Способ изготовления танталовых и ниобиевых оксидно полупроводниковых конденсаторов

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Респубаик(61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 100778 (2 ) 2640888/18-21с присоединением заявки Но(51)М. Кл.з Н 016 9/24 Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОКСИДНО-ПОЛУКОНДЕНСАТОРОВ ИКОВЫ ия ко- рениро 5 нийлироетровванинзработ-водниительность испыт оперативно контр ость электропара при совершенств ого процесса и р в оксидно-полупро Большая длне позволяетвать стабильнконденсаторовтехнологическке новых типоковых конденсатЦелью данногповышение выход ов. изоб годны тения являе Данное изобретение относится к электротехнике и может быть использо вано при изготовлении оксидно-полупроводниковых конденсаторов.Известен способ изготовления оксидно-полупроводниковых конденсато-. ров, включающий термообработку секций конденсаторов под напряжением 1 Ь .Недостатком известного способа является длительность технологического процесса.Наиболее близок к предлагаемому. способ ,изготовления оксидно-полу-, проводниковых конденсаторов, включающий совмещенную термообработку сек ций конденсаторов под напряжением с монтажем секций в корпус, герметизацию, разбраковку по электропараметрам и повторную термообработку под напряжением 2 Ь 20Внедрение данного способа в серийное производство позволило исключить длительную тренировку, которая ранее проводилась после впайки секции и изоляторов в корпус. Однако после 25 впайки часть конденсаторов имеет дефекты внешнего вида (наплывы припоя, перекосы изоляторов), которые исправляют повторной пайкой при 150-200 С. При этом узел пайки секции с корпусом 30 не расплавляют во избежание ухудшения механических и электрических свойств конденсатора.Повторная пайка приводит к увели=- чению токов утечки, для снижен торых производится повторная т в ка длительностью 15-50 ч. При этом часть конденсаторов не восстанавливается и отбраковывается.При изготовлении конденсаторов повышенной надежности после герметизации проводят повторную тренировку (электростарение) в течение 10-200 ч при рабочем напряжении и температуре 85 С для отбраковки ненадежных конденсаторов и стабилизации электропараметров. Значительная длительность данной тренировки препятствует автоматизации производства и снижает производительность труда.Для достижения поставленной целипри изготовлении танталовых и ниобиевых оксидно-полупроводниковых конденсаторов способом, включающим термообработку секций при 240-290 С поднапряжением совмещенную с монтажомсекций, герметизацию, разбраковкупо электропараметрам и повторную термообработку под напряжением, последнюю проводят при температуре, состав-ляющей О,б 5-0,9 температуры термообработки секций. 10Ниже приведен пример реализациипредлагаемого способа.Из 1537 ниобиевых оксидно-полупроводниковых конденсаторов типономинала 20 Вх 47 мкф, монтаж секций которых 15в корпуса был совмещен с термообработкой (240 фС) под напряжением, былоотделено 103 конденсатора с дефектами внешнего вида, дефектами герметизации и конденсаторы, на которые во 2 Овремя пайки не подавалось напряжение.После исправления дефектов проводилась повторная термообработка при200+10 С под напряжением 17,5 В длительностью 90 сек. После герметиза"ции (запайки трубочки) и контроля герметичности конденсаторы разбраковывали по электропараметрам. Из 103 исправленных конденсаторов. окончательнобыло отбраковано 19 штук, остальныегодные. В то же время при восстановлении по известному способу изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов тренировкой в течение50 ч окончательный браК составляет45-50 штук на каждую сотню исправленных конденсаторов.Таким образом, предлагаемый способпозволяет повысить выход годных на1,8 при одновременном сокращениидлительности технологического процесса.В таблице приведены электропараметры конденсаторов типономинала20 Вх 47 мкф, изготовленных согласнопредлагаемому способу.Как видно из таблицы, конденсаторы,изготовленные согласно предлагаемомуспособу, обладают стабильными электрическими характеристиками.Как показал пример реализации,предлагаемый способ позволяет заменить длительные тренировки и испытания кратковременной термообработкойпод напряжением.Ниже привбдится обоснование этогоспособа. 55Сопротивление изоляции оксиднополупроводниковых конденсаторов Я)является суммой сопротивления изоляции оксида Я 0, и сопротивления изоляции границы оксид-полупроводникОко Г 9Сопротивление изоляции оксида(Яж)определяется наличием дефектов и стехиометрией оксида, а сопротивление Таким образом, предлагаемый способ производства оксидно-полупроводниковых конденсаторов позволяет сократить длительность изготовления, упростить технологию и повысить выход годных изделий на 2-3.871.243 а наплывы и д 47,038,545,0 62" 6 о 12,0 1,О о,о фекты герметичност олятора с корпусом г,оо,о 3,О 18,0 Напряжение во врем пайки отсутствовал 2,5,8",,о под напряжением уре, составляюуры термообратени ормула и ации,и экспертизролитическиия", 1963,тельство СССР9/24, 1976 Составитель А.Салынскийдактор Б.федотов Техред Ж.Кастелевич орректор Ю.Мак к/25 Тираж 787ПИ Государственногоделам изобретений35, Москва, Ж, Р Подписное аказ 84ВН митета СССРткрытийсная наб д. 4 130 илиал ППП фПатентф, г. ужгород, ул. Проектная Способ изготовлени ниобиевых оксидно-пол конденсаторов, включа ботку секций при темп 290 фС под напряжением с монтажом секций, ге браковку по электропа торную термообработку о т л и ч а ю щ и й с целью повышения выход танталовых и проводниковых ющий термообраратуре 240 совмещенную метизацию, разаметрам и повпод напряжением я тем, что, сгодных, пов,торную термообработкпроводят при темпера23 щей 0,65-0,9 темпеработки секций.Источники инфо