Микроинтерферометр

ОП И"С АЙИ"т ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Соввтскик Соцнапистическик республик(45) Лата опубликования описания 281177 2Геераеретееааыи аематет Вееете Маааетрее ВааР ае деаам аеебретааеВ а еткрытаа(54) МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, в приборах для измерения методом многолучевой интерференции толщин пленок по величине уступа, образонанного краем пленки.Известен многолучевой микроинтерферометр, содержащий тубус, предметный столик и интерференционную пластину сравнения. Он обеспечивает наблюдение при помощи тубуса многолучевых интерференционных полос равной толщины в клине, образованном испытуемой поверхностью детали и интерференционной пластиной сравнения, находящейся в контакте с испытуемой понерхностью ),11 .Изнестен также многолученой микроинтерферометр, содержащий тубус, предметный столик с механизмом фокусировки, установленный на тубусе, и интерференционную пластину сравнения в ниде плоскопараллельного диска, закрепленного в центре плоской металлической круглой пружины, имеющей прорези в виде отрезков концентрических окружностей. Контакт пластины с исследуемой поверхностью детали осуществляется по точке, разворот интерференционных по 2лос и изменениеих ширины - деформацией пружины 2).Однако данным микроинтерферометрамприсущи быстрое повреждение исследуе мой поверхности и поверхности интерференционной пластины сравнения, атакже значительные погрешности измерений толщины пленки.Цель изобретения - пов шение точ ности измерения.,Цля этого пластина выполнена в виде правильного многоугольника, консольно закреплена на плоской пружинес возможностью разворота вокруг оси, 15 лежащей в плоскости рабочей гранипластины, перпендикулярной ее рабочему ребру.На фиг. 1 изображен предлагаемыймикроинтерферометр с частичным ныре зом кронштейна, общий нид; на фиг. 2интерференционная пластина.Описываемый микроинтерферометр содержит тубус 1, предметный столик 2 смеханизмом 3 фокусировки и интерферен ционную пластину 4.Интерференционная пластина 4 сравнения через держатель 5 укреплена наплоской пружине 6 с возможностью разворота вокруг оси, перпендикулярной 30 плоскости чертежа и проходящей черезобъектив 10. Второй конец пружины 6 закреплен с цилиндрическим наконечником 7 ось которого А-А лежит в рабо чей плоскости Б интерференционной пластины 4 и перпендикулярна ее рабо чему ребру, проходящему через точку К перпендикулярно плоскости чертежа. Ось наконечника 7 и подшипник 8 способствуют развороту интерференционной пластины 4 вокруг оси А-А до совмещения ребра с плоскостью исследуемой детали 9, Это, а также выполнение интерференционной пластины в виде многоугольника позволяют осуществиествить самоустановку пластины на детали и замену контакта с образцом по точке контактом по линии.Предлагаемый микроинтерферометр работает следующим образом.Исследуемую деталь 9 устанавливают на предметном столике 2 и подво- ф) дят при помощи механизма 3 фокусировки к объективу 10 до резкого изображения ее, В зто время деталь касае тся грани интерференционной пласти 25 ны, которая самоустанавливается под определенным углом к ней за счет покачивания на плоской пружине 6 повоота в подшипнике 8. Изменение шири- ротаны интерференционных полос производо ится микромеханизмом тубуса 1 в преде лах глубины резкости объектива.Благодаря замене контакта по точке контактом по линии интерференционные многолучевые полосы становятся прямолинейными и из направление парал дельно линии контакта(грани интерференционной пластины сравнения), что в свою очередь значительно упрощает конструкцию механизма изменения ширины интерференционных полос.Использование интерференционной пластины сравненния в виде правильного многоугольника (фиг. 2) в сочетании со значительным уменьшением контактного давления позволяет путем поочередного включения ее рабочих граней значительно увеличить срок службы пластины,Формула изобретенияМикроинтерферометр, содержащий тубус, предметный столик с механизмом фокусировки, установленный на тубусе, и интерференционную пластину сравнения, закрепленную на плоской пружине, отличающийся тем, что с целью и эвышения точности измерения, пластина выполнена в виде правильного многоугольника, консольно закреплена на плоской пружине с возможностью разворота вокруг оси, лежащей в плоскости рабочей грани Пластины, перпендикулярной ее рабочему ребру.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Многолучевой микроинтерфеоомето фирмы К, Цейсс, ГДРРещега 1 еес 1 и9 2, 1960.2. Патент Англии Р 712930, кл. 97 (1), и 106 (2), 1952.579537 ЦНИИПИ Заказ 4387 Тираж 90/ Подписное Филиал ППП г.Ужгород, У атент, Проектная,1