Способ получения нитрида кремния

Номер патента: 1093175

Опубликовано: 23.04.1988

Авторы: Попов, Сухов

МПК: H01L 21/318

Метки: кремний-двуокись, кремния, кремния-нитрид, структур

...улучшения элекФрофизических параметров структур.Давление в реакторе при отжиге более 2 атм приводит к нарушению герметичности кварцевого реактора и невозможности реализации процесса. Использование металлических реакторов приводит к загрязнению структур ионами металлов и взаимодействию аммиака с материалом реактора при повышенной температуре процесса. Эксперименталь 35 ио показано, что отжиг структур при давлении аммиака 1-2 атм улучшает электрофизические параметры структур только при продолжительности отжига не менее 30 мин.Под улучшением электрофизических характеристик понимается увеличение крутизны вольт-фарадных характеристик структур Бх - ЯО- БхэМ, что является следствием уменьшения флуктуаций заряда и уменьшения величины...

Номер патента: 542095

Опубликовано: 05.01.1977

Авторы: Беркутов, Гиривенко, Парахин, Прошин, Рязанов

МПК: G01D 7/00

Метки: отображения, процесса, регистрируемого, формы

...частот блока управления, а управляющие входы коммутатора режимов - с выходами триггера блока управления, которые одновременно подключены О ко входу коммутатора частот блока управления,введены двухчастотный генератор, счетчик, дешифратор, двигатель, дополнительный коммутатор частот, сумматор, блок запрета, триггер и переключатель, причем средний вывод переключателя соеди нен с выходом делителя, вход которого подключенк й - ому входу распределителя и входу счетчика,выходы которого через дешифратор соединены с управляющими входами дополнительного татора частот, информационные входы которого О подключены к разным выходам двухчастотногогенератора, причем выход дополнительного коммутатора частот подключен к информационному входу...

Номер патента: 746188

Опубликовано: 05.07.1980

Автор: Авдеев

МПК: G01D 7/08

Метки: отображения, процесса, регистрируемого, формы

...8 установки адреса записи, имеющий Б информационных входов.С выхода вентиля 8 код адреса записи поступает в запоминающее устройство 4. Импульсом Останов счетчик 7 переключается в следующее состояние, обеспечивая циклическую смену областей памяти. Информация с тактовой частотой записи проходит через преобразователь 5 кодов на матричную индикаторную панель б. Одновременно с этим импульсы тактовой частоты записи с коммутатора 12 тактовых импульсов проходят через блок13 смещения на счетный вход распределителя 9 вертикальных шин. С помощью внутреннего счетчика распределителя создается горизонтальная развертка и на экране индикаторной панели высвечивается исследуемый процесс.При подаче команды Останов триггер 11 управления переключается в...

Номер патента: 941214

Опубликовано: 07.07.1982

Авторы: Андреев, Батюшко, Десятник, Пушкин

МПК: B41F 7/24

Метки: печати, печатной, плоской, процессе, увлажнения, формы

...печатной формы осуществлять по результатам сравненияЗО указанных скоростей, 941214На чертеже изображена структурная схема устройства для реализации способа.Глянцметр представляет собой электронно-оптическую систему, состоящую из осветителя 1, фотоприемника 2, оптических 5 элементов 3, усилителя 4 сигнала.Глянцметр устанавливают на печатной машине таким образом, чтобы контролировать участок печатной формы 5. Периодически в соответствии с общей циклич постыл в системе измеряют сигнал на фотоприемнике 2 за 5 - 10 печатных, циклов и в вычислительном устройстве б вычисляют среднее значение глянца в Й-ом цикГле опРоса срЗатем измеРЯют и вычие З ляют за 5 - 1 О циклов среднее значение глянца в /г+1-ом цикле опроса Г,Вычисляют разность...

Номер патента: 974126

Опубликовано: 15.11.1982

Авторы: Дворецкий, Кожухов

МПК: G01D 7/00

Метки: отображения, процесса, регистрируемого, формы

...преобразователя 10 через входной коммутатор 1 и коммутатор канала 13 поступает прецизионное линейно нарастающее напряжение. Пилообразное напряжение проходит тот же процесс масштабно-временного преобразования, что и входной сигнал в режиме "Запись". С выхода АЦП 3 цифровой код, соответствующий мгновенному значению пилообразного напряжения, поступает лишь на компара тор кодов 11На вход запоминающего устройства 5 с ЦАП 10 через соответствующий канал коммутатора режимов поступает код мгновенного значения амплитуды 40 пилообразного напряжения, На второй вход компаратора кодов 11 поступает код первой записанной ординаты.При совпадении кодов что соответствует совпадению амплитуды пилообразного 45 напряжения и мгновенной амплитуды входного...