C23F 1/00 — Травление металлического материала химическими средствами
Способ удаления многослойного покрытия с поверхности алюминия
Номер патента: 1820920
Опубликовано: 07.06.1993
Авторы: Грошенко, Милюкова, Першина, Фаерман
МПК: C23F 1/00
Метки: алюминия, многослойного, поверхности, покрытия, удаления
...поверхности диска в пределах 0,1 мкм.Способ реализуется следующим обра1820920 Пример Раствор нновооьем,Темпе- Темпе.ратурв рвтура водм. травле- С нил, С Раствор окончательного травление. мас, ф Раствор НСооьем, мл Характеристики качества поее хности ЙвС НВ 1 Оа эдтд Наст НС Шероховатость. мкм вертиквл ное биение рвдив- твнгенльно циально 1:2 1: 2:Заказ 2041, : . Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 45 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, уп.Гагарина, 101 добный слой представляет собой углеродный слой со структурой кристаллической решетки алмаза (по данным рентгеновского микроанализа РЭМ -100 У и данным рентгеновского...
Устройство для плазмохимического травления материалов
Номер патента: 1573896
Опубликовано: 09.07.1995
Авторы: Будянский, Плетнев, Покроев, Фареник
МПК: C23F 1/00
Метки: плазмохимического, травления
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ, включающее диэлектрическую реакционную камеру, перфорированный металлический экранирующий элемент, подложкодержатель с пластиной, размещенный внутри реакционной камеры, отверстия для напуска и откачки газа и индуктор для возбуждения ВЧ-разряда, витки которого охватывают реакционную камеру, отличающееся тем, что, с целью увеличения скорости травления и повышения качества обработки путем уменьшения загрязнения поверхности образца продуктами распыления, экранирующий элемент расположен между витками индуктора и камерой и охватывает ее.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что металлические заземленные детали, составляющие экранирующий элемент, образуют проводящую поверхность,...
Раствор для травления хромоникелевых жаростойких сплавов
Номер патента: 1494565
Опубликовано: 27.11.2001
Авторы: Гурвич, Макарчук, Шубадеева
МПК: C23F 1/00
Метки: жаростойких, раствор, сплавов, травления, хромоникелевых
Раствор для травления хромоникелевых жаростойких сплавов, преимущественно для удаления никель(кобальт)-хром-алюминий-иттриевых покрытий, включающий соляную кислоту, хлорное железо и воду, отличающийся тем, что, с целью предотвращения растравливания основы, содержащей 4 - 7% хрома, при удалении покрытия, содержащего до 20% хрома, компоненты раствора берут в следующем соотношении, мас.%:Соляная кислота - 33,0 - 34,7Хлорное железо - 0,9 - 2,5Вода - Остальное