C01B 21/068 — с кремнием

Номер патента: 290531

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Иностранец, Иностранна, Кджозеф

МПК: C01B 21/068

Метки: кремния, нитрида

...который затем используют для изготовления изделий из нитрида кремния. Изделия можно получать и посредством прессования исходной смеси перед нагревом до требуемой формы. крем- еменПредмет из 10 1. Способ получения нит тем взаимодействия исходи повышенчой температуре, о что, с целью ускорения пр ведут в присутствии тонкои 15 рида кремния. 2, Способ по п, 1, отлич исходную смесь кремния и перед нагревом прессуют дорида кремния путх элементов при тличающийся тем оцесса, последний змельченного нитного крида1275 Си 100(,15 час ающиися тем, чтонитрида кремниятребуемой формы. Изобретение относится к способам получения нитрила кремния.Известен способ получения нитрила ния путем взаимодействия исходных эл тов при повышенной температуре.Основным...

Номер патента: 1696385

Опубликовано: 07.12.1991

Авторы: Боровинская, Кустова, Махонин, Мержанов, Попов

МПК: C01B 21/068

Метки: кремния, нитрида

...примерно 1500 С. После охлаждения реактора сбрасывают давление и извлекают продукт синтеза. Полученный продукт представляет собой нитрид кремния, содержащий 95. а -фазы и менее 0,05;ь непрореагировавшего кремния.Преимущ тво предлагаемого способа получения а -фазы нитрида кремния по сравнению с известным приведено в таблице,Иэ таблицы видно, что по преду способу выход а-Фазы нитрида1696385 2, Способ поп.1, отл ича ю щи йс ятем, что галогениды аммония вводят порознь или в смеси друг с другом,3. Способ по пп, 1 - 2, о т л и ч а ю щ и й 5 с я тем, что шихта в качестведобавкидополнительно содержит галогенид металла- )(групп при массовом соотнбшении галогенидов аммония к галогениду металла, равном1:(О,О 1-1),1 О 4,Способ по пп,1-3, отличаю...

Номер патента: 1696386

Опубликовано: 07.12.1991

Авторы: Власов, Захаров, Прилуцкий, Саркисян

МПК: C01B 21/068

Метки: кремния, нитрида

...соли железа, обрабатывают водным;:аствором аммиака для образо.1 ания гидрэокис"елеза, котОрая при разложени; превращаетск в оксид железа, служащий катаг:изатором, сушат при 100 С и подвергают тер,"лооа,эаоботке при 1300 - 1450 С в атмосфере азота. Предлагаемый способ в 23 раза сокращает время процесса получения нитрида кремния, не требует использования специвг.ьных печей. Введение катаг изг ора осаждением из водного раствора соли железа способствует равномерному распределению катализатора. 1 табл,течение 30 мин, при ещают в корундовые трубчатой печи в ток течение 4 ч, После охла родукт представляет н и порошка нитрид асса нитрида кремни а 20 - 40 мкм, диамет тем сушат вПорошок поми обжигают впри,1400 Сви отмывки исмесь волокония....

Номер патента: 1726373

Опубликовано: 15.04.1992

Авторы: Бартницкая, Власова, Ефименко, Косолапова, Курбакова, Людвинская, Сухих

МПК: C01B 21/068

Метки: кремния, нитрида

...окисляется не полностью, а при высоких - частично окисляется нитрид кремния, что ухудшает качество продукта.Способ осуществляют следующим образом.Рисовую шелуху обрабатывают в растворах азотсодержащих соединений при 20 - 100 С, а затем высушивают при 100 С. После высушивания обработанная рисовая шелуха становилась хрупкой и легко поддавалась измельчению. Азотирование проводилось при 1300 в 15 С.П р и м е р 1, 2 г рисовой шелухи, обработанной при комнатной температуре 25%-ным раствором гидроксида аммония и высушенной при 100 С и содержащей 3,8 мас.% азота, азотируют в течение 5 ч при 1400 С в потоке азота при скорости 100 см/мин. Содержание азота в продукте азотирования после отжига при 550 С в течение 15 мин составляло 37,5 мас.%,...

Номер патента: 1813707

Опубликовано: 07.05.1993

Авторы: Бартницкая, Власова, Гальчинецкая, Гордиенко, Курдюмов, Лычко, Молодцов, Момот, Островская, Сухих, Чистяков, Яковлева

МПК: C01B 21/068

Метки: кремния, нитрида

...преимущественно образовываться а =Я 1 зй.Азотированию в потоке азота подвергают кремний с содержанием примесей, мас,: Са 0,01; А 0,01; О 0,1; Ре 0,02.П р и м е р 1. 5 г шихты, полученной смешиванием 85 г кремния, размолотого в течение 1 ч в шаровой мельнице в жидком азоте(био=5,6 мкм, й р = 0,710 вс/г), с 15 г йНдС 1, азотируют при 1100 С в течение 6 ч. Содержание азота в продукте азотирования составляет 11,5 мас., а =Я 1 зй 4 70,П р и м е р 2, 5 г шихты, полученной смешиванием 85 г кремния, размолотого в течение 3 ч в шаровой мельнице в жидком азоте (бБо=0,7 мкм, й р =2,3910 с/г), с 15 г йН 4 С 1, азотируют при 1200 С в течение 4 ч. Содержание азота в продукте азотирования составляет 38,2 мас., а =31 зй 195.П р и м е р 3. 5 г шихты,...

Номер патента: 1836287

Опубликовано: 23.08.1993

Авторы: Аникин, Бунин, Карпов, Максимов, Миронов, Чемагин

МПК: C01B 21/068

Метки: азота, атмосфере, горения, кремния, нитрида, режиме, шихта

...За счет тепловыделения зкзотермической реакции фронт горения самопроизвольно распространяется по всей длине загрузки, Температура синтеза не превышает 1600 С и находится в интервале 1450- 1550 С в зависимости от состава шихты. После окончания процесса реакционную массу охлаждают до комнатной температуры, давление азота сбрасывают до атмосферного, Конечный продукт извлекают и анализируют,Разбавление шихты порошков Рзйд необходимо для предотвращения спекания частиц образующегося нитрида кремния и хорошей газопроницэемостью азота в объем шихты, а также для понижения температуры синтеза,Цинк и его соединения играют роль катализатора и способствуют:- формированию частиц 3 - Язй 4 сферической формы;- формированию Д-фазы 5 зй 4.В...

Номер патента: 1838233

Опубликовано: 30.08.1993

Авторы: Бунин, Карпов, Чемагин

МПК: C01B 21/068

Метки: азотсодержащем, газе, кремния, нитрида, шихта

...реакционная масса охлаждается, давление сбрасывают доатмосферного. Продукт подвергают рентгенофазному и химическому анализам.Добавление цинка или хлорида цинкаобеспечивает: разрыхление загрузки, способствующее доступу азота в объем загрузки и полному азотированию кремния;повышение выхода Р-фазы Язй 4 и формирование частиц 5 зй 4 в сферическую форму(Ксфер, = 0,95-0,98),Сферичность частиц определяют отношением длины к их ширине К = 1/б припросмотре порошка под микроскопом в количестве не менее 1000,П р и м е р 1. Берут порошок кремния,смешивают его с цинком в количестве 18%от массы кремния в течение 30 мии 20 гшихты загружают в реакционный сосуд, заполняют азотом до добавления 4 атм, помещают в трубчатую печь ивысокотемпературное...

Номер патента: 1568445

Опубликовано: 27.06.1995

Авторы: Варламов, Григорьев, Мержанов

МПК: C01B 21/068

Метки: кремния, нитрида, порошка, ультрадисперсного

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УЛЬТРАДИСПЕРСНОГО ПОРОШКА НИТРИДА КРЕМНИЯ, включающий обработку кремнийсодержащего соединения в атмосфере газа-носителя гидразином при 500 1700oС, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода продукта, в качестве кремнийсодержащего соединения используют тетраметилсилан при концентрации 0,2 93 об. и его объемном отношении к гидразину, равном 0,03 0,44.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что обработку осуществляют в атмосфере водорода и/или азота.

Номер патента: 1809585

Опубликовано: 20.07.1996

Авторы: Варламов, Григорьев

МПК: C01B 21/068, C01B 31/36

Метки: аморфного, кремния, материал, нитрида, основе, содержащего, углерод

...в 10-1000 раз, Тетраметилсилан является источником кремния и азота при фиксированном атомном соотношении между ними,Аморфный карбонитрид кремния обладает большей термостойкостью за счет образования новых связей между кремнием и углеродом. Материал на основе аморфного нитрида кремния, содержащего углерод, огпличающийся тем, что, с целью повышения химической стойкости и термостойкости, он П р и м е р. В реактор подают смесь тетраметилсилана и гидразина в атмосфере аргоноводородной смеси при Аг/(Н+Аг)=0,1, молярном соотношении ТМС/Г=0,2, это соответствует содержанию углерода 0,1, и общим давлении газовой смеси 500 торр, На нагретой до 1260 С подложке осаждается пленка аморфного карбонитрида кремния, Состав полученного карбонитрида...

Номер патента: 1584309

Опубликовано: 27.08.2003

Авторы: Варламов, Григорьев, Мукасьян, Самойленко, Шульга

МПК: C01B 21/068

Метки: аморфного, кремния, нитрида, пленки

1. Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния, включающий взаимодействие тетраметилсилана и азотсодержащего компонента на нагретой подложке в среде газа-носителя, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости процесса, в качестве азотсодержащего компонента используют гидразин при молярном отношении тетраметилсилан/гидразин, равном 0,05-10, и исходной концентрации тетраметилсилана в газе-носителе, равной 0,01-10,0 об.%.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве газа-носителя используют водород и/или азот.3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что подложку нагревают до 1000-1400oC.