Устройство для дозирования газов в вакуумные системы

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 9) (13) 7435 А 01 Г 110 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫПФ ВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬС(71) Дзержинский филиал Ленинградского научно-исследовательского и конструкторского института химического машиностроения(56) 1. Эшбах Т.Л. Практические сведения по вакуумной технике. М.-Л.: Энергия, 1966, с, 144-145.2. Королев Б.И. и др. Основы вакуумной техники. М.: Энергия, 1975, с. 325, рис. 15. 11(прототип)(54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРО НИЯ ГАЗОВ В ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ, со держащее корпус с входным н выход ныи штуцерами, в котором размещен подпружиненный игольчатый клапан, снабженный механизмом его перемещения и пропущенный через втулку, о т - л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, механизм перемещения клапана выполнен в виде кольцевой стойки, в полой стенке которой .размещен нагреватель, причем стойка установлена между корпу- сом и втулкой, которая связанас механизмом перемещения, а полость стойки имеет отверстия для подвода и отвода воздуха.2. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что кольцевая стойка механизма перемещения снабжена рычагом, шарнирно соединенным одним концом с иглой, а другим - с тягой, закрепленной на корпусе устройства.1 1167Изобретение относится к устройст -вам для напуска и дозированной подачи газов в вакуумные системы экспериментальных и проюпвленных установок вакуумной металлиэации, газофазного осаждения и др,Известно устройство для дозирования количества напускаемого газав вакуумные системы 1 1.Однако в этом устройстве объемгаза определяется по сопротивлениюи разности давлений на концах капилляра.Известно также устройство длядозированного напуска газов, включающее корпус с патрубком для напуска газа, установочную втулку, седлос входящей в него иглой, устройство для перемещения иглы. В этомустройстве перемещение иглы в осевомнаправлении осуществляется вручную20вращением гайки с дифференциальнойрезьбойНедостатками известного устройстваявляются неудобство обслуживания,25так как управление осуществляетсявручную, и низкая чувствительностьрегулирования, снижающая точность доэирования.Цель изобретения - повышение точности доэирования.30Указанная цель достигается тем,что в устройстве для дозированиягазов в вакуумные системы, содержащем корпус с входным и выходным шту -церами, в котором размещен подпружи - 35ненный игольчатый клапан, снабженныймеханизмом его перемещения и пропущенный через втулку, механизм перемещения клапана выполнен в виде кольце -вой стойки, в полой стенке которой 40размещен нагреватель, причем стойкаустановлена между корпусом и втул -кой, которая связана с механизмомперемещения, а полость стойки имеетотверстия для подвода и отвода воздуха.Кроме то го, кольцев ая стойка ме ханизма перемещения снабжена рычагом,шарнирно соединенным одним концомс иглой, а другим - с тягой, закрепленной на корпусе устройства.Благодаря указанным особенностямпоявляется возможность путем включения электронагревателя и регулирования его мощности дистанционно управлять устройством, что облегчает обслуживание, поскольку отпадает необходимость ручного вращения гайки, . 435 гПовышается плавность осевого пере -мещения иглы и чувствительность регулирования при разогреве полой стойкив сравнении с перемещением иглыс помощью гайки, у которой шаг резьбына несколько порядков превышает вели"чину необходимого для напуска газазазора между медным седлом и каленойконической иглой.На чертеже изображено устройство,разрез.Устройство содержит штуцер 1,резиновый уплотнитель 2, медное седло 3, металлический сильфон 4,пружину 5, корпус 6, уплотнитель 7,втулку 8, иглу 9, установочную втулку 10. Между установочной втулкой 10и втулкой 8 установлена кольцеваястойка 11 с полостью 12, внутри ко -торой размещен нагреватель 13, Величина потока газа регулируется погружением тонкой стальной каленой конической иглы 9 с углом 2 в отверстие медного седла 3.Перемещение иглы 9 в осевом направлении осуществляется путем удли-.нения по высоте стойки 11 в результате принудительного ее нагрева и передаточного механизма 14, выполненного,например, в виде рычага 15 и жесткой тяги 1 6 с шарнирами 17 - 19.Устройство работает следующимобразом.Для того, чтобы увеличить выпускгаза в вакуумную систему, необходимоиглу 9 переместить вверх в осевомнаправлении, Для этого при помощинагревателя 13 нагревается стойка 11,которая при этом удлиняется на величинуа 2=сй(с- ),где р - коэффициент линейного расширения материала стойки 11;Ь - высота стойки 11;температура после нагрева;температура до нагрева стойки 11.Удлинение стойки 11 поворачиваетна некоторый угол рычаг 15 в шарнирах 17 - 19 и таким образом аксиально перемещает иглу 9 с ее коническимнаконечником, изменяя зазор или межконтактное пространство между коническим наконечником и медным седлом 3,При охлаждении полая стойка 11укорачивается, и, благодаря этому,под воздействием пружины 5 игла 9возвращается в исходное положение.1167435 3Регулирование величины зазора осуществляется изменением температуры нагрева стойки 11.Наиболее тонкое и плавное регулирование потока газа, напускаемого в систему, достигается при .уменьшении перепада температуры, т.е. при уменьшенной разности между температурой нагрева стойки 11 и исходной.Устройство обеспечивает как доз 10 рование газа в вакуумную систему с целью поддержания в ней определенного остаточного давления, так и дозированную подачу исходных компонентов газовой реакционной смеси 15 при газофазном осаждении покрытий. При этом нагреватель устройства может иметь обратную связь с датчиком давления (или расходомера), т,е. 4устройство обеспечивает автоматическое регулирование степени натекания газа в систему или дозирование его при газофазном осаждении.Устройство поддается автоматизации, обслуживание его значительно облегчается, так как появляется возможность управлять ним дистанцион" но. Одновременно повышается плавность и точность регулирования потока.Предлагаемое устройство является необходимой составной частью целоо ряда вакуумных установок для получения покрытий и другого вакуумного оборудования, Оно позволяет повысить технический уровень указанного оборудования, улучшить их технические характеристики за счет плавного и точного регулирования натекания газов.1167435 я Ц. И 15 17 Йгар рректор М.Пож Тираж 703 Подписное Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5