Эллипсометр

(51)5 6 ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ АТЕКТУ(54) (57) Сущ ерительная техника, тре, содержащем опИзобретен ной технике, к приборам - эллЦель изобр водительности ных возможн измерений. измеритель- ерительным ие относится коптическим измипсометрам.етения - повышение произи расширение функциональостей эллипсометрических Эллипсометр сод занные тубус падающ женным в нем исто поляризатором, тубус расположенным в нем метный столик, устро тировки и фиксации отраженного света д жит не менее одной и ных тубусов падающе излучения и поляриза женного света с анал(56) Аззам Р, башарполяризованный св415.Резвый Р.Р. Элэлектронике, - М.: РЭЛЛИПСОМЕТРПрименение: иность; в эллипсо ержит оптически свяего света с располочником излучения и отраженного света санализатором, предйство для угловой юстубусов падающего и ополнительно содерары оптически связанго света с источником тором и тубусов отра-, изатором, кроме того,тически связанные тубус падающего света с расположенным в нем источником излучения и поляризатором, тубус отраженного света с расположенным в нем анализатором, предметный столик, устройство для угловой юстировки и фиксации тубусов падающего и отраженного света, дополнительно содержится не менее одной пары оптически связанных тубусов падающего и отраженного света, причем в каждом тубусе падающего света расположены источник излучения и поляризатор, а в каждом тубусе отраженного света расположен анализатор.2 з.п. ф-лы, 1 ил. в тубусах падающего света может располагаться четвертьволновая фазовая пластина. - дНа чертеже представлена конструкция эллипсометра. ЬЭЭллипсометр содержит тубус 1 падаю- (Л щего света, содержащий источник 2 излучения, поляризатор 3 и четвертьволновую фазовую пластину 4, тубус 5 отраженного света с расположенным в нем анализатором 6, предметный столик 7, выполненный с возможностью горизонтального и вертикального перемещения, устройство 8 для уг-Г ловой юстировки и фиксации тубусов Ы падающего и отраженного света, дополнительный тубус 9 падающего света, оптически связанный с дополнительным тубусом 10 отраженного света, На столик 7 кладется измеряемый образец 11.Дополнительно содержащиеся оптиче. ски связанные тубусы 9 и 10 падающего и.Голова Заказ 1189 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 оизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина,отраженного света содержит те же элементы, что и основные тубусы 1 и 5,В качестве источников излучения используются лазеры.С целью расширения возможностей эллипсометрических измерений некоторые из дополнительных тубусов падающего света могут иметь различные длины волн моно- хроматического света.Эллипсометр работает следующим образом.Предварительно устанавливаются углы падения тубусов 1 и 9 р 1 ищ., равные углам отражения тубусов 5 и 10, Например, угол р 1= 45, р 2 = 70,Далее определяются эллипсометрические углы ф 1 и Л 1 для основной пары тубусов 1 и 5 и эллипсометрические углы ф и Л 2 для дополнительной пары тубусов 9 и 10.При автоматизированных измерениях при эллипсометрическом контроле пленок и покрытий с толщиной, большей эллипсометрического периода, а также для многослойных пленок производительность измерений повышается в десятки раз, так как многоугловые измерения выполняются одновременно, а не последовательно во времени с медленной операцией перестройки угла падения.При исследовании быстропротекающих процессов, например, при нанесении или удалении пленок многослойных полупроводниковых структур фиксируемые одновременно четыре и более эллипсометрическихУ параметра ф 1, Л , ф, Л 2 и т,д. позволяет одновременно определять более двух физических параметров пленок или покрытий, например толщину, показатель преломле ния, коэффициент экстинктции, что существенно расширяет функциональные возможносги эллипсометра.Ф о р мул а из о бр ете н ия 1. Эллипсометр, содержащий оптически 10 связанные тубус падающего света срасположенным в нем источником излучения и поляризатором, тубус отраженного света с расположенным в нем анализатором, предметный столик, устройство 15 для угловой юстировки и Фиксации падающего и отраженного света, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что, с целью повышения производительности измерений и расширения функциональных возможностей эллипсо метра, он дополнительно содержит не менее одной пары оптически связанных тубусов падающего и отраженного света, причем в каждом тубусе падающего света расположены источник излучения и поляри затор, а в каждом тубусе отраженного светарасположен анализатор2.Эллипсометр по и. 1, о тл и ч а ю щи й с я тем, что в каждом тубусе падающего света расположена четвертьволновая фа зовая пластина.3. Эллипсометр по пп,1 и 2, о т л и ч а -ю щ и й с я тем что с целью расширения диапазона измеряемых параметров, источники излучения выполнены с возможностью 35 излучения различных длин волн.л