Радиоволновый эллипсометр

(19)55 6 01 й 22/О ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН оношений, первый аттенюатор в канале падающей волны и второй аттенюатор в канале отраженной волны. Дополнительно введены делитель с калиброванными параметрами, включЕнный между держателем образца и поляризационным делителем, вычислитель, включенный между измерителем отношений и индикатором, последовательно соединенные анализатор поляризации, связанный с вторым выходом делителя с калиброванными параметрами, четвертый ВЛП, третий СВЧ-детектор, соединенные с третьим входом измерителя отношений, причем ось пропускания анализатора поляризации устанавливается под определенным, например, 45 О, углом к оси пропуска ния поляризацион ного делителя, измеритель. отношений выполнен трехканальным, а параметры калиброванного делителя введены в память вычислителя и учитываются при восстановлении изображения поляризационного эллипса СВЧ-волны. 1 ил. иоволновои элли ератор 1, волно 2, поляризатор 3,ь с калиброванн ационный делител ии 7, СВЧ-детект ий 9, вычислите икатор 11, Аттен ей и отраженной ены в различных конструкции и на иоволновой элли щим образом.Изобрет ной технике измерении и сти, для опр таллических подложках металлах. ь- и СВЧ-генреходы4, делителполя ризляризацотношен ех а 10, и брети из падающ уста новл сти от иРад следую Цель изо ти и скоростНа черте лектрическ ипсометра. ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(71) Белорусский политехнический институт(57) Использование: измерение толщиныпокрытий, Сущность изобретения: радиоволн. зллипсометр, содержит последовательно соединенные СВЧ-генератор,первый волноводно-лучевой переход (ВЛП),поляризатор и держатель образца, поляризационный делитель, второй ВЛП, СВЧ-детектор, измеритель отношений, индикатор,последовательно соединенные третий ВЛП,связанный со вторым выходом поляризационного делителя, второй СВЧ-детектор, соединенные с вторым входом измерителя ение оносится к измерител и может быть использовано пр араметров покрытий, в частноеделения толщины тонких м пленок на диэлектрически и непроводящих покрытий н ения - повышение точномерений.же представлена структурнаяя схема радиоволнового злпараметр содержит водно-лучевые педержател ь образца ыми параметрами 5, ь 6 анализатор по оры 8, измеритель льное устройствоюаторы в каналахволны могут бытьучастках в зависимосхеме не указаны, псометр работает(12) 35 Ь 11+ Ьзз = ОК 21 Ьгг+ Ьзз = О Величина этих изменений определяется матрицей преобразования. Для прошедшей волны 1 Ь 1- 1 М 11 а 1, (8) где 1 а - матрица коэффициентов исходного эллипса,Ь 1- матрица коэффициентов прошедшей волны;1 М 1 - матрица известных коэффициентов преобразования.Для отраженной волны 1 С 1 1 М 1 1 Э 1 ., (9) где 1 С 1 - матрица. коэффициентов поляризационного эллипса отраженной волны;.1 М 1 - матрица известных коэффициентов преобразования,Если совместить ось Х прямоугольной системы координат с осью пропускания поляриэационного делителя и ввести обозна- чения- сигналы на выходе измерителя отношений 9, то математически задача сводится к нахождению эллипса поляризации по известным координатам трех точек, принадлежащих исходному эллипсу с учетом матриц преобразования, Координаты точек равны:- точка 1(1, О)- точка 2 (О, К 21)- точка 3 (Кз 1 соз а, Кз 1 з 1 п а ), а - угол между осью пропускания анализатора поляризации и осью пропускания поляризационного делителя. Для вышеперечисленных трех точек имеем 3 уравнения С К 31 соз а+2 С 12 К 31 зпа сова+. Окончательно для нажикдения неиэмстных коэФфициентов Э 12. Эгг, азз получаем систему из трех уравнений М 11 + М 12э 12 + Мззэзз 6К 21 М 21 Э 12+ К 21Иввгг+Мзз азз- О ь61 обвала(М 11+М 12 эа)+2 К 31 х х 31 п а СОЗ а ( Ь 61 Э 12 + И 62 э 22 ) ++ 61 зпг а ( М 211 а 1 г + Мг 2 эгг ) + получив коэФфициенты Э 12, агг, азз по формулам(5), , (7), находим эллипсометрические параметры. Формула изобретения Рэдиоволновый эллипсомвтр, содержащий последовательно соединенные СВЧ-генератор, первый волноводно-лучевой переход, поляризатор и держатель образца, последовательно соединенные поляризэционный делитель, второй волноводно-лучевой переход, первый СВЧ-детектор и измеритель отношений, а также последовательно соединенные третий вощееодно-лучевой переход и второй СВЧ-детектор, включенные между вторым выходом поляризэционного делителя и вторым входом измерителя отношений, и индикатор, о т л и ч.эю щ и й с я тем, что, с целью пбвышения точности и сокращения времени измерений, введены делитель с калиброванными параметрами, включенный мекду держателем образца и поляризационным делителем, последовательноеоединенные анализатор поляризации, четвертый волноввдно-лучевой переход и трежй СВЧ-детектор, включенные между вторым выходом делителя с калиброванными параметрами и третьим1830479 Составитель Р,Ку Техред М.Морген ова Корректор Л.фи дактор Производственно-и льский комбинат "Патент", г. Ужгород. ул, Гагарина, 10 входом измерителя отношений, который выполнен трехканальным, а также вычислитель параметров эллипса поляризации отверженной волны, включенный между вы-,5 аз 2520 ТиражВНИИПИ Государственного комитета по из113035, Москва, Ж, Р ходами измерителя отношений и входом индикатора, при этом ось пропускания анализатора поляризации ориентирована под углом к оси пропускания поляризационного делителя,Подписноеретениям и открытиям при ГКНушская наб 4/5