Материал на основе аморфного нитрида кремния, содержащего углерод
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
1809585 ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ Изобретение относится к неорганической химии тугоплавких соединений, в частности к способам получения материала на основе кремния, азота и углерода.Целью изобретения является повышение химической стойкости и термостойкости материала.Это достигается тем, что аморфный однофазный карбонитрид кремния имеет следующий состав Б 1 О бй, 4 С, где Х=0,06- 0,16Сущность изобретения заключается в создании аморфного однофазного карбонитрида кремния с применением в качестве кремний-, углерод- и азотсодержащих компонент смеси тетраметилсилана (ТМС) и гидразина (Г) в токе газа носителя водорода и/или аргона,Введение углерода в состав продукта приводит к уменьшению его плотности, Увеличение содержания углерода приводит к увеличению стойкости материала в агрессивных средах. Повышение содержания углерода16 приводит к потере однофазности и образованию двухфазного продукта (карбонитрида кремния и карбида кремния).Использование в качестве исходных компонент гидразина и тетраметилсилана обусловлено тем, что гидразин является азотсодержащим соединением, при пиролизе которого образуются чрезвычайно активные радикалы, влияющие на одно фаз ность и аморфность продукта, за счет возрастания скорости роста пленки в 10-1000 раз, Тетраметилсилан является источником кремния и азота при фиксированном атомном соотношении между ними,Аморфный карбонитрид кремния обладает большей термостойкостью за счет образования новых связей между кремнием и углеродом. Материал на основе аморфного нитрида кремния, содержащего углерод, огпличающийся тем, что, с целью повышения химической стойкости и термостойкости, он П р и м е р. В реактор подают смесь тетраметилсилана и гидразина в атмосфере аргоноводородной смеси при Аг/(Н+Аг)=0,1, молярном соотношении ТМС/Г=0,2, это соответствует содержанию углерода 0,1, и общим давлении газовой смеси 500 торр, На нагретой до 1260 С подложке осаждается пленка аморфного карбонитрида кремния, Состав полученного карбонитрида соответствует формуле Б 1 О,МСО,. Скорость травления в НР при комнатной температуре 0,2 мкм/ч,При концентрации углерода меньше 0,06 полученный продукт является Р нитридом кремния,Образование карбонитрида кремния доказано с использованием локального рентгена- спектрального анализа (ЛРСА), данными инфракрасной (ИК) и РАМАН-спектроскопии, ЛРСА дает элементный состав полученного конденсированного продукта: кремний (Б 0 азот (И) и углерод (С), С помощью ИК-спектроскопии идентифицированы связи Б 1-С и Б 1-Х, РАМАН-спектры показывают отсутствие механической смеси нитрида и карбида кремния,В таблице представлены составы карбонитрида по изобретению, а также их физические и химические свойства,Из представленных в таблице данных следует, что изобретение позволяет получить однофазный аморфный карбонитрид кремния, имеющий высокую химическую стойкость (скорость травления в НР при комнатной температуре 0,03-0,3 мкм/ч) и термическую стойкость (температура разложения в вакууме 2000-2500 С), Полученный аморфный карбонитрид кремния имеет плотность 2,23- 2,75 г/см и удельное электросопротивлениез(1-11)10 Омфсм,представляет собой однофазный карбонитридкремния и имеет состав, соответствующийследующей формуле: Б 1 об 1 Ч С, где х=0,060,16,
СмотретьЗаявка
4842738/26, 26.06.1990
Институт структурной макрокинетики
Варламов А. Г, Григорьев Ю. М
МПК / Метки
МПК: C01B 21/068, C01B 31/36
Метки: аморфного, кремния, материал, нитрида, основе, содержащего, углерод
Опубликовано: 20.07.1996
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1809585-material-na-osnove-amorfnogo-nitrida-kremniya-soderzhashhego-uglerod.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Материал на основе аморфного нитрида кремния, содержащего углерод</a>
Способ выделения фреона-11 из продуктов гидрофторирования четыреххлористого углерода
Номер патента: 487053
Опубликовано: 05.10.1975
Авторы: Боровнев, Голубев, Жукова, Романов, Уткин
МПК: C07C 19/08
Метки: выделения, гидрофторирования, продуктов, углерода, фреона-11, четыреххлористого
...НРпень использования фтористого водорода, исостав органической фазы путем хроматографии. Результаты опытов приведены в табл.1.П р имер 2. В колонку диаметром 15 мм,20 заполненную стеклянной насадкой на высоту84 см, протнвотоком подают газовую смесь,состоящую из хлористого водорода и фреонав отношении 1: 1 с примесью фреона,и четыреххлористый углерод. Скорость подачи25 газовой смеси 60 л,час. Результаты опытовприведены в табл, 2,ер 3. В реактор емкостью 4 л, снабобратным холодильником с редуцивентилем, загружают 1 л четырех 3 го углерода и 1 л пятихлористой487053 Таблица 1 Состав сырца, вес, ц Соотюшение Расход фтористого водорода,моль/гасТемпературав реакторе, "С НС100, %НС 1+ Нг четыреххдористый угзерод фреонфреон58,5 57,0 59,5 56,0...
Состав для осаждения пиролитического углерода
Номер патента: 674980
Опубликовано: 25.07.1979
Авторы: Колупаева, Кудрявцев, Лысенко, Чухина
МПК: C01B 31/02
Метки: осаждения, пиролитического, состав, углерода
...8 мм и длиной 3 мм, изготовленный иэ графита марки ГМЗ. Образец помещают между двумя медными электродами и подвергают циклическому нагреву до 950 С эа 2,5 с прямым пропусканием электрического тока через образец, Затем образец охлаждают до 30-100 С.Продолжительность охлаждения образца в растворе между циклами нагрева в среднем составляла 50 с.За 70 циклов нагрев-охлаж привес образца составил 12,8 что соответствовало скорости24 оф 0 Формула из Обретени я Составитель .8, ИВанов Редактор Т. Иванова ТэхредЛ. Алферова Корректор Е. ЛукачЗаказ 4214/16 а Тираж 590 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ПП атент 1, г. ужгород, ул. Проектная, 4/ 3ния 330 мг/см...
Состав для окисления окиси углерода в газах
Номер патента: 1327941
Опубликовано: 07.08.1987
Авторы: Андреева, Гостев, Гришина, Рогаткин
МПК: B01D 53/02, B01D 53/62, B01D 53/82
Метки: газах, окиси, окисления, состав, углерода
...смесь влажностью 70% с начальной концентрацией СО, равной 0.,5 мг/л, пропускают через слой 5 см состава при температуре 150 С, расход гаэовоздушного потока 100 см/мин, степень окисления СО через 90 мин при 150 С составила 98,2%.Пример 2. Состав полуцают следующим образом, К 162,8 г просеянного через сито 0,1 мм порошка 10 добавляют 46,2 г ПГА, порошки тщательно перемешивают, для придания смеси пластичности добавляют 32 мл воды, снова тщательно перемешивают и затем формуют на шнек. прессе с лиаметром фильеры 1,5 мм. Полученные гранулы подвергают термообработке снацала при 110 С в течение 4-х ц, а затем при 200 С в течение 4-х ц. Расчетное содержание компонентов в готовых гранулах: 10 80 мас,%, ПГА 20 мас.%.Гаэовоздушную смесь с влажностью...
Способ ведения доменного процесса с обратным вдуванием в печь продуктов окисления углерода
Номер патента: 43015
Опубликовано: 31.05.1935
Автор: Косоговский
МПК: C21B 5/00
Метки: вдуванием, ведения, доменного, обратным, окисления, печь, продуктов, процесса, углерода
...к продуванию через существующие фурмы.В видоизменении указанного способа колошниковый газ частично идет на нагрев в каупере или ином нагревающем дутье агрегате, и частично пропускается под давлением через жидкость в закрытом сосуде, поглощающую СО и СО 2 (напр, солянокислый раствор полухлористой меди), Можно также сперва пропускать через жидкость, поглощающую один газ, затем - через жидкость, поглощающую другой газ. Жидкости с поглощенными газами переливаются в другие сосуды с пониженным давлением, так что при этом выделяются СО и СО которые после подогрева в домну в область раска жидкости же возвращают сосуды, где они вновь нас давлением СО и СО, П образом можно вести непр 1. Способ ведения доменного процесса с обратным...
Состав пищевого продукта
Номер патента: 1834647
Опубликовано: 15.08.1993
МПК: A23L 1/236
Метки: пищевого, продукта, состав
...завершение реакций обычно тратится от 1 до 24 ч. В соответствии с любым из предыдущих способов синтеза целевые вещества рекомендуется выделять из реакционных смесей методом кристаллизации. Или же, можно также использовать метод хроматографии (обычной или с обращением фаэ), метод эк 10 15 20 25 30 35 40 45 50 стракции жидкость/жидкость и некоторые другие.Желаемые соединения формулыобычно получают в виде свободной кислоты; их можно также выделить в виде их физиологически приемлемых солей, например в виде соответствующих аминосолей, т.е. в виде следующих соединений гидрохлорида, сульфата, гидросульфата, нитрата, гидробромида, гидроиодида, фосфата или гидрофосфата; или в виде солей щелочного металла, например натрия, калия, лития или не...
Предыдущий патент: Способ модифицирования поверхности резинотехнических изделий из термостойких резин
Следующий патент: Устройство для непрерывного изготовления криволинейных труб из композиционных материалов
Случайный патент: 157569