Электролит для анодного окисления полупроводников типа а iiiвv

Номер патента: 1840202

Авторы: Алехин, Емельянов, Лаврищев

ZIP архив

Описание

1. Электролит для анодного окисления полупроводников типа АIIIВV, содержащий органический растворитель, кислородосодержащую и электропроводную составляющую, отличающийся тем, что, с целью улучшения параметров границы раздела полупроводник - анодный окисел, электролит дополнительно содержит четыреххлористый углерод в количестве 5-15 вес.%.

2. Электролит по п.1, содержащий органический растворитель, пирофосфорную кислоту, отличающийся тем, что электролит дополнительно содержит четыреххлористый углерод при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Пирофосфорная кислота 0,3-3,0

Четырехлористый углерод 5-15

Растворитель остальное

Заявка

2218360/28, 19.04.1977

Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина

Алехин Анатолий Павлович, Емельянов Аркадий Влидимирович, Лаврищев Вадим Петрович

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: iiiвv, анодного, окисления, полупроводников, типа, электролит

Опубликовано: 20.08.2006

Код ссылки

<a href="https://patents.su/6-1840202-ehlektrolit-dlya-anodnogo-okisleniya-poluprovodnikov-tipa-a-iiivv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электролит для анодного окисления полупроводников типа а iiiвv</a>

Похожие патенты