Регулятор расхода

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциалистическихРеспублик р 947835(22) Заявлено 140580 (21) 2925549/18-24с присоединением заявки Мо(23) ПриоритетОпубликовано 300782. Бюллетень М 28Дата опубликования описани я 30.07.82 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(5 и) РеГУлЯтОР РАсхОДА Изобретение относится к автоматическому регулированию газовых потоков и может быть использовано в конструкциях регуляторов газовых потоков в вакуумных системвгс в качестве регулируемого натекателя газа для получения и поддержания требуемого давления в вакуумной системе.Известен регулятор газового потока, 10 в котором в качестве регулирующего тзргана используется капилляр с введенным в него тонким стержнем. Он представляет собой вакуумный затвор, в корпусе которого расположен эластичный капилляо с пережимным устройством, подводящим и отводящим штуцерами, один из которых установлен подвижно в осевом направлении, что восстанавливает проходное сечение капиллятора при открытии затвора 1 .Недостатками этого регулятора являются узкий диапазон регулирования малых газовых потоков при больших перепадах давления, нестабильнОсть работы и сильная зависимость потока 25 газа от степени пережатия на начальном участке управления потоком, что связано, в основном, с эалипанием эластичного .капилляра и его резким открыванием при уменьшении пережатия. 30 Этн недостатки не позволяют исполь -зовать затвор в качестве управляемогонатекателя вакуумных систем.Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому являетсярегулятор расхода, содержащий корпусс установленной внутри него шайбойи входным и выходным каналами, В отверстии шайбы установлена упругаянить, один конец которой закрепленв корпусе, адругой связан с приводом 2 Д.Недостатком этого регулятора является наличие трения меищу нитью ишайбой, влияющего на стабильность егохарактеристики.Цель изобретения - устранение укаэанного недостатка, т,е. повышениеточности регулятора,Поставленная цель достигается тем,что в регуляторе расхода, содержащемкорпус, в котором между входным ивыходным каналами расположена шайба,в ее центральном отверстии установлена упругая нить, один конец которойзакреплен в корпусе, а другой связанс источником механических перемещений,источник механических перемещений выполнен в виде вибратора, установленного с воэможностью перемещения отно 947835сительно шайбы вдоль оси ее центрального отверстия.Кроме того, длина упругой нитимежду шайбой и вибратором определенаиэ соотношенияе =и -,1.где Е - длина упругой нити между шайбой и вибратором;и - целое число из ряда 1, 2, 3и т.д., 10- длина волны, возбуждаемой вибратором в упругой нити.На чертеже изображен регулятор рас- .хода в.разрезе, один из вариантов.Регулятор расхода содержит упругую 15нить 1, шайбу 2, закрепленную черезрезиновую прокладку в корпусе 3 посредством гайки 4. На корпусе 3 имеется выходной штуцер 5 для подключенияк вакуумной системеУпругая нить 1 20одним концом закреплена в корпусе 3,а другим к подвижному элементу вибратора 6, который установлен на механизме продольного перемещения, образованном винтовым стержнем 7 и гайкой 8. Шайба 2 расположена между входным 9 и выходным 10 каналами,Работа регулятора расхода основана на свойстве упругого тела изменятьразмеры поперечного сечения при изменении его длины и осуществляется следУющим образом.Вращением гайки 8 производят необ"ходимое натяжение упругой нити 1,что определяет необходимый газовыйпоток в вакуумную систему. При включении вибратора 6, которым может служить, например, электромагнитный вибратор, сечение упругой нити 1 в шайбе 2 периодически изменяется, чтотакже приводит к изменению газового 40потока, поступающего в вакуумную систему. Йэменение амплитуды и или) частоты колебаний путем изменения напряжения источника питания вибратораи его частоты вызывает изменение коли;45чества протекающего через шайбу 2 газа.Для повышения чувствительности регулятора длину упругой нити 1 между шайбой 2 и подвижным элементом вибратораделают кратной одной четвертой длиныволны, возбуждаемой в упругой нити. Это обеспечивает образование пучности в области шайбы 2, что и повышает чувствительность регулятора расхода, Для расширения рабочего диапазона регулирования газового потока шайба может быть выполнена иэ эластичного материала, например, резины. Это позволяет более тонко регулировать начальный газовый поток и выбирать необходимый диапазон его изменения.Выполнение источника механических перемещений в виде вибратора позволяет повысить чувствительность и быстродействие регулятора расхода при одновременном упрощении конструкции.формула изобретения1. Регулятор расхода, содержащий корпус, в котором между входным и выходным каналами расположена шайба, в ее центральном отверстии установлена упругая нить, один конец которой закреплен в корпусе, а другой связан с источником механических перемещений, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения, точности регулятора, в нем источник механических перемещений выполнен в виде вибратора, установленного с воэможностью перемещения относительно шайбы вдоль оси ее центрального отверстия.2. Регулятор по п. 1, о т л ич а ю щ и й с я тем, что длина упругой нити между шайбой и вибратором определена из соотношенияЕ ИдЕгде Е - длина упругой нити между шайбой и вибратором,п - целое число из ряда 1, 2, 3и т.деА - длина волны, возбуждаемой вибратором в упругой нити.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРР 469841, кл. Г 16 К 7/Об, 1975,2. Авторское свидетельство СССР9 706827, кл. С 05 О 7/01, 1978, д. 4/ г.ужгород, ул.Проектная, 4 ППП т Ф СостаВитель Г.Сидоро Техред М. Рейвес Кор аж 914 комитет и открытаушская 650/71 Т ВНИИПИ Государственно по делам изобретени 113035, Москва, Ж, ктор Ю. Макарен