Эллипсометр для измерения толщины поверхностных слоев и оптических свойств образцов

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 511 4 сд 01 1 4 СУДАРСТВЕННЫИ НОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ НИЕ ИЗОБРЕТЕНИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ АВТО Мардежов и Т, Хасанов(54) ЭЛЛИ ПСОМЕТР ДЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОВЕРХ НОСТН И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ (57) Изобретение относится к и технике, связанной с оптическ измерения оптических свойст ЗМЕРЕНИЯ ЫХ СЛОЕВ ОБРАЗЦОВ змерительной ми методами изотропных(21) 3766963 (22) 04.07.84 (46) 30,09.86 (71) Инстит АН СССР (72) А. С. (53) 535.511 (56) Авторс947641, кМ. аванс)13, р. 617 Бюл.36физики полупроводников С,801260697 и ацизотропцых однослойных и мцогсплойных отражаюших систем. Цель изобретения - повышение удобства в рлюгс и озможность проведения измерений ца л)обых изотропных и ацизотропных отрс)жаощих системах при любых больпих углах патсция вплоть до 90. Сущность цзобрстецп заключается в том, что к эллпцсомстре дл и. хсрения то 11 цицы и оптических сой гобри цов, содержащем т) бмс. падск)ссс 1) ). ;: и и тубус отраженного света, ) ст:).сцц)с под углом дру 1 к другу, и ск)ст, д 1 ра- мегпения образца, опти с кпс окц;) рпс пс),ожены ца торцах тубсоц. обрцсс ц)ых ь кк)- кете, тубусы гсрметп цо прпкрспгп ц. к м:гофрированным стс цк;)м к)с)1, .1 ц;) которой жестко зс) креп, )спс) и;1 и рс. )с ц с)с" с), )пкс.и, .1260697 Формула изобретения г 7И Составитель В. Яковлев Редактор Н. Горват Техред И. Верес Корректор Т. Колб Заказ 5216/37 Тираж 778 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4Изобретение относится к измерительной технике, связанной с оптическими методами измерения оптических свойств изотропных и анизотропных однослойных и многослойных отражающих систем,Целью изобретения является расширение области применения на проведение иммерсионных измерений при больших углах падения света.На чертеже изображена принципиальная схема эллипсометра.Эллипсометр содержит тубуспадающего света и тубус 2 отраженного света, крышки 3 и 4, полые трубки 5 и 6, вставленные в направляющие втулки 7 и 8 каждого из тубусов, оптические окна 9 и 10 из плавленного кварца, прикрепленные к торцу каждого тубуса, мягко гофрированную кювету 11 с дном 12 для размещения образца 13. Кювета расположена на предметном столике 14 и жестко с ним соединена. На дне кюветы имеется отверстие со .дтуцером, который соединен с резиновым резервуаром 15 с помощью шланга 16, причем последний может пережиматься зажимом 17. В резервуаре 15 помещена иммерсионная жидкость 18, Крышка 19 (с отводной трубкой 20 и зажимом 21 на ней) закрывает кювету при работе с токсичными жидкостями. Эллипсометр работает следующим образом.Во время измерений на воздухе иммерсионная жидкость 18 находится в резервуаре 15, а шланг 16 пережат зажимом 17. При необходимости иммерсионных измерений зажим 17 снимают, жидкость из резервуара 15 вытесняют в кювету таким образом, чтобы ее уровень находился выше оптических окон 9 и 10. Затем измерение проводится по обычной методике как на воздухе, что обеспечивается мягко гофрированными стенками кюветы.При увеличении угла падения гофрированные боковые стенки кюветы сжимаются, в противоположном случае - разжимаются.Избыток воздуха под крышкой 19 отводится 10 с помощью отводной трубки 20 при открытомположении зажима 21. Описанная процедура в любой жидкости занимает примерно такое же время, как и на воздухе. Кроме того, отсутствие ограничения на диаметр кюветы обеспечивает удобную настройку образца к падающему и отраженному световому пучку. 20Эллипсометр для измерения толщиныповерхностных слоев и оптических свойств образцов, содержащий тубус падающего света и тубус отраженного света, установленные под углом друг к другу, кювету для 25 размешения образцов, расположенные наторцах тубусов, обращенных к кювете, оптические окна, предметный столик, отличающийся тем, что, с целью обеспечения применения для иммерсионных измерений при больших углах падения света, стенки ЗО кюветы выполнены мягко гофрированными,тубусы герметично прикреплены к ним, а дно кюветы жестко закреплено на предметном столике.