Микроинтерферометр для измерения шероховатости поверхности
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
1413417 Благодаря поляризационному светофильтру 3, помещенному в осветительную часть микроинтерферометра, включается четвертьволновая пластинка иэ рабочей ветви микроинтерферометра и используется в качестве светоделителя 4 стандартная разделительная плоскопараллельная пластинка, что упрощает и удешевляет микроинтерферометр, повышает точность измерения. Формула и э о б р е т е н и я Составитель Л.Лобзова Редактор А.Маковская . Техред А.Кравчук Корректор Э,Лончакона Заказ 3782/41 Тираж 680 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь-зовано, в частности, для измеренияшероховатости поверхности.Цель изобретения - повышение точности измерения путем повышения качества изображения (путем устранениямногократных отражений в светоделительной призме), повышения разрешающей способности, а также измеренияразности фаэ вместо разности хода.На чертеже представлена оптическая схема микроинтерферометра.Микроинтерферометр содержит последовательно расположенные на однойоптической оси источник 1 света, коллиматор 2, поляризационный светофильтр 3, светоделитель,4 для разделения излучения на две ветви, выполненный в виде плоскопараллельной .пластинки, микрообъектив 5, установленный в одной ветви, четвертьволновуюпластинку 6, микрообъектив 7 и референтное зеркало 8, последовательно установленные в другой ветви, зрительную трубу 9 и расположенный по ходуизлучения перед ней компенсатор 10Сенармона.Микроинтерферометр работает следующим образом,Пучок света выходит из коллиматора2, проходит поляризационный светофильтр 3 (плоскость колебания пучкасовпадает. с плоскостью чертежа, чтоусловно показано стрелками) и свето 35делителем 4 в виде плоскопараллельной пластинки делится на два пучка,идущих в рабочую ветвь и ветвь сравнения. Пройдя через микрообъектив 5и отразившись рт измеряемой поверхности 11, световой пучок выходит израбочей ветви микроинтерферометра,сохранив направление плоскости поляризации, Световой пучок, попадающийв ветвь сравнения, проходит черезчетвертьволновую пластинку 6, микрообъектив 7 и попадает на референтноезеркало 8. Отраженный от референтного зеркала 8 пучок проходит через микро- объектив 7 и пластинку 6, после чего плоскость колебаний его оказывается повернутой на 90 , т.е. лежит в плосокости, перпендикулярной чертежу (условно показано точкой). При наложении световых колебаний, вышедших из обеих ветвей микроинтерферометра, получается, что результирующее колебание имеет разность фаз, пропорциональную глубине неровности на измеряемой поверхности 11. Результирующий пучок попадает в компенсатор, 1 О Сенармона, с помощью которого измеряется разность фаз меж" ду двумя ветвями микроинтерферометра. Микроинтерферометр для измерения шероховатости поверхности, содержащий последовательно расположенные на одной оптической оси источник света, коллиматор, светоделитель для разделения излучения на две ветви, микро- объектив, установленный в одной ветви, четвертьволновую пластинку, микрообъектив и референтное зеркало, последовательно установленные в другой ветви, зрительную трубу и расположенный по ходу излучения перед ней компенсатор Сенармона, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения, он снабжен поляризационным светофильтром, установленным между коллиматором и светоделителем, а последний выполнен в виде плоскопараллельной пластинки.
СмотретьЗаявка
4219831, 19.02.1987
Ф. М. Солодухо и И. В. Шмаев
СОЛОДУХО ФАИНА МОИСЕЕВНА, ШМАЕВ ИГОРЬ ВЛАДИМИРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/30
Метки: микроинтерферометр, поверхности, шероховатости
Опубликовано: 30.07.1988
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1413417-mikrointerferometr-dlya-izmereniya-sherokhovatosti-poverkhnosti.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Микроинтерферометр для измерения шероховатости поверхности</a>
Способ контроля отклонения формы поверхности объектов в виде тела вращения
Номер патента: 1516761
Опубликовано: 23.10.1989
Автор: Исламов
МПК: G01B 7/28
Метки: виде, вращения, объектов, отклонения, поверхности, тела, формы
...стремятся изменить угловое или линейное положение объекта 3 в отвержденной ферромагнитной жидкости, При этом измеряют величины силового воздействия, вызывающего смещение из начального углового или линейного положения объекта и эталонного образца соответственно. После прекращения воздействия магнитного поля на Ферромагнитную жидкость 2 происходит восстановление ее свойств, благодаря чему возможно извлечение из нее объекта 3 или эталонного образца.Об отклонении формы поверхности Объекта контроля от поверхности идеального тела вращения (эталонного образца) судят по разности величины силового воздействия, вызывающего смещение из начального линейного (или углового) положения этого объекта и эталонного образца, Например, об...
Микроинтерферометр для контроля шероховатости поверхностей
Номер патента: 750273
Опубликовано: 23.07.1980
Авторы: Веснина, Кучин, Литвинова
МПК: G01B 11/30
Метки: микроинтерферометр, поверхностей, шероховатости
...один иэ которых проходит через светоделитель 5, другой отражается от него, Пучок лучей, прошедший через светоделитель 5, собирается объективом 9 в его фокусе на элементе 11 с поверхностью сравнения, Пучок лучей, отраженный от светоделителя 5, собирается в фокусе обьектива 6 на контролируемой поверхности 15. Пучки, отраженные от исследуемой поверхности 15 и поверхности сравнения элемента 11 идут обратно по тем же направлениям и, соединяясь насветоделителе 5, интерферируют, образую изображение интерференционных полос в бесконечности. для получения интерференционных полос конечной ширины выходные зрачки 7 и 10 обеих ветвей интерферометра должны быть разведены друг относительно друга, и тогда интерференционные полосы, возникающие в...
Способ измерения шероховатости поверхностей прозрачных плоскопараллельных пластин
Номер патента: 1585673
Опубликовано: 15.08.1990
Авторы: Ангельский, Максимяк
МПК: G01B 11/30
Метки: пластин, плоскопараллельных, поверхностей, прозрачных, шероховатости
...поверхность пластины 7, Измеряют значения 1кеЧ мкс1 иини ц аналогично предыдущим:измеминрениям. Расчитывают среднеквадратичные отклонения профиля от базовой линии К и и Кповерхностей3пластины из соотношений: Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в оптическом приборостроении,машиностроении и других отраслях науки и техники для измерения шероховатости поверхности.Цель изобретения - повышение точности измерения и расширение диапа. зона измеряемых высот в сторону мень Оших знаений.На чертеже изображена принципиаль-,ная схема устройства, реализующегоописываемый способ,Устройство содержит одномодовый 15лазер 1, телескопическую систему 2,гениометр 3, объектив 4, диафрагмуи фотоэлектронный блок б...
Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей
Номер патента: 996857
Опубликовано: 15.02.1983
Авторы: Ибрагимов, Ларионов, Лукин, Мустафин
МПК: G01B 11/24, G01B 9/021
Метки: интерферометр, оптических, поверхностей, формы
...13 с плоскостью голограммного компенсатора 9,Иитерферометр работает следующимобразом.Излучение лазера 1 расширяется телескопической системой 2, проходит светоделитель 3 и зеркалами 10 и 11 направляется на голограммный компенсатор 9. 66Часть излучения восстанавливает с компенсатора 9 волну а 1 сравнения, а другая часть возвращается плоским зеркалом 12 вновь на компенсатор 9 и восстанавливает волну, идентичную 65 волне а, но распространяющуюся впротивоположном ей направлении.Волна, идентичная волне а, проходит проекционный объектив 8, положительную оптическую систему 7 ипадает на контролируемую поверхность13 по нормалям к ней,Отразившись от поверхности 13,волна проходит элементы 7 и 8 рабо-чей ветви интерферометра, а...
Способ управления фокусировкой электронного пучка
Номер патента: 1540985
Опубликовано: 07.02.1990
МПК: B23K 15/00
Метки: пучка, фокусировкой, электронного
...изделия можно считать плоским). Геометрические параметры (угол сходимости 2(, расстояние К от точки сходи- мости до середины электромагнитной катушки, выполняющей второе преломление) задаются предварительно. Точки А и В пересечения траектории, описанной на поверхности изделия 6 двукратно преломленным пучком 5, со стыком фиксируются с помощью, например, датчиков вторичных электронов 4, имеющих малую зону обзора в окрестности стыка. Датчики (Р; и Р;), зафиксировавшие факт пересечения стыка, запоминаются в вычислительном устройстве 2. Электронный пучок 7 малого тока, преломленный на одном уровне и развернутый по круговому закону с помощью отклоняющих электромагнитных катушек 1, управляемых вычислительным устройством 2, сканирует наклонную...
Предыдущий патент: Устройство для измерения деформаций
Следующий патент: Способ измерения шероховатости
Случайный патент: Способ получения производных 3, 1-бензоксазинона-4