Патенты с меткой «микроинтерферометр»

Номер патента: 80251

Опубликовано: 01.01.1949

Автор: Захарьевский

МПК: G01B 11/30, G01B 9/02

Метки: микроинтерферометр

...применения оолеесильных микрообъективов, его интерферометрическая часть выполнена из двух плоских пластинок, разделенных слоем воздуха и расположенных параллельно или под малымуглом одна к другой.На фиг. 1 схематично изображенмикроинтерферометр с осветителемв разрезе; на фиг. 2 - ход лучей винтерферометре; на фиг. 3, 4 и 5 -различные варианты осуществления18 к интерференции света при помощи плоско-параллельных пластинок.Осветитель 1 (фиг. 1) отбрасывает луч света через микрообъектив 2 и интерферометр 3 на испытуемую поверхность 4, В зависимости от характера этой поверхности в картинной плоскости 5 будут наблюдаться ннтерференционные поло, сы в белом свете.Интерферометр 3 состоит из полупрозрачного слоя 6 и небольшого зеркального...

Номер патента: 339770

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Коломийцов, Новикова

МПК: G01B 9/02

Метки: линейных, микроинтерферометр, перемещений, поверхности

...зрачка микрообъектива 5 и расположенный так, что ребро его перпендикулярно оси мпкрообъектива 5 и параллельно оси микрообьектива б, и компенсационную ,плоскопараллельную пластину 10, перекрывающую половину зрачка микрообъектива б. Работает микроинтерферометр следующим образом.Выходящий из объектива коллиматора параллельный,пучок лучей разделяется кубиком на два пучка, которые микрообъективами 5 и б собираются на,поверхности эталонного зеркала и поверхности контролируемой детали 11, образуя изображение светящегося верстия 3. Отраженные пучки света идут ратно по прежним направлениям, соединяю разделительным кубиком и попадают в 3 тельную трубу, в фокусе которой наблюдают интерференционную картину.Для получения интерференции вте...

Номер патента: 579537

Опубликовано: 05.11.1977

Авторы: Коваль, Колпаков, Кучин

МПК: G01B 9/02

Метки: микроинтерферометр

...2 смеханизмом 3 фокусировки и интерферен ционную пластину 4.Интерференционная пластина 4 сравнения через держатель 5 укреплена наплоской пружине 6 с возможностью разворота вокруг оси, перпендикулярной 30 плоскости чертежа и проходящей черезобъектив 10. Второй конец пружины 6 закреплен с цилиндрическим наконечником 7 ось которого А-А лежит в рабо чей плоскости Б интерференционной пластины 4 и перпендикулярна ее рабо чему ребру, проходящему через точку К перпендикулярно плоскости чертежа. Ось наконечника 7 и подшипник 8 способствуют развороту интерференционной пластины 4 вокруг оси А-А до совмещения ребра с плоскостью исследуемой детали 9, Это, а также выполнение интерференционной пластины в виде многоугольника позволяют...

Номер патента: 750273

Опубликовано: 23.07.1980

Авторы: Веснина, Кучин, Литвинова

МПК: G01B 11/30

Метки: микроинтерферометр, поверхностей, шероховатости

...один иэ которых проходит через светоделитель 5, другой отражается от него, Пучок лучей, прошедший через светоделитель 5, собирается объективом 9 в его фокусе на элементе 11 с поверхностью сравнения, Пучок лучей, отраженный от светоделителя 5, собирается в фокусе обьектива 6 на контролируемой поверхности 15. Пучки, отраженные от исследуемой поверхности 15 и поверхности сравнения элемента 11 идут обратно по тем же направлениям и, соединяясь насветоделителе 5, интерферируют, образую изображение интерференционных полос в бесконечности. для получения интерференционных полос конечной ширины выходные зрачки 7 и 10 обеих ветвей интерферометра должны быть разведены друг относительно друга, и тогда интерференционные полосы, возникающие в...

Номер патента: 1413417

Опубликовано: 30.07.1988

Авторы: Солодухо, Шмаев

МПК: G01B 11/30

Метки: микроинтерферометр, поверхности, шероховатости

...в одной ветви, четвертьволновуюпластинку 6, микрообъектив 7 и референтное зеркало 8, последовательно установленные в другой ветви, зрительную трубу 9 и расположенный по ходуизлучения перед ней компенсатор 10Сенармона.Микроинтерферометр работает следующим образом,Пучок света выходит из коллиматора2, проходит поляризационный светофильтр 3 (плоскость колебания пучкасовпадает. с плоскостью чертежа, чтоусловно показано стрелками) и свето 35делителем 4 в виде плоскопараллельной пластинки делится на два пучка,идущих в рабочую ветвь и ветвь сравнения. Пройдя через микрообъектив 5и отразившись рт измеряемой поверхности 11, световой пучок выходит израбочей ветви микроинтерферометра,сохранив направление плоскости поляризации, Световой...

Номер патента: 1677506

Опубликовано: 15.09.1991

Автор: Кайнер

МПК: G01B 9/02

Метки: микроинтерферометр

...установленных по ходу пучка лучей источника 1 света конденсора 2, диафрагмы 3, светоделителя 4, микрообъектива 5, плоского отражателя 6, микрообьектива 7, оптически связанного с диафрагмой 3 через светоделитель 4, микроскоп 8, оптически связанный с микрообъективами 5 и 7 через светоделитель 4, предметный столик (на чертеже не показан), предназначенный для размещения контролируемого объекта 9 и оптически связанный с микрообьективом 7, направляющую 10, неподвижная часть которой жестко скреплена с микрообъективом 7, и отражатель 11, скрепленный с подвижной частью направляющей так, что его поверхность перпендикулярна оптической оси микрообъектива 7. Пучки лучей источника 1 света собираются конденсором 2 на диафрагме 3 и затем разделяются...