Эллипсометр
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Эллипсометр, содержащий последовательно установленные и оптически связанные поляризатор, компенсатор и анализатор, а также устройства поворота компенсатора и анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности измерений, он дополнительно содержит определитель измерительных зон, выполненный в виде поступательно установленных и имеющих общую ось вращения панели, диска компенсатора и диска анализатора, причем панель выполнена с двумя окнами в первом и третьем 90°-ных секторах, имеющими форму четверти кольцевой прорези, с двумя окнами во втором и четвертом 90°-ных секторах, имеющими форму четверти круга, с окном лимба анализатора, имеющим форму четверти кольцевой прорези и расположенным симметрично границе первого и четвертого секторов, и с окном лимба компенсатора, выполненным аналогично окну лимба анализатора и расположенным симметрично границе второго и третьего секторов, диск компенсатора выполнен с двумя диаметрально противоположно расположенными окнами, имеющими форму четверти круга, диск анализатора выполнен с двумя расположенными по разные стороны от радиуса указателями, форма одного из которых совпадает с формой окон в панели, расположенных в первом и третьем секторах, а форма другого совпадает с формой окон в панели, расположенных во втором и четвертом секторах, при этом диски компенсатора и анализатора снабжены установленными с возможностью поворота градусными шкалами и кинематически связаны с возможностью синхронного поворота соответственно с устройствами поворота компенсатора и анализатора.
Заявка
4107511/25, 15.08.1986
Специальное конструкторско-технологическое бюро специальной электроники и аналитического приборостроения СО АН СССР
Алгазин Ю. Б, Рыхлицкий С. В
МПК / Метки
МПК: G01J 4/00
Метки: эллипсометр
Опубликовано: 10.05.2011
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1448831-ehllipsometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Эллипсометр</a>
Предыдущий патент: Способ получения n-оксидов 1-гидрокси-3-(п-r-фенацил)-1, 2, 4a, 5, 6, 7, 8, 8a-октагидро-2-хиноксалонов
Следующий патент: Устройство для измерения спектрального коэффициента яркости земной поверхности
Случайный патент: Мажоритарный коммутатор