Устройство для регулирования диаметра кристалла

ZIP архив

Текст

2 О 9412 Ссаз Советских Социалистических Рвспублинавт свичетельства висимо Кл 12 ь, 17l дь 1114999/2 явлено 21.Х 1.1 с присоединением заявки Ь ПК В О 11 Приорите Опублико Дата опу Иомитет по делам ивоооетеиий и открытипри Совете МинистровСССР УДК 621.365.58:669-17проектный институтнности аявител ледовательскии ческой промыш ноетал УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ ДИАМЕКРИСТАЛЛА Известно устройство для регулирования диаметра кристалла в процессе бестигельной зонной плавки, состоящие из оптической системы, установленного неподвижно фотоприемника, импульсного преобразователя и регулятора.Особенностью предложенного устройст ва является то, что его оптичеокая система включает в себя последовательно установленные па оптической оси две призмы, обращенные одна к другой параллельными основаниями, собирающу 1 о,и рассеивающую линзы и проекционный экран. Прн этом фотоприемник визирован на проекциопный экран и снабжен приводом вращения его в направлении продольной оси проецируемого изображения, а преобразователь выполнен с каскадом сравнения входного и эталонного импульсов по длительности. Зто дает возможность, повысить точечность стабилизации заданного диаметра.На чертеже изображена схема устройства для регулирования диаметра.Изображение раоплавленной зоны 1 кристалла 2 формируется объективом 3 со светофильтром 4, Размер изображения по высоте ограничивается щелевой диафрагмой 5. С помощью оптических призм б и 7, обращенных одна к другой параллельными основаниями,и линз 8 и 9 изображение преобразуется таким образом, что большая часть его середины вырезается, а периферийные части имеют увеличенный линейный масштаб.5 Преобразованное изображение проецируется на полупрозрачный проекционный экран 10, за плоскостью которого установлен фогоприемник 11, снабженный приводом 2, вращения его в горизонтальной плоскости, в,на правлении,продольной оси проецируемогоизображения. Скорость вращения фотоприемника должна быть больше скорости вращения кристалла с тем, чтобы изменение скорости вращения кристалла не влияло на точность 15 измерения диаметра.Фотоприемник 11 вырабатывает имгпульсыпрямоугольной формы, длительность которых зависит от изменений размера изображения диаметра расплавленной зоны, соответствую щего заданному диаметру кристалла. Импульсы поступают в преобразователь 13 с время-импульсной схемой измерения, вырабатывающий эталонный импульс и снабженный каскадом сравнения входного и эталонного 25 юипульсов. При отклонении величины диаметра от заданного значения на выходе каскада появляется сигнал разбаланса, по величине и полярности пропорциональный величине иЗаказ 5019 Тираж 530 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изооретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д, 4 Типография, пр. Сапунова, 2 знаку отклонения величины диаметра от заданного значения, который подаегся на вход электронного регулятора 14, вырабатывающего управляющие сигналы в цепи управления генератора 15 высокой частоты. При этом изменяется мощность высокочастотного поля в индукторе 16 и, следовательно, тепловые условия процесса, до установления вели- чипы диаметра, равной заданной.Устройство может быть применено и для автоматического регулирования диаметра кристалла по заданной программе. Предмет изобретения Устройство для регулирования диаметракристалла, например растущего кристалла, в процессе бестпгельной зонной плавки, включающее оптическую систему с фотоприемником, импульсныи преобразователь и регула тор, отличающееся тем, что, с целью повыше ния точности стабилизации заданного диаметра, оптическая система включает последовательно установленные на оптической оси дв( призмы, обращенныс одна к другой параллельными основаниями, собирающую и ряс сеивающую линзы и проекционный экран, причем фотоприемнпк визирован на проекционный экран и снабжен приводом вращения его в направлении продольной оси проецируемого изображения, а преобразователь выполнен с 15 каскадом сравнения входного и эталонногоимпульсов по длительности.

Смотреть

Заявка

1114999

Государственный научно исследовательский, проектный институт, редкометаллической промышленности

А. Е. Волп нский, В. И. Щипунов, В. И. Забелышенский, А. С. Чистов, А. Г. Лагутин, О. И. Каморин, Б. М. Миттельштейн, И. Макеев, И. Н. Воронов

МПК / Метки

МПК: C30B 13/30

Метки: диаметра, кристалла

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-209412-ustrojjstvo-dlya-regulirovaniya-diametra-kristalla.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для регулирования диаметра кристалла</a>

Похожие патенты