Патенты с меткой «эллипсометр»

Номер патента: 947641

Опубликовано: 30.07.1982

Авторы: Кудрявцев, Финарев

МПК: G01B 11/06

Метки: образцов, оптических, свойств, толщины, эллипсометр

...содержащем тубус падающегосвета и тубус отраженного света,установленные под углом друг к другу, кювету для размещения образцаи оптические окна, оптические окнарасположены на торцах тубусов, обращенных к кювете.На чертеже изображена принципиаль.ная схема эллипсометра для измерения толщины и оптических свойствобразцов.Эллипсометр содержит тубус 1 падающего света и тубус 2 отрЙженногосвета, декоративные крышки 3 и 4,полые трубки 5 и 6, вставленные внаправляющие втулки 7 и 3 каждогоиз тубусов, оптические окна 9 и 10,из плавленного кварца, приклеенныек торцу каждого тубуса, кювету 11для размещения образца, выполненнуюв виде стакана и расположенную напредметном столике 12. В стакане(кювете) 11 имеется отверстие соштуцером, который...

Номер патента: 1141297

Опубликовано: 23.02.1985

Авторы: Алексеев, Бронштейн, Прокопенко, Рондарев

МПК: G01J 4/04

Метки: эллипсометр

...повышение точности измерения.50Поставленная цель достигаетсятем, что в эллипсометре, содержащемизлучатель, поляризатор, анализатор,механизм синхронного разворота плечполяризатора .и анализатора и установ"55,ленные в плечах поляризатора и анализатора оптическую систему установки угла падения излучениявключаю 297 1щую отражатели, соединенные с приводом, и фотоприемник, соединенный с блоком регистрации, механизм синхрон" ного разворота плеч поляризатора и анализатора выполнен в виде двух кареток, установленных с возможностью перемещения по направляющей и связанных посредством кулисных механизмов с плечами поляризатора и анализатора и посредством правого и левого винтовых механизмов - с приводом системы установки угла падения излучения, один...

Номер патента: 1157416

Опубликовано: 23.05.1985

Автор: Пилипко

МПК: G01N 21/45

Метки: интерференционный, многолучевой, эллипсометр

...фотоприемнику,измеритель частоты, подключенныйк электронному ключу, и преобразователь интервал времени - напряжение,вход которого подключен к формирователю интервалов времени, а выходк электронному ключу и одночастотному перестраиваемому лазеру, причем поляризаторы оптических развязоки дополнительный поляризатор установлены так, что оптические осиполяризаторов оптических развязоквзаимно ортогональны, а оптическаяось дополнительного поляризатораориентирована под углом к ним.На чертеже, изображена принципиальная схема предлагаемого устройства,Устройство содержит одночастотныйлазер 1, оптическую развязку, состоящую из поляризатора 2 и невэаимногофарадеевского вращателя 3, поляризатор 4, перестраиваемый одночастотный лазер 5 и...

Номер патента: 1260697

Опубликовано: 30.09.1986

Авторы: Мардежов, Хасанов

МПК: G01J 4/04

Метки: образцов, оптических, поверхностных, свойств, слоев, толщины, эллипсометр

...изотропных и анизотропных однослойных и многослойных отражающих систем,Целью изобретения является расширение области применения на проведение иммерсионных измерений при больших углах падения света.На чертеже изображена принципиальная схема эллипсометра.Эллипсометр содержит тубуспадающего света и тубус 2 отраженного света, крышки 3 и 4, полые трубки 5 и 6, вставленные в направляющие втулки 7 и 8 каждого из тубусов, оптические окна 9 и 10 из плавленного кварца, прикрепленные к торцу каждого тубуса, мягко гофрированную кювету 11 с дном 12 для размещения образца 13. Кювета расположена на предметном столике 14 и жестко с ним соединена. На дне кюветы имеется отверстие со .дтуцером, который соединен с резиновым резервуаром 15 с помощью...

Номер патента: 1571419

Опубликовано: 15.06.1990

Авторы: Алексеев, Бронштейн, Михновец, Устинов

МПК: G01J 4/04

Метки: эллипсометр

...аналого-цифрового преобразователя (АЦП) 16,вход запуска которого соединен с оптронной парой 11, Цифровой выход АЦПчерез интерфейсный блок .1.7 соединен сшиной ввода даниых микроЭВМ 8, Син-хрониэирующий вход интерфейса блока17 соединен с выходом оптронной пары10, Для регистрации результатов измерений служит устройство 19 вывода информации (печать, дисплей), соединенное с микроЭВМ. С микроЭВМ связан также блок привода вращения стола 20(шаговый двигатель) посредством блока21 сопряжения,Эллипсометр работает следующим образом.Излучение от излучателя 1 черезпризму Глана 8 направляется на поверхность исследуемого объекта 6, Отраженное от объекта 6 излучение вторичноотражается от зеркала 7 и направляется в плечо анализатора 3,...

Номер патента: 1695145

Опубликовано: 30.11.1991

Автор: Ковалев

МПК: G01J 4/04

Метки: эллипсометр

...либо в виде лазера, Система формирования пучка 2 может быть выполнена иэ ОДНОЙ или нескОльких линз либО зеркал, Оптическая ось призмы 3 расположена в плоскости СС, перпендикулярной направлению распространения первоначального пучка излучения и проходящей через линию пересечения плоскостей входной и выходной боковых граней призмы 3, параллельно или перпендикулярно ее основанию. Зеркала 4,5,6 и 7 выполнены сферическими или параболическими и расположены симметрично относительно плоскости СС, являющейся плоскостью симметрии, Зеркала 4,5 (фиг.2), установленные по ходу обыкновенного пучка света ориентированы так, что угол между осью этого пучка и нормалью к поверхности данного зеркала (4 или 5) в точке пересечения оси с зеркалом...

Номер патента: 1369471

Опубликовано: 07.12.1991

Автор: Ковалев

МПК: G01J 4/04

Метки: спектральный, эллипсометр

...параметрамиИ Ю.В другом варианте измерений наспектральном эллипсометре система 2,формирования пучка излучения перестраивается так, что пучки В и Г строг.коллимированы. Тогда они падают наразличные участки образца н вариантизмерений можно цазвать двухлучевьм,При этом обтюратор может последовательно прерывать пучки либо прц применении двух фотоприемников включен 5ных по балансовой схеме, когда пучкиВ и Г падают на отдельные фотоприемники, может быть выведен из пучка.В первом случае оба пучка сводятсяна один фотоприемник, и измерения аца 10логичны описанным. При измерениях безобтюратора азимуты анализатора, соответствующие равенству интенсивностейпучков, падающих на различные фотоприемники, определяются точно иэ-за су" 15щественного...

Номер патента: 1725773

Опубликовано: 07.04.1992

Авторы: Концевой, Резвый

МПК: G01J 4/00

Метки: эллипсометр

...тубусом 10 отраженного света, На столик 7 кладется измеряемый образец 11.Дополнительно содержащиеся оптиче. ски связанные тубусы 9 и 10 падающего и.Голова Заказ 1189 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 оизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина,отраженного света содержит те же элементы, что и основные тубусы 1 и 5,В качестве источников излучения используются лазеры.С целью расширения возможностей эллипсометрических измерений некоторые из дополнительных тубусов падающего света могут иметь различные длины волн моно- хроматического света.Эллипсометр работает следующим образом.Предварительно устанавливаются углы падения...

Номер патента: 1830479

Опубликовано: 30.07.1993

Авторы: Анищенко, Караваев, Пунько, Смоляков

МПК: G01N 22/00

Метки: радиоволновый, эллипсометр

...бытьучастках в зависимосхеме не указаны, псометр работает(12) 35 Ь 11+ Ьзз = ОК 21 Ьгг+ Ьзз = О Величина этих изменений определяется матрицей преобразования. Для прошедшей волны 1 Ь 1- 1 М 11 а 1, (8) где 1 а - матрица коэффициентов исходного эллипса,Ь 1- матрица коэффициентов прошедшей волны;1 М 1 - матрица известных коэффициентов преобразования.Для отраженной волны 1 С 1 1 М 1 1 Э 1 ., (9) где 1 С 1 - матрица. коэффициентов поляризационного эллипса отраженной волны;.1 М 1 - матрица известных коэффициентов преобразования,Если совместить ось Х прямоугольной системы координат с осью пропускания поляриэационного делителя и ввести обозна- чения- сигналы на выходе измерителя отношений 9, то математически задача сводится к нахождению эллипса...

Номер патента: 1363935

Опубликовано: 27.03.2000

Авторы: Беккауер, Загоруйко, Осадчев, Свиташев, Тищенко

МПК: G01J 4/04

Метки: эллипсометр

1. Эллипсометр, содержащий последовательно установленные и оптически связанные лазерный источник излучения и круговой поляризатор, поляризатор и компенсатор, расположенные в плече поляризатора, а также зеркальную диафрагму, экран для визуального наблюдения и фотоприемник, расположенные в плече анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений оптических характеристик анизотропных и не однородных по поверхности образцов, он дополнительно содержит кинематически сопряженную с плечом поляризатора диафрагму, расположенную после компенсатора по ходу излучения лазерного источника.2. Эллипсометр по п.1, отличающийся тем, что перед анализатором по ходу излучения...

Номер патента: 1448831

Опубликовано: 10.05.2011

Авторы: Алгазин, Рыхлицкий

МПК: G01J 4/00

Метки: эллипсометр

Эллипсометр, содержащий последовательно установленные и оптически связанные поляризатор, компенсатор и анализатор, а также устройства поворота компенсатора и анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности измерений, он дополнительно содержит определитель измерительных зон, выполненный в виде поступательно установленных и имеющих общую ось вращения панели, диска компенсатора и диска анализатора, причем панель выполнена с двумя окнами в первом и третьем 90°-ных секторах, имеющими форму четверти кольцевой прорези, с двумя окнами во втором и четвертом 90°-ных секторах, имеющими форму четверти круга, с окном лимба анализатора, имеющим форму четверти...