Способ автоматического регулирования процесса бвстигельной зонной плавки

1 т о тавтфнфеда1.:.=,;, ОтЕКа МЙА ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 2760 6 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависим от авт. свидетельства Ме4.Ч.1968 (Юо 1244410/22-1) аявлено Кл, 12 д, 17/08 инением заявки М с пр МПК В 01117 отлитет по де Приор изобретении и открытии при Совете Министров СССР, И. И, Лежебоков, С. С. Наройчи Осовский, П. Я. СеливановШкляревский Дегтярик, А, М. КисеА. А, Николаев, М,и В,ап вите ОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИте измерения отоприемник толучаемому в проекции зон диамстра слитк теже показана 1 зации способа шя процесса сзуль натуриая схематического реЗЬНОй ЗОННО" трк звтом естиге обозначения: итка 2, фронт но 4, линзы 6 ая система 10,измеритель- двигатель 19, срсивный двис зедлощиечасть слотровос окематическикп 12 - 16.ятор 18,21, рев9 Я теже данысиная зона1 зации д, смала 7 - 9, кифотоириембор 17, рсгу20, усилитеи индуктор Изобретение относится к области цветнои металлургии, в частности к процессу получения полупроводниковых материалов иа установках вертикальной бестигельной зониой плавки.Известен способ автоматического регулирования диаметра слитков при бестигельной зонной плавке при помоци сигнала, получаемого в результате измерения воздействия проекции зоны на фотоприемник контроля диаметра слитка.Целью изобретения является повышение точности регулирования процесса бестигельной зонной плавки. Это достигается тем, что на фотоприемник контроля диаметра слитка посредством следящей системы за фронтом кристаллизации проектируется профиль зоны, расположенный непосредственно у фронта кристаллизации.Предлагаемый способ основан на использовании свечения разогретого слитка, часть которого, около фронта кристаллизации, проектируется оптической системой на фотоприемник, Сущность способа состоит в том, что профиль расплавленной зоны на определенном узком участке около фронта кристаллизации поддерживается системой автоматического регулирования постоянным путем воздействия на механизм сжатия - растяжения зоны или на изменение мощности в зоне по сигналу,деиствия контроля На чер для реал гулирова плавки,На чер расплавл кристалл и 6, зерк экран 11,ный при задатчик гатель 22Расплавленная зона 1 создается на небольшом участке слитка 2 то 1.ами высокой частоты. протекающими по индуктору 23. Сжатие - растяжение зоны осуществляется двигателем 19 через кинематическую систему 10.Посредством оптическо 11 системы, состоящей из линз 6 - 6 и зеркал 7 - 9, через смотровое стекло 4 иа экран 11 проектируется исревер нутое двойиос изображение части слитка 2около фропа кристаллизации 3. На фото- приемник 14 копроля диаметра слитка просктируотся оба края профиля зоны 1. Изменение профиля зоны реп 1 стрируется измеритель иым прибором 17 с задатчиком 20."а сизиф , 276016 0 росим оставптел актор Б. Л. Корченк Текред Л. Я, Левина рректор Е. В. Фомина Заказ 2798/2ЦгИИПИ Комитета Тираж 480 Подписиелам изобретений и открытий прп Совете Министров СССосква, Ж, Раушская наб., д. 415 шографпи, пр. Сапунова В.кодгОй сигнал ириооря 17 пост,паст и вОд регулятора 18, который управляет дви. гятелем 19 сжатия - рястяжсигя зоны. 11 я ротоприеник 18 и 16 проектируется фронт крстяллизяции,3, При изксисиии ПОлОжеиия фронта кристаллизации изменяется освещен- гость этик фотоприемников. Сигнал с фотоприемников подается на вкод усилителя 21 с реверсивным двигателем 22 па вкоде, Реверсивный двигатель изменяет угол наклона зеркал 8 и 9 в вертикальной плоскости до компенсации рассогласования, т. е. возвращает ироекццо фронта кристаллизации в первоначальное положение.Таким образом, система слежения позьо. ляет иоддерживять ГроекциО фронта кристаллизации па фотоприсмшка в неизменном положении. Фотоприемники 12 и 15 предназначены дляуменшеи влияшя загрязнения смотрового стекла в скемак контроля диаметра слитка и системы слекения.5Предмет изобретенияСпособ автоматического регулирования процесса бестигельной зоииой плавки путем поддержания диаметра слитка постоянным при 10 помощи сигнала, получаемого в результатеизмерения воздействия проекции зоны на фотоприемник контроля диаметра слитка, Отл- наюи 1 ийся тем, что, с целью повышения точности регулирования, на фотоприемник коп троля диаметра слитка посредством следящейсистемы за фронтом кристаллизации проектируется профиль зоны, расположенный непосредственно у фронта кристаллизации.