Патенты с меткой «327942»

Номер патента: 327942

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C30B 13/30

Метки: 327942

...к индуктору, и положением механизма рас тяжения-сжатия зоны соответственно черезрег зяторьт 7 и 8 измерение волизпв узкой се части энергии, подводижением механизма ПрСпособ20 процесса кртельной зонцие поперечся тем, что,гулпрованпя25 заданного дсечения зоньсталлизацицмощностьюи положение30 зоны. Изобретение касается области полупроводникового производства и может быть использовано при выращивании кристаллов методом бестигельной зонной плавки.Известен способ автоматического регулирования процессом кристаллизации методом бсстигельцой зоццой плавкц, осиоватшый па измерении поперечного сечения зоны. Однако известный способ обладает тем недостатком, что при регулировании це учитывается информация о состоянии зоны в наиболее узкой ее...