аявитель ПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССАРИСТАЛЛИЗАЦИИ В УСЛОВИЯХ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙПЛАВКИ 2 создается высокочастотным индуктором 4.Верхняя часть заготовки является подплавляемой, а нижняя - кристаллизуемой,Гамма-излучение ог источника 5, пройдя 5 через соответствующие участки расплавленнойной зоцтя, попадает в приемники б радиоактивного излучения. При этом верхний и нижний пучки лучей проходят соответственно сквозь расположенные вблизи ицдуктора 10 участки расплавленцой зоны (птейтсу), и границы расплав - кристалл.На основании информации приемников буправляют мощностью энергии, подводимой к индуктору, и положением механизма рас тяжения-сжатия зоны соответственно черезрег зяторьт 7 и 8 измерение волизпв узкой се части энергии, подводижением механизма ПрСпособ20 процесса кртельной зонцие поперечся тем, что,гулпрованпя25 заданного дсечения зоньсталлизацицмощностьюи положение30 зоны. Изобретение касается области полупроводникового производства и может быть использовано при выращивании кристаллов методом бестигельной зонной плавки.Известен способ автоматического регулирования процессом кристаллизации методом бсстигельцой зоццой плавкц, осиоватшый па измерении поперечного сечения зоны. Однако известный способ обладает тем недостатком, что при регулировании це учитывается информация о состоянии зоны в наиболее узкой ее части.Цель изобретения - повысить точность регулирования при формировании кристаллов заданного диаметра.Для этого производятграницы кристаллизациии управляют мощностьюмой к индуктору, и полорастяжения-сжатия зоны.На чертеже представлен вариант радиоизотопного способа измерения.Одновременно производится измерение двух поперечных сечений зоны вблизи границы кристаллизации и в наиболее узкой ее части. Для этого могут быть использованы радиоизото нные, фотоэлектрические способы измерения.Внутри рабочей камеры 1 расположена заготовка 2 материала. Расплавленная зона 3 едмет изобрететияавтоматического регулирования исталлизации в условиях бестиной плавки, включающий измереного сечения зоны, отлтяающийс целью повышения точности репри формировании кристаллов иаметра, измерение поперечного т производят вблизи границы кри. и в экой ее части иправляют энергии, подводимой к индуктору, м механизма растяжения-сжатияСоставитель В. Лейбович сдактор Т. фадеева Техред 3. Тараненко Коррекгор О, Волко Заказ 668/9 Изд,191 Тираж 448 Подписи ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССГ Москва, Ж, Раушская паб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова,
СмотретьЗаявка
1289042
МПК / Метки
МПК: C30B 13/30
Метки: 327942
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-327942-327942.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">327942</a>
Предыдущий патент: 327941
Следующий патент: Мельница для мокрого размола мела, глины и подобных материалов
Случайный патент: Ручной инструмент