Микроинтерферометр для измерения линейных перемещений поверхности

339770 Союз Советова Сониалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельства7,1.1970 ( 1392713/25-28 л, б 01 Ь 9/О аявле исоединением заявкиПриорит Комитет по делаМ изобретений и аткрытйй при Совете Министров СССР, Бюллетень17исания 21 Ч 1,1972 бликовано 24.Ч. Дата опубликован Авторызобретен Ю. В, Коломий. В. Новико аявите ЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЬПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ И от- обтся ри белом све- выравниваИзобретение относится к области измерительной техники и предназначено для особо точных измерений смещения контролируемой детали.Известен микроинтерферометр для измере ния линейных перемещений, поверхности, содержащий коллиматор с источником света, разделительное устройство, установленное на оптической оси коллиматора, два микрообъектива, установленные за разделительным уст ройством в рабочей и эталонной ветвях микроинтерферометра, эталонное зеркало, расположенное в фокальной плоскости микрообьектива в эталонной ветви микроинтерферометра, и зрительную трубу. 15Предложенный микроинтерферометр отличается от известного тем, что он снабжен оптическим клином с малым углом, перекрывающим половину зрачка одного из микрообъективов и расположенным так, что ребро его 20 перпендикулярно оси этого объектива и параллельно оси второго микрообъектива, и компенсационной плоскопараллельной пластинкой, перекрывающей, половину зрачка второго микрообъектива. 25Такое выполнение позволяет повысить точность измерения.На фиг. 1 показана оптическая схема предложенного микроинтерферометра; на фиг. 2 - интер ференционн ая картина. 30 Ыикроинтерферометр содержит коллнматор 1 с источником 2 света и отверстием 3, разделительный кубик 4, установленный на оптической оси коллиматора, два микрообьектива 5 и б, эталонное зеркало 7, размещенное в фокальной плоскости микроинтерферометра, зрительную трубу 8, оптический клин 9 с малым углом, перекрывающий половину зрачка микрообъектива 5 и расположенный так, что ребро его перпендикулярно оси мпкрообъектива 5 и параллельно оси микрообьектива б, и компенсационную ,плоскопараллельную пластину 10, перекрывающую половину зрачка микрообъектива б. Работает микроинтерферометр следующим образом.Выходящий из объектива коллиматора параллельный,пучок лучей разделяется кубиком на два пучка, которые микрообъективами 5 и б собираются на,поверхности эталонного зеркала и поверхности контролируемой детали 11, образуя изображение светящегося верстия 3. Отраженные пучки света идут ратно по прежним направлениям, соединяю разделительным кубиком и попадают в 3 тельную трубу, в фокусе которой наблюдают интерференционную картину.Для получения интерференции вте длины путей двух пучков лучейРедактор Р. Макарова Тираж 448 Изд. Мо 699 Заказ 1774/1 Типография, пр, Сапунова, 2 ют перемещением микрообъектива о и эталонного зеркала как одного целого.Оптический клин выводит луч а, из плоскости, параллельной плоскости чертежа. После обратного лрохождения через микрообъектив б луч а, минует оптический клин, В то же время луч Ь, посе двукратного прохождения че. рез микрообъектив б остается параллельным плоскости чертежа и затем отклоняется оптическим клином. Таким образом, лучи а, и Ь образуют с соответственными лучами а, и Ьа, идущими параллельно плоскости чертежа, одинаковые по величине и обратные по знаку углы, равные углу а, отклонения оптического клина.В результате на двух половинах зрачка микрообъектива 5 возникают, прямые полосы, .перпендикулярные к линии раздела зрачка, как это показано на фиг. 2. Ширина Й полос одинакова на обеих половинах зрачка и определяется углом а.При смещении контролируемой поверхности детали 11 две системы, полос смещаются в противоположных направлениях. Предмет изобретения Микроинтерферометр для измерения линейных перемещений поверхности, содержащий 5 коллиматор с источником света, разделительное устройство, установленное на оптической оси коллиматора, два микрообъектива, установленные за разделительным устройством в рабочей и эталонной ветвях микроинтерферо метра, эталлонное зеркало, расположенное вфокальной плоскости микрообьектива в эталонной ветви микроинтерферометра, и зрительную трубу, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он снаб жен оптическим клином с малым углом, перекрывающим половину зрачка одного из микрообъективов и расположенным так, что ребро его перпендикулярно оси этого объектива и ,параллельно оси,второго микрообъектива, и 20 компенсационной плоскопараллельной пластинкой, перекрывающей половину зрачка вто рого микрообъектива,