Микроманипулятор

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(51) М. К с присоединением заявки32) Приоритет Государственный комитет Совета й 1 нннстров СССР по делам изаоретеннй и открытий(088. 8) бликовано 33.08.74 БюллетеньДата опубликования описания 72) Авторы А.В.БадцЛКИН В.И.НИжаНКОВСКИй В.Г.НаКОНЕ Ый, изобретения р.А.устиновЯ.Е.Кутейников, В, 3.Тюрин и И. В,Ко Изобретение относится к области оптической вычислительной техникиИзвестны микроманидуляторы, устройства для совмещения растровых модулей с информационной кассетой, устройства для совмещения рисунка подложки с фотошаблонами, механизмы перемещения предметного столика микроскода, содержащие основание, корпус, размещенный в нем двухкООрдинатный поворотный стол с микромвтрическими винтами для совмещения и поворота, механизмы кредлвния подложки , механизмы подачи фотошаблонов, оптическое у стройство.Цель изобретения - повышение точности ориентации линзорастровых модулвИ относительно вспомогатель- " ных баз,обеспечение переноса модула на проаралаую подложку раоторвой информационной кассеты (РИК бвз нарушения долученной ориентации, а также увеличение кинвматичвской чувствйтвльности органов управления микропврвмвщвний линзорастрового модуля и поворота микроманидулятора.Это достигается тем, что линзорастровый модуль закреплен на торцовой поверхности аррвтира механизма переноса модуля, двухкоординатный столик представляет собой плавающий вкладыш, расположенный внутри кордуса микроманидулятора, в котором подвижно установлен арретир механизма переноса модуля, вал поворота микроманипулятора Выполнен пустотелым и размещен Восновании механизма переноса растрового модуля. Кроме того, для возможности вйзуального просмотра в проходящем свете базовых линз модуля расточвны по четыре соосно расположенных смотровых отверстия в арретире, плавающем вкладыше, нижнвИ крышке микроманидулятора и в основании механизма дврвноса моду4413На фиг. 1 показан првдлагавмый микромайидулятор, вид в дланв с частичными разрезами 1 бвз вврхнвй плиты); на фиг. 2-то жв, додврвчный разрез по А-А на фйг, 1 5 до оси доворота микроманидулятора на фиг. 3 - разрвз по Б-Б на фиг.1Линзорастровый молль 1 уста-, новлен и закрвплвн на торцовой повврхности аррвтира 2 маханизма пврвноса модуля. Аррвтир по скользящвй досадкв вставлен в плавающий вкладыш 3. Палвц 4, запрессованный в аррвтир, препятствует повороту последнего относитвльно плавающвГО вкладыша; Аррвтир прижат к торцовой поверхности плавающвго вкладыша силой сжатия пружины 5. Кольцо 6, застодорвннов на нижнвм концв аррвтира стопорной шайбой 7, является подцврживающвй одорой аррвтира. Плавающий вкладыш расположвн внутри кордуса 8 микроманидулятора, мвжду парной (нижнвй) плитой 9 микроманипулятора и вго крышкой 10, Опорная длита и крышка прикрвплвны к корпусу микроманипулятора винтами и штатами так, что плавающий вкладыш можвт дврвмещаться внутри корпуса микроманипуытора. Вокруг полой оси 11 одорной плиты, установленной по скользящей досадкв в основание 12 мвханизма дврвноса модуля, микроманипулятор имввт возможность поворачиваться. Полая ось П выполнвна за одно цвлов с одорной плитой Э. В аррвтиРв, в длавающвм вкладышв, одорной длитв и основании 12 соосно расточвны 13-16.до чвтырв смотровых отверстияМвханизи микродврвмвщвния линзорастрового модуля до оси У-У выполчвн клина-микровинтовым. Гай- ,5 ка 17 механизма микропврвмвщвний выполнена путвм залыки стирокрила в обойму вмвств с микромвтричвским винтом 18. Гайка 17 цвнтрирующим пояском вставлвна в отверстие корпуса 8 микроманидулятора и закрвплвна винтами. Клин 19 механизма имввт Т-образный паз, в который вставлвн Т-образный конец микровинта 18, Внутри корпуса микроманидулятора установлен неподвижный клин 30, служащий одорай подвижного клйна 19, Плавающий вкладыш дрижат к клину 19 силой 4сжатия плоской пружинй 21.Мвханизм микродврвмвщвния линзорастрового модуля по оси Х-.Х изготовлвн аналогично. Мвханизм включавт аналогичныв двтали: гайку 22, микромвтричвский винт Л, подвижный клин 24, нвподвижный клин 25 и плоскую дружину 26Механизм микродоворота микооманипулятора вокруг полой оси 11выполнен также клина-микровинтовым. Гайка 27, микромвтричвскийвинт 28 и совдинвнив микровинта 28с додвижным клином 29 аналогичнысоответствующим элементам мвханизма микропврвмвщвний. Гайка 27 цвнтрирующим пояской вставлена в отвврстив бруска 30 и закрвплвна винтами. Подвижный клин 29 имеет возможность пврвмвщвния вдоль продольного паза сделанного в брускв 30, В брускв 31 вмонтирован буфер ный узел. Корпус 8 микроманипулято ра поджат толкатвлвм 32 к додвижному клину 29 пятой 33 под двйстви вм силы сжатия дружины, отрвгуливанной винтом 34. Бруски 30 и1 установлвны мвжду основанивм 12 и вврхнвй плитой 35 так, что микроманипулятор имеет возможность доворота вокоуг полой оси 11.Рычаг 36 механизма парвйоса линзорастрового модуля на прозрачную подложку РИК устаяовлвн на оси 37, Маховичок 38, выполнвнный в вида торцового кулачка, расположвн на оси, торцовая повврхность кулачка опирается на пяту 39, запрессованную в выходной конвц рычага 36.Микроыанипулятор работавт слв.дующим образомЛинзораствый модуль 1 устанавливают и закрвдаяют на торцовой довврхности арретира 2. Оптическую ось одной из базовых лйнз растрава. го модуля совмвщают с осью доворота микроцанипулятора с долой осью 11 под микроскопом при помощи микроманипулятора.При вращении микромвтричвского винта 10 мвханизма микропврвмвщвния линзорастрового иодуля по оси У-У клин 19 пврвмвщавтся посту дательно. Пврвмвщвнив додвижного клина 19 вызывавт пврвмвщвйив плаающвго вкладыша 3 под двйствивмили дротив двйсувия) силы сжатия плоскои пружины 1. При этом пла5вающий вкладыш силой сжатия плоской дружины 26 все время щижимавт ся к подвижному клину 24. аким образом, обеспечивается постоянное направление перемещения плавающего вкладыша, перпендикулярно к оси Х-Х.Аналогично при вращении микромвтрического винта 2 з механизма микродврвмвщвния линзорастрового модуля по оси Х-Х длавающий вкладыш перемещается перпендикулярно к оси У-У.Вместе с плаваоум вкладышем 5 в надравлвнии осей Х-Х и У-У перемещается смонтированный в нвм меха. низм переноса линзорастрового моду. ля. На торцовой поверхности арретид 2 механизма переноса установ- ю лвн линзорастровый модуль. Таким образом, происходит совмещение оптической оси базовой линзы растрового модуля с осью доворота микроманипулятора. 25Ориентацию оптических осей остальных базовых линз растрового модуля осуществляют поворотом микроианидулятора вокруг полой оси 11 до полной ориентации относительно зо вспомогательных технологических баз.При вращении микромвтричвского винта 28 механизма микродоворота микроманидулятора перемещается 3 поступательно клин 2 Э, что вызывает поворот микроманйдулятора под действием или против действия) сил сжатия цилиндрической пружины буферного устройства вокруг полой о оси и. 6При повороте маховичка 38 на четверть окружности рычаг 36 доворачивавтся вокруг оси 37, поднимает арретир с линзорастровым модулем и переносит доследний на прозрачную подложку РИК без нарушения достигнутой ориентации, так как палец 4, запрессованный в аррвтирв, перемещаясь в дазу плавающего вкладыша, предохраняет аррвтир от доворота во время подъема. При возвращении маховичка в дервоначальное доложенив ар - рвтир устанавливается в исходнов доложенив под действием силы сжатия дружины 5. ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯМикроманипулятор, содержащий механизм дервноса модуля с аррвтиром и основанием, на котором расположена одорная плита с валом доворота и корпусом, внутри которого размещены механизмы перемещении модуля в двух взаимно пердендикулярных направлениях, о т л и ч а ю щ и й с я там, что, с целью уве-личения точности установки модуля и повышения кинвматичвской чувстви тельности, арретир установлен подвижно в длавающем вкладыше в корпусе, вал поворота выполнен пустотелым и установлен в основании механизма переноса модуля, в аррвтирв, плавающем вкладыше, корпусе и основании выполнены до четыре соосно расположенных смотровых отверстия,