Способ изготовления пленочной термобатареи

,51)5 Н 013534 ГОСУДАРСТВЕННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР МИТЕТОТКРЫТИЯМ ВРЕТЕ А венныи универсиВ.Г., Малкова Н.М,упроводники. Киши 49 - 152. ИЯ ПЛЕНОЧк технологии изительной технильзовано при ермоэлек 1 ричеетения - увели- изделий при ещения ветвей м, что согласно технологи ельной те при изгоктрическ ся увеличеуп рощении ермопар. тельная маение А - А на группы ветски, размена фиг 4 -формирова- проводимоой маски,й; на фиг.6 - подложка со К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Голбан И,МКанцеидр. Полуметаллы и понев: Штиинца, 1988, с. 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛНОЙ ТЕРМОБАТАРЕИ57) Изобретение относитсотовления устройств изме и и может быть исп зготовлении пленочных ких устройств. Цель изоб ение выхода годных прощении процесса совермопар - достигается т Изобретение относится к изготовлечия устройств измерит ники и может быть использован товлении пленочных термоэле устройств,Целью изобретения являет ние выхода готовых изделий при процесса совмещения ветвей тНа фиг,1 показана вспомога ска на подложке; на фиг,2 - сеч фиг.1; на фиг,З - формирование вей с помощью свободной ма щенной на вспомогательной; сечение Б - Б на фиг.З; на фиг,5 - ние группы ветвей другого типа сти с помощью свободн размещенной на вспомогательно сечение В - В на фиг.5; на фиг.7 -1621101 А 2способу изготовления пленочной термобатареи путем осаждения на подложку материала ветвей через свободные маски, одзмещ 8 нные на подложке, пер 8 д размещением свободной мас си на подложке размещают и фиксируют вспомогательную маску с рисунком совмещенных ветвей термобатареи, поверх которой размещают и совмещают с участками под ветви свободные маски с размерами рисунка ветвей термобатареи, превышающими размеры рисунка ветви на вспомогательной маске, а материал для форирования каждой ветви осаждают последовательно при использовании соответствующей свобод:ай маски, причем в качестве вспомогательной васки используют контактную маску, например, из фоторезиста, а в качестве свободных масок - прецизионные ферромагнитные маски, фиксируемые магнитным держателем, устанавливаемым с обратнойстороны подложки, 2 з.п. ф-лы, 10 ил. сформированной на ней пленочной термобатареей; на фиг.8 - сечение Г - Г на фиг,7; на фиг.9 - ветви термобатареи в области горячего спая с нагревателем, на фиг.10 - горячий спай (участок совмещения) ветвей ермсг.ары.Изготовление пленочной термобатареи по предлагаемому способу происходит следующим образом.На подложке 1 фиксированно размещают маску 2 с рисунком совмещенных ветвей термобатареи (фиг,1 и 2), В случае необходимости рисунок маски 2 необходимым образам совмещают с предыдущим элементом структуры (в данном случае с нагревателем). Поверх маски 2 размещают свободную маску 3 с рисунком одной из ветвей термобатареи и с размерами, превы 16211015 10 15 20 25 30 35 40 45 50 шающими размер рисунка маски 2. Через маски 2 и 3 наносят на подложку 1 материал одной из ветвей термобатареи, например, р-проводимости (фиг.З и 4). Удаляют маску 3, оставляя при этом на подложке 1 маску 2. Вновь поверх маски 2 размещают свободную маску 5 с рисунком другой ветви термобатареи и с размерами, превышающими размер рисунка маски 2. Через маски 2 и 5 наносят на подложку 1 материал б другой ветви термобата реи - и-проводимости. Удаляют маски 2 и 5, при этом на подложке 1 остается совмещенный рисунок пленочной термобатареи,П р и м е р. Изготовление тонкопленочных термопреобразователей, основными элементами которых являются расположенные на подложке пленочные нагреватель и термобатарея из соединенных последовательно термопар,На подложке после нанесения нагревателя формируют контактную маску из фоторезиста с рисунком совмещенных ветвей термобатареи, Свободные маски из ковара с рисунком отдельных ветвей термобатареи и с размерами, превышающими размер рисунка на нижней маске, совмещают с последней и фиксируют держателями, располагаемыми с обратной стороны подложки. Термобатарея содержит 20 термопар шириной 50 мкм, ширина ветвей на свободных масках 90 мкм. Через каждую комбинацию совмещенных масок наносят материалы ветвей; сурьму и висмут,В результате получают увеличение на 30 - 40 выхода годных изделий на одной подложке (группового изделия) с высокой точностью совмещения при высокой плотности термоспаев, что важно для повышения коэффициента преобразования термопреобразователей.Применение предлагаемого способа изготовления пленочной термобатареи увеличивает выход годных изделий при упрощении процесса совмещения ветвей термопар за счет того, что совмещение свободных масок ветвей производится при фиксированно размещенной маске, содержащей совмещенный рисунок термобатареи, При этом совмещении исключается возможность повреждения свободной маской ранее нанесенного слоя (элемента) и одновременно достигается высокая точность совмещения, поскольку маска, содержащая совмещенный рисунок термобатареи, находится на подложке в течение всего цикла осаждения ветвей, Изготовление фиксированно размещаемой на подложке маски в виде контактной из фоторезиста позволяет изготавливать рисунок совмещенных ветвей с высокой точностью, используя метод фотолитографии. При этом контактная маска предотвращает от повреждения ранее осажденные элементы структуры устройства при нанесении первой ветви термобатареи и, соответственно, первую ветвь при осаждении второй. Использование в качестве свободных масок прецизионных ферромагнитных, фиксируемых магнитным держателем, позволяет плотно прижимать их к фиксированно размещенной маске, что исключает подпыление и способствует увеличению выхода годных изделий. Формула изобретения 1. Способ изготовления пленочной термобатареи путем осаждения на подложку материала ветвей через свободные маски, размещенные на подложке, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения выхода годных изделий и упрощения процесса изготовления, перед размещением свободной маски на подложке размещают и фиксируют вспомогательную маску с рисунком совмещенных ветвей термобатареи, поверх которой размещают и совмещают с участками под ветви свободные маски с размерами рисунка ветвей термобатареи, превышающими размеры рисунка ветви на вспомогательной маске, а материал для формирования каждой ветви осаждают последовательно при использовании соответствующей свободной маски.2. Способ по п.1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что в качестве вспомогательной маски используют контактную маску,3. Способ по и 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что в качестве свободных масок используют прецизионные ферромагнитные маски, фиксируемые магнитным держателем, устанавливаемым с обратной стороны подложки.,4:Ф. Тираженного комитета по и 1 ЗОЗ 5, Мос а, ж-З 5,Подписноеобретениям и открытиаушская наб 4/5