Описание

1. Эллипсометр, содержащий последовательно установленные и оптически связанные лазерный источник излучения и круговой поляризатор, поляризатор и компенсатор, расположенные в плече поляризатора, а также зеркальную диафрагму, экран для визуального наблюдения и фотоприемник, расположенные в плече анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений оптических характеристик анизотропных и не однородных по поверхности образцов, он дополнительно содержит кинематически сопряженную с плечом поляризатора диафрагму, расположенную после компенсатора по ходу излучения лазерного источника.
2. Эллипсометр по п.1, отличающийся тем, что перед анализатором по ходу излучения лазерного источника расположена диафрагма.

Заявка

4025024/25, 21.10.1985

Университет дружбы народов им. Патриса Лумумбы

Беккауер Н. Н, Загоруйко Н. В, Осадчев Л. А, Свиташев К. К, Тищенко А. А

МПК / Метки

МПК: G01J 4/04

Метки: эллипсометр

Опубликовано: 27.03.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1363935-ehllipsometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Эллипсометр</a>

Похожие патенты