Микроинтерферометр

(51)5 6 О ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ тел ьскии тв измеферометры.ышленности мерительованодля аюке геоелью изоточности ния дестаьтаты иэа 1 света фрагме 3 лем 4 на ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Всесоюзный научно-исследоваи конструкторский институт средсрения в машиностроении(57) Изобретение относится к изной технике и может быть испольэконтроля микроперемещений, а тметрической формы объектов. Цбретения является повышениеконтроля за счет исключения влиябилизирующих факторов на реэулмерения, Пучки лучей источниксобираются конденсором 2 на диаи затем разделяются светоделите два пучка лучей, один из которых проходит через микрообъектив 5 и отражается от.плоского отражателя 6, а второй проходит через микрообъектив 7 и одна часть его отражается от контролируемого объектива 9, а вторая - от отражателя 11. Затем пучки лучей проходят через микрообъектив 7 и посредством микроскопа 8 можно регистрировать две интерференционные картины, одна иэ которых соответствует пучкам лучей, отразившимся от контролируемого объекта 9, а вторая - от отражателя 11. Перемещением отражателя 11 посредством направляющей 10 подгоняют" их по положению и ширине интерференционных.полос. По взаимному смещению интерференционных полос определяют положение или величину перемещения контролируемого объекта, а сопоставляя формы интерференционных полос оценивают отклонение формы контролируемого обьекта от номинального значения, 1 ил,Заказ 3105 Тираж 363 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля микроперемещений, а также геометрической формы объектов .Цель изобретения - повышение точности контроля за счет исключения влияния дестабилизирующих факторов на результаты измерения,На чертеже представлена функциональная схема микроинтерферометра.Микроинтерферометр содержит источник 1 света, интерференционный узел в виде последовательно установленных по ходу пучка лучей источника 1 света конденсора 2, диафрагмы 3, светоделителя 4, микрообъектива 5, плоского отражателя 6, микрообьектива 7, оптически связанного с диафрагмой 3 через светоделитель 4, микроскоп 8, оптически связанный с микрообъективами 5 и 7 через светоделитель 4, предметный столик (на чертеже не показан), предназначенный для размещения контролируемого объекта 9 и оптически связанный с микрообьективом 7, направляющую 10, неподвижная часть которой жестко скреплена с микрообъективом 7, и отражатель 11, скрепленный с подвижной частью направляющей так, что его поверхность перпендикулярна оптической оси микрообъектива 7. Пучки лучей источника 1 света собираются конденсором 2 на диафрагме 3 и затем разделяются светоделителем 4 на два пучка лучей, один иэ которых проходит через микрообъектив 5 и отражается от плоского отражателя 6, а второй проходит через микрообъектив 7 и одна часть его отражается от контролируемого объекта 9, вторая - от отражателя 11. Затем пучки лучей проходят через микрообъектив 7. Посредством микроскопа 8 регистрируются две интерференционные картины, одна иэ которых соответствует пучкам лучей, отразившимся от контролируемого объекта 9, а другая - от отражателя 11. При контроле формы контролируемогообьекта 9 в качестве отражателя 11 можетбыть использован образец - аналог контролируемого объекта 9,5 Перемещением отражателя 11 посредством направляющей 10 подгоняют их поположению и ширине интерференционныхполос соответствующих контролируемомуобьекту, По взаимному смещению интерфе 10 ренционных полос определяют положение(величину перемещения) контролируемогообьекта, а по сопоставлению формы интерференционных полос оценивается отклонение формы контролируемого объекта от15 номинального значения.Предложенный микроинтерферометробеспечивает более высокую точность измерения за счет исключения влияния дестабилизирующих Факторов на результаты20 измерения вследствие создания независимой регулируемой системы интерференционных полос, выполняющих функциюотсчетных элементов,25 Формула изобретенияМикроинтерферометр, содержащий источник света, интерференционный узел в виде последовательно установленных по ходу пучка лучей источника света, конденсора, 30 диафрагмы светоделителя, первого микрообъектива, плоского отражателя, второго микрообьектиеа, оптически связанного с диафрагмой через светоделитель, микроскоп, оптически связанный с микрообьекти вами через светоделитель, предметныйстолик для размещения контролируемого обьекта, оптически связанный со вторым микрообъективом, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности контроля, 40 он снабжен направляющей, неподвижнаячасть которой жестко скреплена с вторым микрообьективом, отражателем, скрепленным с подвижной частью направляющей так, что его поверхность перпендикулярна 45 оптической оси второго микрообъектива,