Патенты с меткой «азотсодержащем»
Шихта для получения нитрида кремния в азотсодержащем газе
Номер патента: 1838233
Опубликовано: 30.08.1993
Авторы: Бунин, Карпов, Чемагин
МПК: C01B 21/068
Метки: азотсодержащем, газе, кремния, нитрида, шихта
...реакционная масса охлаждается, давление сбрасывают доатмосферного. Продукт подвергают рентгенофазному и химическому анализам.Добавление цинка или хлорида цинкаобеспечивает: разрыхление загрузки, способствующее доступу азота в объем загрузки и полному азотированию кремния;повышение выхода Р-фазы Язй 4 и формирование частиц 5 зй 4 в сферическую форму(Ксфер, = 0,95-0,98),Сферичность частиц определяют отношением длины к их ширине К = 1/б припросмотре порошка под микроскопом в количестве не менее 1000,П р и м е р 1. Берут порошок кремния,смешивают его с цинком в количестве 18%от массы кремния в течение 30 мии 20 гшихты загружают в реакционный сосуд, заполняют азотом до добавления 4 атм, помещают в трубчатую печь ивысокотемпературное...